根据物体表面的散射特性，可确定入射光与成像透镜光轴的夹角。激光入射到被测物体表面，散射光强度成椭球型分布[6]。当入射光垂直入射时，α值越小，成像透镜接收到的散射光强度越大，但角度过小对探测器分辨率要求及制作工艺上都有较高难度，综合考虑取α值为21.8°，由仪器的测量范围±10mm可得到物距为53.85mm。通常情况下，库克三元组有很好的成像效果[7]，因此选择库克三元组作为成像透镜的初始结构进行优化。优化过程中以各个镜片表面的半径为变量，控制厚度在适当范围，同时将像面与光轴的夹角β设为可变，采用CODEV的横向像差与波像差相结合的方式进行优化，得到下面的结果。图3为优化后的成像光学系统使用激光位移传感器测量目标物时,必须让接收器获得来自目标物的反射光。绍兴激光位移传感器产品原理
方式[0019]请参照图1所示，本实用新型激光位移传感器检验校准装置100的较佳实施例，包括一可伸缩导轨1、一微调装置2、一传感器夹持装置3、一激光位移传感器4以及一激光红外线接收挡板5；所述微调装置2和传感器夹持装置3设于所述可伸缩导轨1的上端；所述激光位移传感器4夹持在所述传感器夹持装置3上，且使所述激光位移传感器4的激光发射端朝向所述微调装置2；所述激光红外线接收挡板5与所述微调装置2固接，且使所述激光红外线接收挡板5的接收面朝向所述传感器夹持装置3。国内激光位移传感器规格尺寸齐全激光位移传感器在半导体行业的应用案例。
本发明公开了一种激光位移传感器，包括激光器、成像物镜以及感光元件，激光器用于射出激光束，由成像物镜接收并出射的光入射到感光元件，在对成像物镜和感光元件进行调制传递函数MTF解析时，解析结果满足以下条件：在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向的情况下，MTFS＞MTFT；在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，MTFT＞MTFS；其中，MTFS为弧矢方向上的MTF值，MTFT为子午方向上的MTF值。本发明能够降低物镜的设计难度，节省制造和维护成本，另外还有助于提高测量的准确度，能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响。
进一步地，所述可伸缩导轨包括一电动伸缩双直线导轨、一No.1支撑件、一第二支撑件、一滑动轮、一伸缩制动开关以及一控制面板；所述No.1支撑件安装在所述电动伸缩双直线导轨固定端的底部，所述第二支撑件安装在所述电动伸缩双直线导轨可伸缩端的底部；所述滑动轮设于所述第二支撑件的底部；所述伸缩制动开关设于所述第二支撑件的侧面；所述控制面板与所述电动伸缩双直线导轨电连接。进一步地，所述微调装置包括一蜗轮蜗杆机构、一电子测量仪以及一微调平台；所述微调平台设于所述电动伸缩双直线导轨上端的尾部，所述微调平台的末端向上设有一延伸部；所述蜗轮蜗杆机构设于所述微调平台的前端；所述电子测量仪的一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述蜗轮蜗杆机构。采用激光束对目标物体进行扫描和测量，因此可以实现非接触式的位移测量。
根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，在进行解析时，空间频率为62.5lp/mm，如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFS≥0.5，MTFT<0.05；如果所述多个感光单元的主要排列方向为弧矢方向，则MTFT≥0.5，MTFS<0.05。4.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，进一步包括：反光元件，所述反光元件设置在所述成像物镜的出射光路上，所述成像物镜的出射光经所述反光元件反射后，入射到所述感光元件。5.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，进一步包括：带通滤光片，设置于所述成像物镜的入射光路上。6.根据权利要求1所述的激光位移传感器，其特征在于，进一步包括：聚焦透镜，设置于所述激光器的出射光路上。7.根据权利要求1至6中任一项所述的激光位移传感器，其特征在于，所述感光元件为线阵感光元件，所述线阵感光元件的多个感光单元沿直线排列，该直线的延伸方向为所述多个感光单元的主要排列方向。激光传感器是新型测量仪器。能够精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化。福建激光位移传感器设备生产
它可以实时测量物体的位移，并提供高精度的测量结果。绍兴激光位移传感器产品原理
本发明提出的激光位移传感器的成像物镜和感光元件的调制传递函数(MTF)解析结果满足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS，能够利用像散，让呈现在感光元件上的光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)变窄，而在竖直方向(即，子午方向，T方向)变长(或者让光斑在水平方向(即，弧矢方向，S方向)变宽，而在竖直方向(即，子午方向，T方向)变窄)，有助于更加容易地确定光斑在水平方向上的中心位置，从而提高测量的准确度；由于激光位移传感器中感光元件的多个感光单元的阵列排布形状为矩形或线形，将矩形长边或直线的延伸方向上的MTF降低，也不会影响测量精度；不仅如此，由于在MTF值被拉高的方向上光斑变窄，而在MTF值被降低的方向上光斑变宽，所以光斑与像元之间的接触面积增大，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能够更好地应对使用中因为振动或机械变形等随带来的不良影响；此外，由于本发明提出的激光位移传感器所采用的成像物镜无需兼顾水平方向和CN1 06855391B4竖直方向的MTF值，所以能够降低物镜的设计难度，节省制造和维护成本；绍兴激光位移传感器产品原理
