在半导体制造、精密光学检测等领域，环境参数的微小偏差都可能导致产品性能大幅下降。想要实现波动 ±0.005℃的精密温度控制与 ISO Class 3 的洁净度，需要突破传统环境控制的技术瓶颈。 南京拓展科技旗下企业，极测（南京）作为专业的精密温控设备供应商，其对环境温度控制精度可达 ±0.002℃，洁净度可达一级（优于ISO class1），这一数据在行业内处于前列水平。为精密制造和精密仪器的运行提供了可靠的环境保障。精密温控设备现已服务多家芯片半导体令页军企业，以及国家重点实验室。精密温控通过以下方式根据用户的不同需求进行设备的非标定制。系统采用高精密控温算法，能将设备工作区域的温度波动控制在±0.002℃范围内（静态工况下可达±2mK）。陕西精密温控设备智能化
高精密环控柜由我司自主研发，是一款精密环境控制产品，可实现ISOClass1-6级洁净度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的温度波动控制。拥有全场景非标定制能力，能针对用户的个性化需求（如温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等）提供解决方案。设备运行数据实时记录查询，且配备自动安全保护系统，确保长时间运行无忧。其构成部分包括设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等，主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。湿度控制采用 “外环境保证相对湿度、大环境稳定绝dui含湿量” 的方式，通过精确控温实现环境仓内部湿度稳定。为达成温湿度及洁净度要求，采用大风量小温差设计，通过空气快速循环过滤带走余热，使温度波动保持在极低数值（关键区域 ±0.002℃）；并通过多级控温（先经表冷盘降温，再由多级电加热逐步升温），将温度精度从 ±0.1℃升级至 ±0.002℃。恒温恒湿洁净精密温控非标定制除了温控精度与洁净度，系统蕞高能将湿度稳定性维持在±0.3%RH，压力波动控制在±3Pa以内。
考虑到不同生产车间的布局需求，极测精密环控设备采用可拆卸铝合金框架，大型设备可在现场便捷组装，节省安装时间与成本。箱体采用高质量钣金材质，不仅坚固耐用，还可根据客户需求定制外观颜色，融入不同的工作环境。设备运行时，采用 EC 风机和高效隔音材质，实现静音高效运转，噪音低于 45dB，为操作人员营造安静舒适的工作环境，避免噪音干扰测量操作和数据分析。 自推出以来，极测精密环控设备已成功为众多企业的三坐标测量仪提供了稳定可靠的工作环境，赢得了赞誉。在制造业对高精度、高效率生产要求日益提升的如今极测精密环控设备为精密制造和质量检测奠定坚实基础，助力企业在激烈的市场竞争中脱颖而出。
极测精密温控箱罩配备了先进的数据实时记录查询功能。在三坐标测量仪运行过程中，精密温控箱罩的温度、湿度等关键环境数据自动生成曲线，操作人员可直观地观察到环境参数的变化趋势。数据自动保存且可随时以表格形式导出，同时设备的运行状态、故障状态等事件也同步记录。这不仅方便了生产过程中的质量追溯与分析，还能帮助技术人员及时发现潜在问题，优化测量流程。一旦设备出现异常，自动安全保护系统迅速启动，故障自动保护程序确保设备全天候稳定运行，实时声光报警提醒工作人员，并支持远程协助故障处理，蕞大程度减少因设备故障导致的生产停滞，保障生产效率。极测（南京）专注于研发、生产和销售高端定制化精密环控系统，目前已拥有结合全场景非标定制能力。
极测（南京）技术有限公司的精密水冷冷冻水机组凭借毫 K 级控温精度（±0.001℃）、快速响应能力及高稳定性设计，成为半导体制造中蚀刻与沉积设备、晶圆制造、芯片测试等关键环节的标配温控设备。本文结合半导体工艺对温度的严苛需求，解析该机组如何通过专li技术实现全流程温度精zhun控制，助力提升芯片良率与生产效率，为半导体行业用户提供温控设备选型与应用参考。
在半导体制造向 3nm 甚至更小制程突破的today，精密水冷冷冻水机组已从 “辅助设备” 升级为 “关键工艺设备”。极测（南京）技术有限公司的产品凭借毫 K 级控温、全流程适配及高可靠性，正在助力国内晶圆厂、封测厂及研发机构攻克温度敏感型工艺难题。对于半导体行业而言，选择一款能够精zhun匹配蚀刻、沉积、晶圆生长、芯片测试等全场景需求的温控设备，不仅是提升良率的关键，更是在全球半导体竞争中构建技术壁垒的重要一环。
半导体生产过程中使用的许多材料对湿度也非常敏感。例如，光刻胶在高湿环境下容易吸湿，影响其固化效果。光学检测精密温控系统
精密测量需要在恒温条件下进行，因为各种工程材料都有热膨胀性。标准测量温度通常为20℃。陕西精密温控设备智能化
极测（南京）技术有限公司注重设备的稳定性和可靠性。通过严格的质量检测和优化设计，确保设备在长时间运行过程中保持稳定性能，减少故障发生的概率。同时，极测还提供完善的售后服务，及时响应客户的需求，为客户解决设备使用过程中遇到的问题。 作为精密温控设备供应商，极测（南京）始终将守护半导体制造精度作为使命。凭借前列的技术、可靠的产品和高质量的服务，极测正在成为半导体制造企业信赖的合作伙伴，为推动半导体产业的发展贡献力量。陕西精密温控设备智能化
