洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了,所以必须有±,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以***。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好温度范围为35—45%。气压规定对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。 洁净室用于哪些?找上海中沃。百级净化洁净室
洁净室设计对生产工艺的要求编辑(1)洁净环境是为生产工艺服务的,洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求,这是理所当然的。因此,在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该实事求是,其面积、层高,温度、湿度,洁净度等应该该高则高,该低则低,并非越高越好。在不影响生产工艺正常运行的前提下尽可能地降低参数要求,控制净化面积,缩小高净化级别洁净区的范围,严格控制100级和更高级别单向流洁净区的面积。[3](2)在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起,把洁净度要求高的工序设置在上风侧,把产生粉灰、有毒、有害、易燃、易爆废气的工艺设备、容器尽可能放在洁净区外,若必须放在洁净区内时应尽量采取密闭措施以减少粉尘和废气的排放量。 食品洁净室定制药品洁净室价格?上海中沃价格公道。
2)水平单向流:只在***工作区达到100级洁净度,当空气流向另一侧的过程中含尘浓度逐渐升高,所以*适用于同一房间工艺过程有不同洁净度要求的洁净室;送风墙局部布高效过滤器较满布水平送可减少高效过滤器用量,节约初投资,但局部区域有涡流。3)乱流型气流:孔板顶送和密集散流器顶送的特点与前述相同:侧送的优点易于管道布置,无需技术夹层,造价低,有利于旧厂房改造,缺点是工作区风速较大,下风侧比上风侧含尘浓度高;高效过滤器风口顶送具有系统简单、高效过滤器后无管道、洁净气流直接送达工作区等优点,但洁净气流扩散缓慢,工作区气流较均匀;不过当均匀地布置多个风口或采用带扩散板地高效过滤器风口时,也可使得工作区气流较均匀;但在系统非连续运行地情况下,扩散板易积尘。以上论述均属于较理想状态,也是国家有关规范、标准或设计手册所推荐。实际工程中或受限于客观条件,或由于设计者地主观原因而未设计好气流组织,常见的有:垂直单向流采取相邻两侧墙下部回风,局部百级采用上送上回(即局部送风口下未加下垂围帘),乱流型洁净室采用高效过滤器风口顶送上回或单侧下回(对墙间距较大)等,这些气流组织方式经实测,其洁净度大多数都达不到设计要求。
按气流的流动状态分根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室[1]:(1)非单向流洁净室:以前常称为乱流型洁净室,室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器(高效或亚高效)尽量接近洁净室,它可以就是送风口或直接连送风口,也可以接到房间的送风静压箱上;回风口均设在洁净室的下部,目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净度的洁净室中,宜用于6~9级的洁净室中。(2)单向流洁净室:单向流洁净室气流的特征是流线平行,以单一方向流动,并且在断截面上风速一致,有垂直单向洁净室,准垂直单向流,水平单向流洁净室等。(3)矢量洁净室:在房间的侧上角送风,采用扇形高效过滤器,也可以用普通高效过滤器配扇形送风口,在另一侧的下部设回风口,房间的高长比一般在。这种洁净室也可以达到5级(100级)洁净度。洁净室的流型基本上是上述三种类型,但是实际应用时可演变出很多形式。洁净室可以是单向流和非单向流组合在一起的混合流型,以在局部区域(单向流部分)实现高级别的洁净室。例如,在洁净室中设水平单向流的“隧道”(一侧敞开),洁净室的其余部分是涡流的单向流流型。 洁净室的调试主要包括哪些?欢迎致电上海中沃。
一、洁净手术室空调机房结构设计,具备新风节能、大风量、高显热、高效过滤、网络控制等功能,满足机房的高负荷长时间连续运转的散热要求。二、洁净手术室它是悬浮粒子浓度受控,其建造和使用方式使得进入、产生、滞留于室内的粒子较少的房间。室内的其它参数包括:温度、温度、气压等,按需要受控。(医用洁净室、工业洁净室)。洁净等级划分:十级、百级、千级、万级等静态。联邦209E标准:每立方英尺空间内粒径为。三、洁净手术室空调机房日常维护保养相关。为使洁净手术室发挥较大的效益,必须对手术室通风系统特别是空调机房内的设备定期的维护与保养,使之在正常状态下运转。保证洁净手术室各项指标在标准之内,下面着重阐述通风系统特别是空调设备的维护与保养。A、每日巡查极其运转并做好记录,特别对水泵、压缩机、电机、水系统的压力、温度。B、每天做好记录手术室的温度、湿度、与走廊的压差、电压、电流、电量等相关。C、每月清扫机房卫生,机组应保持干净整洁,无灰尘。D、每月清扫一次新风口过滤网,将杂物清干净,回风口每周消毒清擦一次。E、每月检查风阀位置是否变动、松动,如有则及时调整拧紧。F、每个月清洗或更换初效过滤器,清洗2-3次后报废更换新的。
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1、送风洁净度要保证送风洁净度,安装的气密性要好,液槽密封必须保证液槽接缝严密和整体框架都处于同一水平面上,负压密封就是使过滤器与静压箱和框架接缝的外周边处于负压状态。2、气流组织洁净车间的气流组织与一般空调房间有所不同,它要求将**干净的空气首先送到操作部位,它的作用在于限制和减少对生产产品的污染。为此,在设计气流组织时应考虑这些原则:尽量减少涡流,避免将工作区以外的污染带入工作区;尽量防止灰尘的二次飞扬以减少灰尘对工件的污染机会;工作区的气流要尽量均匀,且其风速要满足工艺和卫生要求,当气流向回风口流动时要使空气中的灰尘能有效的带走。根据不同的洁净度要求,选择不同的送、回风方式。3、垂直单向流:均可获得均匀向下气流,便于工艺设备布置,自净能力强,可简化人身净化设施等。 百级净化洁净室
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