etchingamount)的相互关系的图表。具体实施方式本发明人确认了用于氮化物膜去除工序用蚀刻液组合物的具有防蚀能力的添加剂在满足特定参数值时能够使在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性去除氮化物膜且不损伤氧化物膜的效果极大化,从而完成了本发明。本发明包括选择在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*将氮化物膜选择性去除的能力优异的添加剂的方法、由此选择的添加剂、包含上述添加剂的蚀刻液组合物以及利用上述蚀刻液组合物的蚀刻方法。本发明中,蚀刻对象膜可以为氮化物膜,保护对象膜可以为氧化物膜。此外,本发明的上述添加剂可以为硅烷(silane)系偶联剂。<蚀刻液组合物>具体而言,本发明可以包含磷酸、添加剂和水,上述添加剂可以为硅烷(silane)系偶联剂。本发明的上述添加剂的特征在于,使上述添加剂的反应位点(activesite)的数量除以上述添加剂的水解(hydrolysis)了的形态的分子量之后乘以(参照以下数学式)满足。本发明中,各添加剂的反应位点(activesite)的数量和添加剂的水解(hydrolysis)了的形态的分子量的例子示于表3中。此外,由此计算的各添加剂的aeff值和与此有关的蚀刻程度的例示示于表2中。参照上述结果,可以确认到上述添加剂的aeff值推荐满足。什么样的蚀刻液可以蚀刻铝同时保护铜?上海ITO蚀刻液蚀刻液推荐厂家
铜蚀刻液适用于印制版铜的蚀刻,蚀刻速度快。蚀刻速度达4~5um/min。废液回收简单,用于印制板,线路板。本剂也可用于铜工艺品等的蚀刻。蚀刻后的板面平整而光亮。铜蚀刻液的反应速度快、使用温度低、溶液使用寿命长,后处理容易,对环境污染小。用于铜质单面板,双面板、首饰蚀刻,可以蚀刻出任意精美的形态,有效提高蚀刻速度,节约人工水电。常常应用于印刷线路板铜的蚀刻处理
1、蚀刻速度快,效率高。使用方便。蚀刻速度可达10微米/分钟。2、可循环使用,无废液排放。
1、蓝色透明液体,有气味。2、比重:1.10~1.13。3、PH值:10~11.0。
1、采用浸泡的方法即可,浸泡过程中要搅动蚀刻液或移动工件。蚀刻温度为20~40℃,在通风排气处操作,操作时要盖好盖子。2、蚀刻时间可以根据蚀刻的深度确定。 池州ITO蚀刻液蚀刻液铜蚀刻液哪里可以买到;
可用于银镍合金、银铜合金以及纯银的蚀刻,蚀刻后板面平整光滑。剂对油墨没有影响,可用于花纹蚀刻处理。三、使用方法:1、原液使用,不须加水,操作温度可以是25℃-60℃,温度越高,速度越快。2、将银板浸泡在银蚀刻剂中。用软毛刷来回轻轻刷动,使药水与银充分均匀反应;或者也可以用摇床,使药水来回动运,使板蚀刻速度加快。但不能超声波,以免破坏(感光)油墨。参考数据:50℃→5分钟→0.1毫米深度。30℃→20分钟→0.1毫米深度。3、水洗后做后续处理。
如前文所述,必须避免由该喷洒装置50喷洒而出的药液51滴入该基板20上而造成蚀刻不均的问题,因此,该复数个宣泄孔121的孔径a0必须要足够小,例如:孔径a0小于3mm,即可因毛细现象的作用,亦即该水滴于该宣泄孔121孔洞内的夹角θ等于该水滴与该第二挡板12的该上表面123所夹的接触角θ4,而达到防止位于该第二挡板12的该上表面123的药液51水滴经由该复数个宣泄孔121滴下至该基板20上(如图9所示)。再者,请再参阅图10至图12所示,为本实用新型蚀刻设备其二较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图、其三较佳实施例的挡液板结构结合风刀装置示意图,以及宣泄孔的表面张力局部放大图,其中该宣泄孔121为直通孔与斜锥孔混合的态样(如图10所示),或是全部为斜锥孔的态样(如图11所示),其中该宣泄孔121具有一***壁面1211与一第二壁面1212,且该第二挡板12具有一下表面122,当该宣泄孔121为斜锥孔的态样时,该***壁面1211与该下表面122的***夹角θ1不同于该第二壁面1212与该下表面122的第二夹角θ2,亦即该***壁面1211与该第二壁面1212可不互相平行,但应避免该***夹角θ1与该第二夹角θ2差距过大而造成毛细现象破除;此外,当该宣泄孔121为斜锥孔态样时。欢迎光临苏州博洋化学股份有限公司。
很好的对注入量进行精确控制,提高了该装置的制备纯度。附图说明图1为本实用新型的整体示意图;图2为本实用新型的a处放大示意图;图3为本实用新型的b处放大示意图;图4为本实用新型翻折观察板沿a-a方向的截面示意图。图中:1、制备装置主体,2、高效搅拌装置,3、过滤除杂装置,4、翻折观察板,401、观察窗翻折滚轮,402、内嵌观察窗,5、装置底座,6、成品罐,7、盐酸装罐,8、硝酸装罐,9、热水流入漏斗,10、加固支架,11、防烫隔膜,12、旋转摇匀转盘,13、运转电机组,14、震荡弹簧件,15、控制面板,16、致密防腐杆,17、搅动孔,18、注入量控制容器,19、注入量观察刻度线,20、限流销,21、负压引流器,22、嵌入引流口。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例**是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。请参阅图1-4,本实用新型提供一种技术方案:一种ito蚀刻液制备装置,包括制备装置主体1、高效搅拌装置2和过滤除杂装置3。苏州性价比高的蚀刻液。佛山铜钛蚀刻液蚀刻液产品介绍
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负的值表示厚度减小。上述蚀刻液组合物以在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻上述氮化物膜为特征,上述氧化物膜推荐包含sio2,上述氮化物膜推荐包含sin。上述蚀刻液组合物用于3dnand闪存制造工序,能够使上述氮化物膜去除工序中发生的副反应氧化物的残留和氧化物膜损伤不良问题**少化。本发明的蚀刻液组合物包含如上选择的添加剂,在包含氧化物膜和氮化物膜的膜中*选择性蚀刻氮化物膜时,能够使因副反应氧化物的残留时间变长而氮化物膜未被完全去除的不良(参照图2)以及氮化物膜虽被完全去除但也造成氧化物膜损伤(damage)的工序不良(参照图3)的发生**少化。因副反应氧化物的残留时间变长而氮化物膜未被完全去除的不良在添加剂的防蚀能力强于适宜水平时发生,氧化物膜不良在添加剂的防蚀能力弱于适宜水平时发生。以下,对于本发明的蚀刻液组合物中所包含的磷酸、作为添加剂的硅烷(silane)系偶联剂以及进行更详细的说明。(a)磷酸本发明的蚀刻液组合物中所包含的上述磷酸(phosphoricacid)作为主氧化剂可以在使氮化物膜氧化时使用。相对于组合物总重量,上述磷酸的含量为50~95重量%,推荐为80~90重量%。在上述磷酸的含量处于上述含量范围内的情况下。上海ITO蚀刻液蚀刻液推荐厂家