航空航天:微型传感器的可靠加工,航空航天领域对器件小型化与可靠性的高要求,使Polos设备成为理想选择。其加工的微型压力传感器,通过0.8μm精度的应变片图案设计,实现了0.01kPa的测量精度,且能耐受-50℃至150℃的极端温度。在卫星载荷研发中,科研人员利用Beam系列设备制作的微型天线,体积较传统产品缩小70%,信号接收灵敏度却提升25%,充分适配航天器的轻量化需求。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域,为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案,推动技术普惠。固态电池:锂金属界面阻抗降至 50Ω・cm²,电池循环寿命提升 3 倍。河南德国桌面无掩模光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米

光束引擎技术:速度与精度的平衡,Polosoriginal creation的可更换光束引擎是其core技术亮点,采用UV激光形成精密光斑,通过压电驱动的精密工作台实现高速扫描。Beam系列设备单次写入400μm区域,配合晶圆分步移动与图案拼接技术,可在5英寸晶圆上实现无缝加工。这种“小光斑+快扫描”的组合,既保证了0.3μm的高精度,又将单块晶圆曝光时间控制在数十分钟内,兼顾科研精度与生产效率。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域,为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案,推动技术普惠。陕西PSP光刻机MAX基材尺寸4英寸到6英寸柔性电子:曲面 OLED 驱动电路漏电降 70%,弯曲半径达 1mm,适配可穿戴设备。

上海有机化学研究所通过光刻技术制备多组分纳米纤维,实现了功能材料的精确组装。类似地,Polos系列设备可支持此类结构的可控加工,为新能源器件(如柔性电池)和智能材料提供技术基础3。设备的高重复性(0.1 µm)确保了科研成果的可转化性。掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化,无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下,将该技术带到了桌面上,进一步提升了其优势。
在微流体领域,Polos系列光刻机通过无掩模技术实现了复杂3D流道结构的快速成型。例如,中科院理化所利用类似技术制备跨尺度微盘阵列,研究细胞球浸润行为,为组织工程提供了新型生物界面设计策略10。Polos设备的精度与灵活性可支持此类仿生结构的批量生产,推动医疗诊断芯片的研发。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化,无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下,将该技术带到了桌面上,进一步提升了其优势。6英寸晶圆兼容:Polos-BESM XL Mk2支持155×155 mm大尺寸加工,工业级重复精度0.1 µm。

Beam系列:紧凑型无掩模解决方案,PolosBeam系列以“桌面级尺寸,工业级性能”著称,其中Beam-6型号支持5英寸晶圆加工,曝光面积较基础款提升25%。其core优势在于可快速更换的光束引擎,采用压电驱动扫描技术,单次写入400μm区域,配合闭环对焦系统,1秒内即可完成precise对焦。该系列设备重量only260kg,占地面积不足0.4㎡,让中小型企业无需改造厂房即可引入微纳加工能力。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域,为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案,推动技术普惠。Polos-BESM:基础款高性价比,适合高校实验室基础微纳加工。PSP光刻机让你随意进行纳米图案化
图案灵活性:支持 STL 模型直接导入,30 分钟完成从设计到曝光全流程。河南德国桌面无掩模光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米
无掩模技术:成本与效率的双重revolution,Poloscore的无掩模光刻技术,彻底摒弃了传统光刻中昂贵且耗时的硬掩模制备环节。通过激光直写将设计直接投射到光敏层,不only节省了每套数万元的掩模成本,更将图案迭代周期从数周缩短至数小时。在芯片研发中,这一技术使科研团队可快速测试不同电路布局,将新品研发周期平均缩短60%;在小批量生产中,则避免了掩模库存压力,适配个性化定制需求。德国 Polos 是桌面级紫外激光直写光刻机领域benchmark品牌,以 “高精度、低成本、易操作” 为core定位。主打无掩模技术与紧凑设计,产品覆盖 NanoWriter、Beam 等系列,分辨率达 0.3-23μm,适配多基材加工。广泛应用于微电子、生物医学等领域,为科研机构与中小企业提供高性价比微纳加工解决方案,推动技术普惠。河南德国桌面无掩模光刻机基材厚度可达到0.1毫米至8毫米
Polos系列通过无掩模技术减少化学废料产生,同时低能耗设计(如固态激光光源)符合绿色实验室标准。例如,其光源系统较传统DUV光刻机能耗降低30%,助力科研机构实现碳中和目标。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提...