南京高纯气体管道设计

高纯气体中间供气系统是专为高精度分析测试设备所用高纯工作气体的传输而设计，系统需要为分析设备提供压力、流量稳定且经过长距离传输后纯度不变的高纯气体以满足各种高精度分析设备的使用要求。系统同时还应该满足安全性的要求，并方便客户的日常使用及管理。1.气瓶间内存放的气瓶采用带防倒链的气瓶支架固定，气瓶支架坚固耐用、美观大方。气瓶支架采用铝合金制作而成。2.气瓶间内的气体钢瓶与压力调节器之间采用SS316L高压金属软管连接无渗透。高压软管为柔性软管，以保证连接的方便性。并自导防护钢缆，预防极端情况下，钢瓶阀损坏等现象带来的高压“抽鞭”事故。压力调节器与管道的连接方式为双环卡套。3.高压软管上的钢瓶接头必需与钢瓶角阀的规格相匹配，以确保连接的可靠性。输送系统“分等级”，对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统。南京高纯气体管道设计

日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次：1.超高纯气体，气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体，气体中杂质总含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体，气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定，都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。南京特种气体管道设计要求系统安装完毕后要用高纯氮气进行高压部分、低压部分气密性实验，对整个系统进行检测。

引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在氦气管路前面建议安装气体净化装置。每隔1.5米左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径，设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5N的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后，还要再使用5N的高纯氮气进行大流量吹扫，以确保整个系统的洁净度。供气系统安装完成后，根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。

外购气体供气，由集中制气工厂制取的液态气体由低温液态气体贮罐槽车运送至用气工厂，再使用工厂设置低温液态气体贮罐，将液态气体槽车中的液态气体抽送入液态气体贮罐贮存，根据工厂用气量，液态气体由贮罐送出经汽化器化为气体后，经由调压器组调压并经气体过滤器送去使用车间，若气体纯度或杂质含量不能满足使用要求，则需要再在车间内设置末端提纯装置，对气体进行提纯并去除杂质，同时为满足不同需求，还应在工厂使用车间末端或在车间内集中设置不同过滤精度的气体过滤器，示意图如下：系统布线应尽量减少接缝以降低泄漏的可能性。

物料的性质：1、粘附性，实践表明，细粉末或水分多或有明显带电性的物料，在设备和输料管中粘附严重。对一般的物料，孔隙率越小，水分越大，附着应力越大。为了减少物料的粘附，避免造成输料管堵塞，通常应根据经验选择合适的气流速度，同时将管壁加工光滑，以尽可能降低其危害程度。2、脆性，脆性物料可能在输送过程中发生破碎而影响使用效果，为此，对输送风速的选择要格外谨慎。以免物料破碎受损。3、粒度与形状，一般可通过目测将物料分为4类：(1)微细粉末(50～100μ)(2)粉粒，(3)颗粒(1mm以上)，(4)块状或不规则形状的物料。将大小不同的物料粒子进行粒度分级时，一般可用筛分法。我国常用泰勒标准筛。在选择气力输送系统型式、风速、除尘设备时，物料的粒度和形状是重要的参考因素。氢气和氧气管道所用的附件和仪表必须是该介质的专门使用产品，不得代用。南京矿用气体管道设计服务商

气体管道宜采用无缝钢管。南京高纯气体管道设计

进行检测和调试。在气体管道施工完成后，需要进行管道的检测和调试工作。首先，进行的气体泄漏检测，确保管道的密封性。其次，进行的气体流量的测试，确保气体输送的稳定性和准确性。通过检测和调试，可以发现并解决潜在的问题，确保管道的正常运行。然后，进行验收和维护。当实验室气体管道设计与施工完成后，需要进行验收工作。验收包括对管道的安全性、可靠性以及使用效果的检查。只有通过验收，实验室能够正式投入使用。同时，为了保证管道的正常运行和使用寿命，还需要进行定期的维护和保养工作，包括清洗、润滑等。南京高纯气体管道设计