NanoWriterNW-100:入门级高精度加工利器,NanoWriterNW-100作为Polos的经典型号,以0.8-2.5μm可调分辨率重塑入门级设备标准。搭载405nm或375nm激光光源,支持4095级灰度模式与2.5D结构制作,可在硅、玻璃等多种基材上实现精细图案曝光。其110×110mm加工幅面适配4英寸以内晶圆,配合实时激光控制与自动对焦功能,1秒即可完成对焦,特别适合高校实验室的微结构研发,将传统数小时的掩模制备流程缩短至分钟级。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域,为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案,推动技术普惠。图案灵活性:支持 STL 模型直接导入,30 分钟完成从设计到曝光全流程。光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米

无掩模技术:成本与效率的双重revolution,Poloscore的无掩模光刻技术,彻底摒弃了传统光刻中昂贵且耗时的硬掩模制备环节。通过激光直写将设计直接投射到光敏层,不only节省了每套数万元的掩模成本,更将图案迭代周期从数周缩短至数小时。在芯片研发中,这一技术使科研团队可快速测试不同电路布局,将新品研发周期平均缩短60%;在小批量生产中,则避免了掩模库存压力,适配个性化定制需求。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域,为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案,推动技术普惠。广东德国PSP-POLOS光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米客户认可:全球 500 + 客户满意度达 98%,复购率 75%,技术支持响应时间 < 2 小时。

航空航天:微型传感器的可靠加工,航空航天领域对器件小型化与可靠性的高要求,使Polos设备成为理想选择。其加工的微型压力传感器,通过0.8μm精度的应变片图案设计,实现了0.01kPa的测量精度,且能耐受-50℃至150℃的极端温度。在卫星载荷研发中,科研人员利用Beam系列设备制作的微型天线,体积较传统产品缩小70%,信号接收灵敏度却提升25%,充分适配航天器的轻量化需求。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域,为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案,推动技术普惠。
无掩模激光光刻技术为研究实验室提供了一种多功能的纳米/微米光刻工具,可用于创建亚微米级特征,并促进电路和器件的快速原型设计。经济高效的桌面配置使研究人员和行业从业者无需复杂的基础设施和设备即可使用光刻技术。应用范围扩展至微机电系统(MEM)、生物医学设备和微电子器件的设计和制造,例如以下领域:医疗(包括微流体)、半导体、电子、生物技术和生命科学、先进材料研究。全球无掩模光刻系统市场规模预计在2022年达到3.3606亿美元,预计到2028年将增长至5.0143亿美元,复合年增长率为6.90%。由于对5G、AIoT、物联网以及半导体电路性能和能耗优化的需求不断增长,预计未来几十年光刻市场将持续增长。多材料兼容性:同步加工陶瓷 / PDMS / 金属,微流控芯片集成电极与通道一步成型。

在制备用于柔性显示的纳米压印模板时,Polos 光刻机的亚微米级定位精度(±50nm)确保了图案的均匀复制。某光电实验室使用该设备,在石英基底上刻制出周期 100nm 的柱透镜阵列,模板的图案保真度达 99.8%,边缘缺陷率低于 0.1%。基于此模板生产的柔性 OLED 背光模组,亮度均匀性提升至 98%,厚度减至 50μm,成功应用于下一代折叠屏手机,相关技术已授权给三家面板制造商。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。固态电池:锂金属界面阻抗降至 50Ω・cm²,电池循环寿命提升 3 倍。广东德国PSP-POLOS光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米
光学超材料突破:光子晶体结构precise制造,赋能超透镜与隐身技术研究。光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米
SPS POLOS µ以紧凑的桌面设计降低实验室设备投入,光束引擎通过压电驱动实现高速扫描(单次写入400 µm区域)。支持AZ5214E等光刻胶的高效曝光,成功制备3 µm间距微图案阵列和叉指电容器,助力纳米材料与柔性电子器件的快速验证。其无掩模特性进一步减少材料浪费,为中小型实验室提供经济解决方案62。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米
Polos光刻机与弗劳恩霍夫ILT的光束整形技术结合,可定制激光轮廓以优化能量分布,减少材料蒸发和飞溅,提升金属3D打印效率7。这种跨领域技术融合为工业级微纳制造(如光学元件封装)提供新思路,推动智能制造向高精度、低能耗方向发展Polos系列broad兼容AZ、SU-8等光刻胶,通过优化曝光参数(如能量密度与聚焦深度)实现不同材料的高质量加工。例如,使用AZ5214E时,可调节光束强度以减少侧壁粗糙度,提升微结构的功能性。这一特性使其在生物相容性器件(如仿生传感器)中表现outstanding26。光学超材料突破:光子晶体结构precise制造,赋能超透镜与隐身技术研究。POLOSBEAM-X...