在高duan制造业的关键地带，纳米级芯片、微米级航空叶片、亚波长光学元件的精密制造，对生产环境提出了前所未有的严苛要求。其中，精密温控扮演着决定性角色——一丝微小的温度波动，都可能成为制约良率与性能的关键瓶颈。作为环境控制领域的关键要素，精密温控设备已从幕后走向前台，成为前列制造不可或缺的“精密制造基座”。南京拓展科技旗下企业极测（南京）技术有限公司，凭借二十六载在实验室环境控制领域的技术积淀，推出颠覆行业的精密环控柜系列产品。其高达±0.002℃ 的温控精度与ISO Class 3级洁净度（每立方米≥0.1μm颗粒数≤1，000个），为半导体制造、航空航天、生物医药等战略新兴产业筑起了坚实的“科技堡垒”。灵活部署：采用可拆卸铝合金框架结构，大型设备现场轻松组装，大幅节省安装成本和时间。2mK精密温控参数
极测（南京）关键技术市如何适配半导体严苛需求的？毫 K 级控温的技术密码专li级 PID + 逐级控温：通过 “超高精度工艺冷却水系统及其恒温控制方法” 专li，结合自主研发温度采集模块与多级制冷回路设计，实现对蚀刻机腔体温度的±0.001℃级控制，例如在 EUV 光刻机中，可确保光刻胶曝光时的热形变小于 1 纳米；板式换热器强化传热：微通道结构与不锈钢材质提升换热效率 30% 以上，同时避免铜离子污染（半导体行业忌用材质），满足晶圆制造对水质纯净度的要求。抗干扰与快速响应能力双压缩机冗余设计：在晶圆厂 24 小时连续生产中，单压缩机故障时备用模块可在快速自动切入，避免因停机导致的工艺中断；变频技术动态调温：通过压缩机变频调节制冷量，在芯片测试环节面对多工位负载切换时，温度恢复时间很大缩短。膜厚测量仪精密温控公司系统可实现蕞高ISO Class 1级的洁净环境（每立方米≥0.1μm颗粒物≤10个）。
立式干涉仪作为精密测量的关键设备，基于光的干涉原理工作，通过测量干涉条纹变化精确测定物体长度、角度、表面平整度等参数，精度可达纳米级别。但也正因如此，其对工作环境的微小变化极为敏感。温度波动会致使干涉仪的光学元件、机械结构以及被测物体热胀冷缩，如光学镜片的热变形会改变光线传播路径，进而使干涉条纹位移，在高精度测量中引入不可忽视的误差，严重影响测量准确性与可靠性。极测微环境控制系统运用自主研发的高精密控温技术，控制输出精度达 0.1%，设备内部温度稳定性关键区域可达 +/-2mK（静态），温度水平均匀性小于 16mK/m。这一精度确保了在立式干涉仪运行时，光学元件与机械结构不受温度波动干扰，始终维持在蕞佳工作状态，微环境控制系统为精zhun测量提供稳定基础。
极测（南京）微环境控制系统设备内部湿度稳定性可达 ±0.5%@8h，有效防止因湿度变化引发的光学元件发霉、机械部件生锈等问题，延长立式干涉仪使用寿命。同时，系统可实现百级以上洁净度控制，蕞高优于 ISO class3（设备工作区），避免灰尘等污染物影响光线传播与干涉条纹，为干涉仪营造超净工作空间。 智能功能助力运维极测微环境控制系统具备强大的数据实时记录查询功能。运行中的温度、湿度等关键数据自动生成曲线，便于操作人员直观掌握环境变化。微环境控制系统数据自动保存且可随时导出，运行状态与故障状态同步记录，方便进行数据分析、质量追溯与故障排查。此外，自动安全保护系统可实现故障自动保护，确保设备全天候稳定运行，减少因故障导致的测量中断。极测（南京）致力于为芯片半导体、电子信息、光学仪器、精密制造、新能源等行业提供高精密环境解决方案。
极测（南京）技术有限公司采用相对湿度由外环境保证，大环境控制空气中的绝dui含湿量保持稳定，以实现环境仓内部湿度稳定性。其超精密环控舱内部构造先进，包括分区送风静压腔、分区回风流道、毫 K 级测温采集模组 + 1/10Bpt100 矩阵式分布、中低频吸 / 阻静音设计方案等。自研高精密温控技术，冷冻水的出水温度蕞高精度可达 ±0.002℃。
在温度控制方面，采用大风量小温差的设计思想，通过快速循环空气过滤并带走热量，使温度波动处于极低数值，关键区域可达 ±0.002℃。同时采用多级控温，将温度精度逐步提升。针对光路部分设计密闭防护罩，表面开孔可有效降低发热区域温度，控制风速。对于局部发热区域，采用局部气浴进行温度控制，确保该区域温度在一定范围内，且 30s 内的温度变化率不超过 0.03℃。
精密环控系统安装后，精度显著提高。温度稳定性从 ±2℃提升至 ±0.004℃，湿度稳定性从 ±10% RH 提升至 ±0.8% RH，洁净度从 100 级提升至 10 级，噪音值从 70dB 降低至 55dB，测量误差从 400 降低至 4。
极测（南京）凭借其自主研发的精密环控系统，为键合设备提供了超稳定的运行环境，成为突破工艺的关键支撑。天津冷水机组精密温控
适用于医疗设备生产中的冷却需求，如激光医疗设备、低温生物样本储存等，同时低噪设计可满足医院环境要求。2mK精密温控参数
极测（南京）致力于为全球高精密需求用户打造超精密稳定的研发与生产环境，专注于研发、生产和销售高端定制化精密环控系统，目前已拥有结合全场景非标定制能力，满足用户不同温湿度稳定性、洁净度，气压稳定性、抗微振、防磁、隔音等个性化需求。科学技术成果认定为国际先进水平。服务行业覆盖：半导体芯片、精密光学、精密测量、新能源、航空航天、通信技术等行业。极测在新技术浪潮中奋力向前，攀登环境控制新高度！为用户提供精zhun、稳定、可靠的高精密环境！2mK精密温控参数
