高精密冷冻水机组是一种专为工业及特殊环境设计的制冷设备,通过精确的温度控制和高效制冷循环,为高精度制造、数据中心、医药生产等领域提供稳定可靠的冷却解决方案。其关键特点在于高能效、低波动性及智能化控制,满足严苛的温控需求。极测(南京)技术有限公司采⽤⾃研温控技术,高精密冷冻水机组冷冻⽔的出⽔温度蕞⾼精度可达±0.002℃。高精密冷冻水机组采用国际有名品牌压缩机,配套高质量高效能铜管制作的板式换热器及有名品牌电气元器件。使机组具有精度高、体积小、噪音低、寿命长、操作简便、高效节能等优点。高精密冷冻水机组采用自主研发高精度温度采集模块,准确测量实验舱内实时的温湿度数值并传输给控制器,冷冻水阀无级调节、无级调节电加热器、模拟量控制加湿器可根据实际实验舱需求调节输出功率。专为高精度恒温恒湿控制设计的PID算法,在运行过程中进行比例、积分、微分的计算并输出控制,使实验室内温度湿度处于稳定状态,绝dui焓湿量的控制策略,使控制实验舱内湿度控制快速准确,没有误操作误判断。系统可实现蕞高ISO Class 1级的洁净环境(每立方米≥0.1μm颗粒物≤10个)。天津恒温恒湿精密温控
极测方案:蕞高±0.002℃精密温控,铸就测量 “计量基准”控温精度:提供业界前列的 ±0.002℃高精密温度控制能力,温度水平均匀性严格控制在 <16mK/m 范围内,确保测量过程的稳定性和 0.1% 的控制输出精度。
湿度与洁净协同保障:设备同时实现 ±0.5%@8h 的高湿度稳定性,杜绝因湿度问题导致的零部件腐蚀和镜片结雾风险。洁净度控制可达百级以上,关键工作区蕞高优于 ISO class3 标准,严防尘埃颗粒干扰精密光路。
全方wei环境定制:极测具备强大的全场景非标定制能力,不仅能满足严苛的温湿度稳定性需求,还能根据用户具体场景定制抗微振、防磁、隔音等综合环境参数,为干涉仪量身打造理想的工作空间。
微环境精密温控系统由设备主柜体、洁净过滤系统、局部气浴、控制系统、气流循环系统、制冷(热)系统等组成。
高精密环控柜由我司自主研发,是一款精密环境控制产品,可实现ISOClass1-6级洁净度,以及±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等不同精度的温度波动控制。拥有全场景非标定制能力,能针对用户的个性化需求(如温湿度稳定性、洁净度、抗微振、防磁、隔音等)提供解决方案。设备运行数据实时记录查询,且配备自动安全保护系统,确保长时间运行无忧。其构成部分包括设备主柜体、控制系统、气流循环系统、洁净过滤器、制冷(热)系统、照明系统、局部气浴等,主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量与制造设备,提供超高精度的温湿度及洁净度工作环境。湿度控制采用 “外环境保证相对湿度、大环境稳定绝dui含湿量” 的方式,通过精确控温实现环境仓内部湿度稳定。为达成温湿度及洁净度要求,采用大风量小温差设计,通过空气快速循环过滤带走余热,使温度波动保持在极低数值(关键区域 ±0.002℃);并通过多级控温(先经表冷盘降温,再由多级电加热逐步升温),将温度精度从 ±0.1℃升级至 ±0.002℃。
通过查阅资料、咨询专业人士或参考其他用户评价,了解精密环控设备供应商的信誉和口碑。极测(南京)技术有限公司已在众多相关领域成功应用其产品,为客户提供了稳定可靠的研发和生产环境,赢得了赞誉。同时,要清楚精密环控设备供应商的售后服务政策,包括保修期限、售后响应时间等,良好的售后能在设备出现故障时及时维修,减少停机时间。极测在售后方面也有相应的保障措施,为客户解决后顾之忧。如需了解,欢迎浏览极测(南京)技术有限公司官网了解。半导体生产过程中使用的许多材料对湿度也非常敏感。例如,光刻胶在高湿环境下容易吸湿,影响其固化效果。
极测(南京)技术有限公司的精密水冷冷冻水机组凭借毫 K 级控温精度(±0.001℃)、快速响应能力及高稳定性设计,成为半导体制造中蚀刻与沉积设备、晶圆制造、芯片测试等关键环节的标配温控设备。本文结合半导体工艺对温度的严苛需求,解析该机组如何通过专li技术实现全流程温度精zhun控制,助力提升芯片良率与生产效率,为半导体行业用户提供温控设备选型与应用参考。
在半导体制造向 3nm 甚至更小制程突破的today,精密水冷冷冻水机组已从 “辅助设备” 升级为 “关键工艺设备”。极测(南京)技术有限公司的产品凭借毫 K 级控温、全流程适配及高可靠性,正在助力国内晶圆厂、封测厂及研发机构攻克温度敏感型工艺难题。对于半导体行业而言,选择一款能够精zhun匹配蚀刻、沉积、晶圆生长、芯片测试等全场景需求的温控设备,不仅是提升良率的关键,更是在全球半导体竞争中构建技术壁垒的重要一环。
洁净室内的温度波动可能会导致晶圆材料的物理性质发生变化,影响生产精度。四川精密温控价格
极测(南京)高精密水冷冷冻水机组采用自主研发高精度温度采集模块,准确测量实验舱内实时的温湿度。天津恒温恒湿精密温控
极测(南京)专注精密环境控制解决方案,现已服务多家全球半导体、通信设备、显示面板企业与国家重点实验室,应用于众多科研与生产场景。目前,高精密环境控制设备已实现蕞高温控精度±0.002℃,洁净度十级以上。拥有结合全场景非标定制能力,可满足用户不同环境参数及使用需求,比如温湿度稳定性、洁净度,抗微振、防磁、隔音等,持续领跑超高精密环控技术革新。当前半导体行业处于快速发展与技术迭代的关键期,本土供应链的完善与升级至关重要。极测(南京)技术此次业绩表现,不仅标志着公司在市场拓展与业务运营上实现突破,展现出强劲的增长态势,更体现了其在半导体精密环控领域的核心竞争力持续提升,为后续发展奠定了坚实基础。天津恒温恒湿精密温控