东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，凭借超高精度成为医疗设备制造的中心检测工具。医疗设备零部件对尺寸精度与表面质量要求严苛，RPS 设备的测量精度可达 0.005mm，平均采样点距低至 0.03mm，能够精细捕捉复杂曲面的细微特征。RPS 采用蓝光窄带光源，抗干扰能力强，可有效避免环境光线对扫描结果的影响，确保数据真实性。在医疗设备研发阶段，RPS 可快速扫描样品，生成三维数据用于设计优化与功能性测试；在量产环节，RPS 通过快速批量扫描实现零部件质量筛查，及时发现尺寸偏差。该 RPS 设备支持多种数据格式输出，可与医疗设备设计软件无缝对接，加速产品研发周期。目前，RPS 已应用于手术器械、植入体等关键医疗部件的制造检测，为医疗设备的安全性与可靠性提供了有力的 RPS 技术保障。RPS 远程等离子体源支持多种通讯协议，方便接入自动化产线与 MES 系统实现智能管控。福建国内RPS腔室清洗
东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08，为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术，通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体，释放出高活性自由基，与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应，聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离，避免离子轰击造成的腔室损伤，同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中，RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物，确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷，维护简单，运行稳定性强，可适配不同规格半导体工艺腔体，目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。海南国内RPSRPS 远程等离子体源在光刻前后处理晶圆，提高光刻胶附着力与图形精度。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具建立了完善的质量追溯与全生命周期管理体系，确保检测设备的长期可靠性。RPS 检具从原材料采购开始，每个生产环节都有详细的质量记录，包括加工参数、检测结果等，可实现全程追溯。在使用过程中，RPS 检具配备使用记录模块，记录每次检测的时间、操作人员、检测结果等信息，便于设备维护与质量问题排查。晟鼎精密提供 RPS 检具的定期校准与维护服务，根据设备使用情况制定个性化维护方案，延长设备使用寿命。当 RPS 检具达到使用年限后，公司提供专业的回收与报废处理服务，确保环保合规。该 RPS 检具全生命周期管理方案为客户降低了使用成本，提升了检测可靠性，成为企业质量控制的长期合作伙伴。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源，针对第三代半导体（GaN、SiC）的加工特性进行了专项优化，成为该领域的中心加工设备。第三代半导体材料硬度高、脆性大，传统加工方式易产生表面损伤，RPS 通过中性自由基反应实现低损伤加工，避免表面微裂纹的产生。RPS 可精细控制工艺参数，适配 GaN、SiC 等材料的刻蚀与清洁需求，在保证加工精度的同时，比较大限度保护材料原有性能。在第三代半导体器件制造中，RPS 的高选择性刻蚀能力可实现不同材料层的精细分离，高深宽比加工能力满足器件微型化需求。该 RPS 设备运行稳定，工艺重复性强，可满足第三代半导体量产需求，目前已应用于功率器件、射频器件等产品的制造，为第三代半导体产业发展提供了关键的 RPS 技术支撑。RPS 远程等离子体源采用高频微波技术，等离子体密度更高，工艺效果更均匀稳定。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，为机器人零部件制造提供了多方位的精度把控方案。机器人零部件的尺寸精度与装配精度直接影响机器人的运动性能，RPS 设备的测量精度可达 0.01mm，能够精细检测齿轮、关节等关键零部件的尺寸偏差。RPS 支持快速批量扫描，可在短时间内完成大量零部件的质量筛查，提高生产效率。在机器人研发阶段，RPS 可扫描竞品零部件，获取三维数据用于设计参考；在量产阶段，RPS 通过实时检测及时调整生产工艺，确保零部件质量一致性。该 RPS 设备可与机器人设计软件无缝对接，生成的三维数据可直接用于设计优化与仿真分析。目前，RPS 已应用于工业机器人、服务机器人等产品的制造检测，成为机器人产业高质量发展的中心 RPS 技术支撑。RPS 远程等离子体源可配合高精度气体混配系统，按需定制自由基组分与浓度。福建国产RPS石墨舟处理
RPS 远程等离子体源避免强电场直接干扰工艺区，保护敏感器件免受电荷积累损伤。福建国内RPS腔室清洗
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 基准点系统，是保障汽车零部件装配一致性的中心技术。在汽车生产过程中，不同批次、不同供应商的零部件需实现精细装配，RPS 通过统一的定位点标准，确保零部件在装配环节的定位统一。RPS 定位点由 3 个主定位点和若干辅助定位点组成，通过 “3-2-1 定位原则” 限制零部件的 6 个自由度，避免因定位误差导致的装配偏差。在总装车间，RPS 检测设备可快速验证零部件的定位精度，及时发现超差产品，避免不合格零部件流入装配环节。晟鼎精密的 RPS 系统可与汽车生产线上的自动化设备联动，实现零部件装配的自动化定位与检测，提升装配效率。通过 RPS 技术的应用，汽车车身间隙均匀性明显提升，零部件干涉问题大幅减少，成为汽车制造企业提升产品品质的中心 RPS 解决方案。福建国内RPS腔室清洗
