河北POLOSBEAM光刻机分辨率1.5微米

针对碳化硅（SiC）功率模块的栅极刻蚀难题，Polos 光刻机的激光直写技术实现了 20nm 的边缘粗糙度控制，较传统光刻胶工艺提升 5 倍。某新能源汽车芯片厂商利用该设备，将 SiC MOSFET 的导通电阻降低 15%，开关损耗减少 20%，推动车载逆变器效率突破 99%。其灵活的图案编辑功能支持快速验证新型栅极结构，使器件研发周期从 12 周压缩至 4 周，助力我国在第三代半导体领域实现弯道超车。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。掩模制备时间归零，科研人员耗时减少 60%，项目交付周期缩短 50%。河北POLOSBEAM光刻机分辨率1.5微米

某revolution生物医学研究机构致力于开发快速、precise的疾病诊断技术。在研发一种用于早期tumor筛查的微流体诊断芯片时，采用了德国 Polos 光刻机。利用其无掩模激光光刻技术，科研团队成功制造出拥有复杂微通道网络的芯片。这些微通道能精确控制生物样本与检测试剂的混合及反应过程，极大提高了检测的灵敏度和准确性。以往使用传统光刻技术制备此类芯片，不only周期长，且精度难以保证。而 Polos 光刻机使制备周期缩短了近三分之一，助力该机构在tumor早期诊断研究上取得重大突破，相关成果已发表在国际authority医学期刊上。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。陕西德国POLOS光刻机不需要缓慢且昂贵的光掩模Polos-BESM XL：大尺寸加工空间，保留紧凑设计，科研级精度实现复杂结构一次性成型。

针对植入式医疗设备的长期安全性问题，某生物电子实验室利用 Polos 光刻机在聚乳酸（）基底上制备可降解电极。其无掩模技术避免了传统掩模污染，使电极的金属残留量低于 0.01μg/mm²，生物相容性测试显示细胞存活率达 99%。通过自定义螺旋状天线图案，开发出的可降解心率监测器，在体内降解周期可控制在 3-12 个月，信号传输稳定性较同类产品提升 50%，相关技术已进入临床前生物相容性评价阶段。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。

SPS POLOS µ以桌面化设计降低设备投入成本，无需掩膜制备费用。其光束引擎通过压电驱动快速扫描，单次写入区域达400 µm，支持光刻胶如AZ5214E的高效曝光。研究案例显示，该设备成功制备了间距3 µm的微图案阵列和叉指电容器，助力纳米材料与柔性电子器件的快速原型验证。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化，无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下，将该技术带到了桌面上，进一步提升了其优势。Polos-µPrinter 入选《半导体技术》年度创新产品，推动无掩模光刻技术普及。

SPS POLOS µ以紧凑的桌面设计降低实验室设备投入，光束引擎通过压电驱动实现高速扫描（单次写入400 µm区域）。支持AZ5214E等光刻胶的高效曝光，成功制备3 µm间距微图案阵列和叉指电容器，助力纳米材料与柔性电子器件的快速验证。其无掩模特性进一步减少材料浪费，为中小型实验室提供经济解决方案62。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。6英寸晶圆兼容：Polos-BESM XL Mk2支持155×155 mm大尺寸加工，工业级重复精度0.1 µm。吉林德国BEAM光刻机分辨率1.5微米

Polos-BESM XL：130mm×130mm 曝光幅面，STL 模型直接导入，微流控芯片制备周期缩短 40%。河北POLOSBEAM光刻机分辨率1.5微米

在微流控芯片集成领域，某微机电系统实验室利用 Polos 光刻机的多材料同步曝光技术，在同一块 PDMS 芯片上直接制备出金属电极驱动的气动泵阀结构。其微泵通道宽度可控制在 20μm，流量调节精度达 ±1%，响应时间小于 50ms。通过软件输入不同图案，可在 10 分钟内完成从连续流到脉冲流的模式切换。该芯片被用于单细胞代谢分析，实现了单个tumor细胞葡萄糖摄取率的实时监测，检测灵敏度较传统方法提升 3 倍，相关设备已进入临床前验证阶段。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术，用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件，开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成，操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小，非常适合研究实验室，并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域，为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。河北POLOSBEAM光刻机分辨率1.5微米