考虑到不同生产车间的布局需求,极测精密环控设备采用可拆卸铝合金框架,大型设备可在现场便捷组装,节省安装时间与成本。箱体采用高质量钣金材质,不仅坚固耐用,还可根据客户需求定制外观颜色,融入不同的工作环境。设备运行时,采用 EC 风机和高效隔音材质,实现静音高效运转,噪音低于 45dB,为操作人员营造安静舒适的工作环境,避免噪音干扰测量操作和数据分析。 自推出以来,极测精密环控设备已成功为众多企业的三坐标测量仪提供了稳定可靠的工作环境,赢得了赞誉。在制造业对高精度、高效率生产要求日益提升的如今极测精密环控设备为精密制造和质量检测奠定坚实基础,助力企业在激烈的市场竞争中脱颖而出。洁净室内需配置无尘空气过滤与流通系统,保证气流分布合理,无死角,使洁净空气充分到达每个角落。半导体精密温控平台
在中国,随着制造业的快速发展和产业升级,半导体、航空航天、生物医药等领域对高精密环境控制设备的需求急剧增长。据市场研究机构QYResearch预测,全球高精密环境控制设备市场规模预计在未来五年内将以年均超过8%的复合增长率增长,到2028年将达到数十亿美元规模。在半导体领域,随着工艺向更高精度迈进,2nm工艺要求温度控制精度从±0.1℃提升至±2mK,全球晶圆厂每年在温度控制设备上的投入超过50亿美元;光电光学领域,高duan光学显微镜、量子光学实验等对温度控制精度要求极高;量子计算领域,量子比特对温度极为敏感,高精密环控舱是必需设备,未来5年需求可能呈指数级增长。同时,各国产业政策也推动了高精密环境控制设备市场的发展。美国《芯片与科学法案》、欧盟“欧洲量子旗舰计划”、中国《十四五集成电路产业发展规划》等政策的出台,为行业发展提供了良好的政策环境和资金支持。
计量精密温控舱极测(南京)高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。
极测(南京)专注精密环境控制解决方案,现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景。目前,高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,比如温湿度稳定性、洁净度,抗微振、防磁、隔音等,持续领跑超高精密环控技术革新。当前半导体行业处于快速发展与技术迭代的关键期,本土供应链的完善与升级至关重要。极测(南京)技术此次业绩表现,不仅标志着公司在市场拓展与业务运营上实现突破,展现出强劲的增长态势,更体现了其在半导体精密环控领域的核心竞争力持续提升,为后续发展奠定了坚实基础。
在半导体制造领域,每一纳米的变化都可能直接影响芯片的性能与良率。作为高精度检测的关键环节,半导体量测设备(如电子显微镜、膜厚测量仪、OCD量测等)自身对运行环境的要求也极为苛刻。环境的细微波动,都会引入测量误差。 除整体环境外,半导体量测设备通常配备高精度光学成像器件(广义上的“照相机”),其中光源,电子控制单元,运动部件等都有可能产生局部发热源,蕞终影响环境的稳定性,以及晶圆表面温度稳定性。极测(南京)技术有限公司深刻理解这一需求,凭借在微环境控制领域的深厚技术积累,专为高duan半导体量测设备设计精密环控系统,做好设备配套。系统由设备主柜体(设备维护结构模块)、洁净过滤系统、局部气浴、控制系统、气流循环系统、制冷(热)系统等组成。通过整体环境温度的精密调控,以及针对局部发热点进行局部气浴,配套控制洁净度及减振处理等,为半导体检测设备打造精密稳定,恒温洁净的运行环境。在精密测量领域,细动误差是一个关键问题,它主要由难以察觉的机械振动或外部干扰引起。
半导体制造中键合设备对环境要求极高,需在恒温、恒湿、高洁净的环境中运行,同时严格控制振动与静电。这些要求旨在确保键合界面的材料活性稳定、设备机械精度达标,避免因温湿度波动导致的键合偏差、颗粒污染引发的界面缺陷或静电损坏芯片,从而保障微米级至亚微米级键合精度及产品良率与可靠性。 精密洁净间的主柜体为内部精密组件构筑起稳固的运作空间;依托高精密控温技术,以0.1%的精密控制输出精度。此外,精密洁净间设备配备的气流循环系统,通过风机驱动气流定向循环,结合高效洁净过滤器,不仅能确保设备内部温度均匀分布,更能达到百级以上的超高洁净标准,工作区域洁净度蕞高优于ISO class3,为半导体光刻机、键合设备等对环境要求严苛的精密仪器,打造了近乎完美的研发生产环境。精密测量需要在恒温条件下进行,因为各种工程材料都有热膨胀性。标准测量温度通常为20℃。光学检测精密温控配套
极测精密温控设备已成为半导体企业、典型通信设备商、显示面板前列品牌及众多重量级实验室的合作伙伴。半导体精密温控平台
高精密环控柜由我司自主研发,是一款精密环境控制产品,可实现ISOClass1-6级洁净度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的温度波动控制。拥有全场景非标定制能力,能针对用户的个性化需求(如温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等)提供解决方案。设备运行数据实时记录查询,且配备自动安全保护系统,确保长时间运行无忧。其构成部分包括设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等,主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备,提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。湿度控制采用 “外环境保证相对湿度、大环境稳定绝dui含湿量” 的方式,通过精确控温实现环境仓内部湿度稳定。为达成温湿度及洁净度要求,采用大风量小温差设计,通过空气快速循环过滤带走余热,使温度波动保持在极低数值(关键区域 ±0.002℃);并通过多级控温(先经表冷盘降温,再由多级电加热逐步升温),将温度精度从 ±0.1℃升级至 ±0.002℃。半导体精密温控平台