真空泵故障维修

（1）以德国莱宝真空泵维修为例，首先要分析真空泵的故障原因。a)若是真空泵已返油，用手扳动皮带轮旋转数周，即可起动。b)若是由于长期不运转或停机后未放入大气，可以将真空泵腔内充满真空泵油，然后用手扳动皮带轮旋转数周，即可起动。若是油温太低导致的启动困难，那么就应给油加温或让室内温度保持在15度以上，也可以用手扳动皮带轮旋转数周，再继续通电运转数分钟，即可正常工作。另外，油变质了必须更换新的真空泵油，电源缺相，应检修电源。油封旋片真空泵长期使用后，会出现真空度下降、密封处漏油、真空泵转动停滞、甚至发生“卡死”、油污染严重、真空泵腔生锈、旋片有大的撞击声、真空泵腔内落入硬物划伤真空泵腔、造成真空泵过热等异常现象，此时必须对真空泵进行拆洗。（2）德国莱宝真空泵维修拆洗步骤如下：a)切断电源，将真空泵从真空系统上卸下，用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境；b)卸下皮带、皮带轮积键(双级旋片真空泵包含皮带);c)先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等；d)将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等；e)取下视镜、排气阀、排气盖等；对于需要高真空环境的实验，如粒子加速器的研究，选择适合的真空泵是确保实验成功的关键一步。真空泵故障维修

真空原理：TRP系列罗茨真空泵是利用两个8字形转子相互垂直安装在一对平行轴上，由传动比为1:1的一对齿轮坐反向同步旋转，在转子之间、转子与泵腔之间保持一定的间隙，进行高速运转，从而完成吸气和排气的过程，达到抽出系统内气体的目的。泵腔内转子处于位置1和2时，进气口侧内体积增加。当转子进一步旋转到位置3时，一部分容积从进气口侧被分离出来。在位置4时，这个容积开放到排气口测流入。当转子进一步转动时，气体通过排气口排出。转子每转动一圈完成两次以上的过程。罗茨泵进气口和排气口之间的压差是受到限制的。TRP系列罗茨泵在进排气口间设置了一旁通阀（2），当今气口的压差达到一定值时，旁通阀就自动打开，排气口处的部分气体通过旁通阀和反流通道（1）反流到进气口，这就**降低了高压差下罗茨泵和前级泵的运行负荷。同时，因为打开的旁通阀具有泄流作用，可确保TRP系列真空泵和前级泵可以同时启动而不会使罗茨泵和前级泵过载。由于罗茨泵不能单独工作，必须与前级泵（如旋片泵、滑阀泵、水环泵等）组成罗茨泵机组使用，若欲获得更高的真空度，可采用两台罗茨泵串联组成三级罗茨泵机组。国内真空泵保养在真空热处理过程中，真空泵有助于控制温度和气氛，优化材料性能。

EdwardsiGX600半导体干式真空泵iGX干式真空泵系列为大修之间的零维护设定了新标准。提高效率降低了拥有成本，并在整个压力范围内提供连续的泵送任务。iGX干泵包括以太网连接，允许通过网页查看关键数据，以及一套***的网络选项，以确保泵的持续可用性。iGX泵提供各种峰值速度和变体，可满足从清洁到中型工艺的应用。模块化设计允许用户配置iGX干泵以满足个别晶圆厂的要求。超紧凑的占地面积允许安装选项，包括工具上、近距离或远程。iGX干式真空泵系列为大修之间的零维护设定了新标准。提高效率降低了拥有成本，并在整个压力范围内提供连续的泵送任务iGX干泵--iGX1000N真空泵维修，干泵维修

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真空泵性能：*转子与泵腔、转子与转子之间无摩擦，不需润滑*结构紧凑体积小，可以水平或垂直安装*具有良好的动平衡性，运转平稳，振动小，噪音低*可抽除可凝性气体*启动快，能在短时间内达到极限压力*功率小，运转维护费用低*罗茨泵带有旁通阀，起到自动过载保护作用，故运行安全可靠厦门太星机电有限公司地址：厦门市集美区海凤南里22号。低温泵通过冷凝气体分子达到抽气目的，特别适用于需要极低温度的应用。

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用途：适用于滑阀泵和大规格真空泵适用客户：沈阳恒星、成都南光、北京北仪、上海真空泵、浙江力鑫包装：16L/桶、200L/桶注意事项：150号真空泵油（一级品）换油时真空泵油换油时必须将旧油排放干净，将新油从泵的吸气口倒入，并用手缓慢转动泵轴，清扫泵腔并排尽残油，再重复清洗泵腔数次，然后将泵壳内的残油洗净装入新油；150号真空泵油（一级品不同牌号、品种以及新旧真空泵泵油不能混用，真空泵油需要避免与其他石油产品混合，尤其是轻质油品，那会影响真空泵的真空性能。要配备用加油工具，不能使用盛过其它油或溶剂的容器；真空泵故障维修