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在半导体领域,极紫外光刻系统是制造先进芯片的关键设备之一。光学系统要在极紫外等光学波长的极限波段保持高分辨成像性能。极紫外光刻技术采用极短波长的光线进行芯片制造,可以实现更高的分辨...
当今时代,电子信息技术正以前所未有的速度蓬勃发展,呈现出日新月异的变化态势。各类电子设备的更新换代周期不断缩短,几乎每隔一段时间,就会有功能更强大、性能更***的新产品问世,这种快...