高精密环境控制设备是一款自主研发的精密环境控制产品，主要由设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等组成，为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供招高精度温湿度、洁净度的工作环境。该设备内部通过风机引导气流以一定的方向循环，控制系统对循环气流的每个环节进行处理，从而使柜内的温湿度达到超高的控制精度。温度稳定性蕞高可达±0.002°C，湿度稳定性蕞高可达±0.3%RH，洁净等级蕞高可实现 ISO class 1级。极测（南京）高精密水冷冷冻水机组采用自主研发高精度温度采集模块，准确测量实验舱内实时的温湿度。膜厚测量仪精密温控控制系统
极测（南京）专注精密环境控制解决方案，现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室，应用于众多科研与生产场景。目前，高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃，洁净度十级以上。拥有结合全场景非标定制能力，可满足用户不同环境参数及使用需求，比如温湿度稳定性、洁净度，抗微振、防磁、隔音等，持续领跑超高精密环控技术革新。当前半导体行业处于快速发展与技术迭代的关键期，本土供应链的完善与升级至关重要。极测（南京）技术此次业绩表现，不仅标志着公司在市场拓展与业务运营上实现突破，展现出强劲的增长态势，更体现了其在半导体精密环控领域的核心竞争力持续提升，为后续发展奠定了坚实基础。膜厚测量仪精密温控控制系统系统采用高精密控温算法，能将设备工作区域的温度波动控制在±0.002℃范围内（静态工况下可达±2mK）。
极测设备的智能化设计为干涉仪的稳定运行增添强力保障：数据全流程可溯：实时记录并图形化显示温度、湿度等关键环境参数变化曲线，数据自动存储并支持表格导出。设备运行状态、故障事件完整记录，为科研数据的溯源分析、生产质量管理提供坚实、透明的依据。智能闭环监控：内置自动安全保护系统，异常情况即时响应，故障自动处理机制确保设备 7x24 小时无忧运行。远程协助功能极大缩短故障排除时间，蕞大限度保障干涉仪测量工作的连续性。
匠心灵活设计：按需定制无惧干扰灵活部署：采用可拆卸铝合金框架结构，大型设备现场轻松组装，大幅节省安装成本和时间。坚固美观：高质量钣金箱体坚固耐用，外观颜色可按需定制，完美融入现代化实验室环境。静谧运行：应用 EC 风机与高效隔音材料，运行噪音低于 45dB，营造安静专注的工作氛围，避免噪音对精密操作和干涉仪调试产生干扰。
超高洁净环境保障：系统可实现蕞高ISO Class 1级的洁净环境（每立方米≥0.1μm颗粒物≤10个），这一洁净级别极大降低了因颗粒物导致的键合缺陷风险。
湿度与压力协同控制：除了温控精度与洁净度，系统蕞高能将湿度稳定性维持在±0.3%RH，压力波动控制在±3Pa以内。这种多参数协同控制能力，为键合工艺提供了全方wei、全时段的稳定环境保障。
智能闭环监控：内置自动安全保护系统，异常情况即时响应，故障自动处理机制确保设备 7x24 小时无忧运行。
在高duan制造与科研领域，温度控制的微小偏差正在扼杀技术突破：半导体光刻环节：极紫外（EUV）光刻机要求冷却水温度波动≤±0.001℃。传统机组温度控制±0.5℃的精度会导致光刻胶形变，造成纳米级线宽偏差，单次工艺损失超$50万。冷冻电镜（Cryo-EM）成像：生物样本温度控制需在-180℃下维持±0.1℃稳定性。温度波动超过阈值会使冰晶破坏蛋白质结构，3D重建分辨率从3Å劣化至8Å，研究成果价值归零。高功率激光加工：光纤激光器温度控制漂移＞±0.02℃时，热透镜效应导致光束焦点偏移20μm，碳钢切割断面粗糙度增加300%，废品率飙升。技术本质：传统水冷机组受限于PID控制滞后性、换热器结垢衰减、单点故障风险，无法满足超精密场景的温度控制“零容忍”需求。晶圆需要经历一系列高精度的蚀刻、涂层、光刻等工艺，这些工艺都需要在特定的温度范围内进行。膜厚测量仪精密温控设备采购
控温精度：提供业界前列的 ±0.002℃高精密温度控制能力，温度水平均匀性严格控制在 <16mK/m 范围内。膜厚测量仪精密温控控制系统
极测（南京）高精密水冷冷冻水机组的 “数字引擎”PT100 温度传感器与PID 控制算法形成基础控温链路，控温精度达 ±0.1℃~±0.01℃；高精密逐级控温专利设计（如分级制冷回路）进一步细化控制层级，部分机型引入自适应模糊控制算法，在激光加工、医疗设备等复杂场景中，将精密水冷冷冻水机组的控温精度提升至±0.001℃（毫 K 级）。
精密水冷冷冻水机组采用板式换热器，其微通道结构与波纹板片设计使传热系数提升 20%~40%，同时具备体积紧凑、易维护等优势；不锈钢 / 铜材质增强耐腐蚀性，适配半导体、医疗等行业对水质与洁净度的高要求；环保冷媒 R410A 的应用，更契合全球绿色制造趋势。
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