极测（南京）技术有限公司的精密水冷冷冻水机组融合多项专li技术，打造超精密温控关键能力：高精密控温技术：动态平衡的 “神经中枢”机组搭载自主研发高精度温度采集模块，实时捕捉供水温度数据并传输至控制器，通过冷冻水阀无级调节与电加热器协同工作，结合PID 算法及逐级控温专li技术实现温度偏差的精zhun计算与动态调节。例如，在半导体极紫外光刻工艺中，该技术可将精密水冷冷冻水机组的出水温度波动控制在±0.001℃，满足纳米级制造对温度稳定性的严苛要求。极测（南京）高精密环控设备用于芯片加工、元器件组装等场景，避免热应力对精密元件的影响，提升良品率。恒温恒湿洁净精密温控设计
纳米级温度控制：系统采用高精密控温算法，能够将键合设备工作区域的温度波动控制在±0.002℃范围内（静态工况下可达±2mK），温度均匀性小于16mK/m。这种级别的温度稳定性，确保了键合过程中材料热变形量被压缩到纳米级别，为高精度键合提供了可能。
超高洁净环境保障：系统可实现蕞高ISO Class 1级的洁净环境（每立方米≥0.1μm颗粒物≤10个），这一洁净级别极大降低了因颗粒物导致的键合缺陷风险。
湿度与压力协同控制：除了温控精度与洁净度，系统蕞高能将湿度稳定性维持在±0.3%RH，压力波动控制在±3Pa以内。这种多参数协同控制能力，为键合工艺提供了全方wei、全时段的稳定环境保障。
恒温恒湿洁净精密温控设计晶圆需要经历一系列高精度的蚀刻、涂层、光刻等工艺，这些工艺都需要在特定的温度范围内进行。
高精密环控柜由我司自主研发，是一款精密环境控制产品，可实现ISOClass1-6级洁净度，以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的温度波动控制。拥有全场景非标定制能力，能针对用户的个性化需求（如温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等）提供解决方案。设备运行数据实时记录查询，且配备自动安全保护系统，确保长时间运行无忧。其构成部分包括设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷（热）系统、照明系统、局部气浴等，主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备，提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。湿度控制采用 “外环境保证相对湿度、大环境稳定绝dui含湿量” 的方式，通过精确控温实现环境仓内部湿度稳定。为达成温湿度及洁净度要求，采用大风量小温差设计，通过空气快速循环过滤带走余热，使温度波动保持在极低数值（关键区域 ±0.002℃）；并通过多级控温（先经表冷盘降温，再由多级电加热逐步升温），将温度精度从 ±0.1℃升级至 ±0.002℃。
极测（南京）关键技术市如何适配半导体严苛需求的？毫 K 级控温的技术密码专li级 PID + 逐级控温：通过 “超高精度工艺冷却水系统及其恒温控制方法” 专li，结合自主研发温度采集模块与多级制冷回路设计，实现对蚀刻机腔体温度的±0.001℃级控制，例如在 EUV 光刻机中，可确保光刻胶曝光时的热形变小于 1 纳米；板式换热器强化传热：微通道结构与不锈钢材质提升换热效率 30% 以上，同时避免铜离子污染（半导体行业忌用材质），满足晶圆制造对水质纯净度的要求。抗干扰与快速响应能力双压缩机冗余设计：在晶圆厂 24 小时连续生产中，单压缩机故障时备用模块可在快速自动切入，避免因停机导致的工艺中断；变频技术动态调温：通过压缩机变频调节制冷量，在芯片测试环节面对多工位负载切换时，温度恢复时间很大缩短。极测（南京）高精密水冷冷冻水机组采用自主研发高精度温度采集模块，准确测量实验舱内实时的温湿度。
极测精密温控箱罩配备了先进的数据实时记录查询功能。在三坐标测量仪运行过程中，精密温控箱罩的温度、湿度等关键环境数据自动生成曲线，操作人员可直观地观察到环境参数的变化趋势。数据自动保存且可随时以表格形式导出，同时设备的运行状态、故障状态等事件也同步记录。这不仅方便了生产过程中的质量追溯与分析，还能帮助技术人员及时发现潜在问题，优化测量流程。一旦设备出现异常，自动安全保护系统迅速启动，故障自动保护程序确保设备全天候稳定运行，实时声光报警提醒工作人员，并支持远程协助故障处理，蕞大程度减少因设备故障导致的生产停滞，保障生产效率。例如，光刻工艺中，微小的温度波动会导致曝光位置的漂移，进而影响线路的精确度。芯片精密温控制造
此外，晶圆在高温环境下可能会因为热膨胀而发生变形，影响成品率。恒温恒湿洁净精密温控设计
极测设备的智能化设计为干涉仪的稳定运行增添强力保障：数据全流程可溯：实时记录并图形化显示温度、湿度等关键环境参数变化曲线，数据自动存储并支持表格导出。设备运行状态、故障事件完整记录，为科研数据的溯源分析、生产质量管理提供坚实、透明的依据。智能闭环监控：内置自动安全保护系统，异常情况即时响应，故障自动处理机制确保设备 7x24 小时无忧运行。远程协助功能极大缩短故障排除时间，蕞大限度保障干涉仪测量工作的连续性。
匠心灵活设计：按需定制无惧干扰灵活部署：采用可拆卸铝合金框架结构，大型设备现场轻松组装，大幅节省安装成本和时间。坚固美观：高质量钣金箱体坚固耐用，外观颜色可按需定制，完美融入现代化实验室环境。静谧运行：应用 EC 风机与高效隔音材料，运行噪音低于 45dB，营造安静专注的工作氛围，避免噪音对精密操作和干涉仪调试产生干扰。
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