宁波无尘工业烤箱

石墨盘烤盘炉

一.产品介绍

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。

二、设计特点

1、后门设计热风电机

2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向

3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的

三、技术指标

1、使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃；

2、绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸；

4、加热元件：石墨加热棒；

5、冷却方式：气冷 + 循环风冷降温；

6、控温稳定度：±2℃，具有PID参数自整定功能；

7、炉膛温度均匀度：±5℃（恒温1500℃）；

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%；

9、极限真空: 10-3torr级；

10、抽气速率：空载下，30min达到10-2torr

11、升温功率：170kW；

12、升温速率：15℃/min（空载）；

13、降温速率：1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高） 合肥真萍告诉您工业烤箱的应用范围。宁波无尘工业烤箱

下面为大家介绍一下高温无氧固化烘箱。无氧干燥箱应用于航空、航天、石油、化工、、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，模压固烤、IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。1、技术指标与基本配置：1.1使用温度：RT～260℃，极限温度：300℃；1.2炉膛腔数:2个,上下布置；1.3炉膛材料：SUS304镜面不锈钢；加热元件：不锈钢加热器；热偶：K分度1.4温度和氧含量记录:无纸记录仪；2、氧含量（配氧分析仪）：2.1高温状态氧含量：≤10ppm+气源氧含量;低温状态氧含量：≤20ppm+气源氧含量2.2控温稳定度：±1℃；2.3温度均匀度：±2%℃（260℃平台）；宁波无尘工业烤箱工业烤箱怎样挑选比较好?

真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。洁净节能氮气柜的温湿度记录功能：2.5.1内建内存，可储存温度/湿度，收集时间1~240分钟可自行设定。2.5.2可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。2.5.3品管记录格式设计，有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式。洁净节能氮气柜的湿度警报系统：1.6.1可设定启动警报的湿度值及条件，内配蜂鸣器（90分贝）及闪烁警示功能1.6.2可另外选配积层式警示灯。1.7、温湿度偏移校正功能：内建校正功能，确保显示准确度。

高温钟罩炉设备规格及结构炉膛结构：采用多晶莫来石材料砌筑而成外形尺寸：W1300×H2200×D1510(mm)一、热工系统1.1额定温度：1550℃1.2限制温度：1600℃1.3加热元件：U型硅钼棒1.4加热功率：16kW1.5空炉保温功率≤8kW1.6温区个数：1个1.7控温点数：1点1.8热偶:B分度1.9程序**精度：±2℃（大于600℃,升温速率≤3℃/min）二、气氛系统2.1炉膛气氛：2路空气，流量计量程为7～70L/min；每路流量可调节2.2排气系统：在炉膛顶部设置一个排气*囱，用于废气排放三、传动系统3.1传动方式：升降式3.2传动类型：电动推杆传动3.3容积：20L四、冷却系统4.1冷却结构：无4.2产品降温：随炉降温五、安全保护5.1升、降、停按钮：载料台的升、降、停控制5.2报警指示：超温、断偶、过载、超程、偏差等声光报警5.3设备安全升温速率≤5℃/min六、温度控制系统6.1温度测量:采用B分度热偶测量6.2控制方式：高性能移相调压+SCR晶闸管模块控制6.3限温处理：6.3.1当测量温度超过设定的安全值时，断加热，并报警6.3.2当测量温度超过目标温度达到限制偏差值时，报警6.4控制仪表：采用进口智能调节仪控制。具有PID参数自整定、高温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能合肥真萍告诉您工业烤箱如何去使用呢？

高温无氧固化烘箱用途介绍：无氧干燥箱应用于航空、航天、石油、化工、、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，模压固烤、IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备件等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。1、技术指标与基本配置：1.1使用温度：RT～260℃，极限温度：300℃；1.2炉膛腔数:2个,上下布置；1.3炉膛材料：SUS304镜面不锈钢；加热元件：不锈钢加热器；热偶：K分度1.4温度和氧含量记录:无纸记录仪；2、氧含量（配氧分析仪）：2.1高温状态氧含量：≤10ppm+气源氧含量;低温状态氧含量：≤20ppm+气源氧含量2.2控温稳定度：±1℃；2.3温度均匀度：±2%℃（260℃平台）；工业烤箱的运用领域有哪些？不锈钢工业烤箱价格

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