在制备用于柔性显示的纳米压印模板时,Polos 光刻机的亚微米级定位精度(±50nm)确保了图案的均匀复制。某光电实验室使用该设备,在石英基底上刻制出周期 100nm 的柱透镜阵列,模板的图案保真度达 99.8%,边缘缺陷率低于 0.1%。基于此模板生产的柔性 OLED 背光模组,亮度均匀性提升至 98%,厚度减至 50μm,成功应用于下一代折叠屏手机,相关技术已授权给三家面板制造商。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。能源收集:微型压电收集器效率 35%,低频振动发电支持无源物联网。河南德国PSP-POLOS光刻机光源波长405微米

SPS POLOS µ以桌面化设计降低设备投入成本,无需掩膜制备费用。其光束引擎通过压电驱动快速扫描,单次写入区域达400 µm,支持光刻胶如AZ5214E的高效曝光。研究案例显示,该设备成功制备了间距3 µm的微图案阵列和叉指电容器,助力纳米材料与柔性电子器件的快速原型验证。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化,无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下,将该技术带到了桌面上,进一步提升了其优势。湖北德国桌面无掩模光刻机让你随意进行纳米图案化图案灵活性:支持 STL 模型直接导入,30 分钟完成从设计到曝光全流程。

Polos光刻机在微机械加工中表现outstanding。其亚微米分辨率可制造80 µm直径的开环谐振器和2 µm叉指电极,适用于传感器与执行器开发。结合双光子聚合技术(如Nanoscribe系统),用户还能扩展至3D微纳结构打印,为微型机器人及光学元件提供多尺度制造方案。无掩模光刻技术可以随意进行纳米级图案化,无需使用速度慢且昂贵的光罩。这种便利对于科研和快速原型制作非常有用。POL0S@ Beam XL在性能上没有任何妥协的情况下,将该技术带到了桌面上,进一步提升了其优势。
植入式神经电极需要兼具生物相容性与导电性能,表面微图案可remarkable影响细胞 - 电极界面。Polos 光刻机在铂铱合金电极表面刻制出 10μm 间距的蜂窝状微孔,某神经工程团队发现该结构使神经元突触密度提升 20%,信号采集噪声降低 35%。其无掩模特性支持根据不同脑区结构定制电极阵列,在大鼠海马区电生理实验中,单神经元信号识别率从 60% 提升至 85%,为脑机接口技术的临床转化奠定了硬件基础。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。POLOS µ 光刻机:桌面级设计,2-23μm 可调分辨率,兼容 4 英寸晶圆,微机电系统加工误差 < 5μm。

对于纳 / 微机械系统的研究与制造,德国 Polos 光刻机系列展现出强大实力。无掩模激光光刻技术赋予它高度的灵活性,科研人员能够快速将创新设计转化为实际器件。在制造微型齿轮、纳米级悬臂梁等微机械结构时,Polos 光刻机可precise控制激光,确保每个部件的尺寸和形状都符合设计要求。 借助该光刻机,科研团队成功研发出新型微机械传感器,其灵敏度和响应速度远超传统产品。并且,由于系统占用空间小,即使是小型实验室也能轻松引入。Polos 光刻机以其低成本、高效率的特性,成为纳 / 微机械系统领域的制造先锋,助力科研人员不断探索微纳世界的奥秘。电子学应用:2μm 线宽光刻能力,第三代半导体器件研发效率提升 3 倍。吉林德国BEAM光刻机分辨率1.5微米
微流体领域:支持 1-100μm 微通道定制,助力organ芯片血管网络precise建模。河南德国PSP-POLOS光刻机光源波长405微米
低成本桌面化光刻:SPS POLOS µ的科研普惠!Polos系列在微流体领域实现复杂3D流道结构的快速成型。例如,中科院理化所利用类似技术制备跨尺度微盘阵列,研究细胞浸润行为,为组织工程提供新策略3。Polos的高精度与灵活性支持仿生结构批量生产,推动医疗诊断芯片研发,如tumor筛查与药物递送系统的微型化64。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提供了利用其功能的机会。河南德国PSP-POLOS光刻机光源波长405微米
Polos系列通过无掩模技术减少化学废料产生,同时低能耗设计(如固态激光光源)符合绿色实验室标准。例如,其光源系统较传统DUV光刻机能耗降低30%,助力科研机构实现碳中和目标。无掩模激光光刻 (MLL) 是一种微加工技术,用于在基板上以高精度和高分辨率创建复杂图案。一个新加坡研究团队通过无缝集成硬件和软件组件,开发出一款紧凑且经济高效的 MLL 系统。通过与计算机辅助设计软件无缝集成,操作员可以轻松输入任意图案进行曝光。该系统占用空间小,非常适合研究实验室,并broad应用于微流体、电子学和纳/微机械系统等各个领域。该系统的经济高效性使其优势扩展到大学研究实验室以外的领域,为半导体和医疗公司提...