苏州不锈钢气体管道设计

高纯气体管路的设计要点：1.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。2.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以确保供气系统的安全、可靠运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。苏州不锈钢气体管道设计

管道设计标准：一、管道直径的确定，管道直径的确定取决于气体的流量和运输的距离。如果管道直径过小，会导致气体流量不足，影响气体的输送效率;如果管道直径过大，不只会浪费材料，还会增加建设成本。二、管道的布局，在气体管道的布局设计中，需要考虑管道连接的数量和位置、管道的支撑方式等因素。合理的管道布局可以保证气体输送的平稳和安全。三五、管道的安装，在气体管道的安装过程中，需要特别注意管道的密封和固定。如果安装不当，会导致气体泄漏和管道破裂等安全问题。以上就是芯片净化车间建设中工业气体管道设计的必须知道的标准。只有在严格遵守这些标准的前提下，才能保证净化车间的高效运行和安全生产。苏州气体管道设计连接图阀门与氧气接触部分应采用非燃烧材料。

气瓶间布局，1.由于存放的气体由于有可燃性气体和助燃气体，按国家规定必须分库存放。分别放入不同的气瓶间内。2.气瓶间内设立一次调压面板，其中二托一面板带吹扫铜镀铬面板4套。3.压力调节器入口前需加装烧结金属过滤器以防止颗粒等杂质污染系统。4.所有面板均配备吹扫阀，可实现对面板的清洗置换。5.压力调节器及相关管件均需牢固的固定在压力调节面板上，面板应设计的紧凑而合理，以尽量减少系统中的死体积。6.压力调节面板应采用全不锈钢材料制成，并且牢固的固定在可靠的位置上，确保其安全性。7.排空气路应分类收集、固定牢固并排放至室外安全地点。

流量测量有策略性地将流量计安装在公司内部管网中经济的和转换性的节点上。压缩空气是一种生产工具，它是公司内各个部门产品成本的一部分。从这个角度看，所有部门都要试图去减少消耗以让所有部门都能受益。现在在市场上可以买到的流量计，所有数值都可以人工读取，测量数据也可以读取到电脑或转换模块中。半导体制造用气体按照使用时的危险性分类：1.可燃、助燃、易燃易爆气体：H2 、CH4、H2S、NH3 、SiH4、PH3 、B2H6、SiH2CL3、CLF3、SiHCL3等；2.有毒气体：AsH3、PH3 、B2H6等；3.助燃气体：O2 、N2O、F2 、HF等；4.窒息性气体：N2 、He 、CO2、Ar等；5.腐蚀性气体：HCL 、PCL3 、POCL3 、HF、SiF4、CLF3等。氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。

气体管道设计规范：1.氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气1 - 3 次/h 的通风措拖。2.按标准单元组合设计的通用实验空，各种气体管道也应按标准单元组合设计。3.穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。4.氢气、氧气管道的末端和较高点宜设放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样口和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。5.氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执***体柜或控制面板在安装和运输的过程中由于搬运和震动，阀门、接头、过滤器等的更换。苏州气体管道设计连接图

高纯度气体由管道输送，能否将高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键是供气系统设计合理、试验检测合格。苏州不锈钢气体管道设计

主要工作参数的确定：1 输送物料量，作为气力输送计算依据的物料输送量 ，应该是各输料管在单位时间内通过的较大输送量，即：2 混合比(输送浓度)在气力输送计算中，一般采用的混合比或称输送浓度，以质量浓度 表示，它是指单位时间内通过输料管某一截面物料的质量与输送气体质量的比值，以下公式均以空气表示输送气体，在相同的输送物料量下，提高混合比，可减少空气量，从而节约动力消耗和管材，在相同的空气量时，提高混合比，可以增加物料的输送能力。但混合比过大会带来输送状态的不均匀，从而降低设备的可靠性。在表5.2.2中，推荐了各种输送方式的合适混合比。苏州不锈钢气体管道设计