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量块比较仪标准量块长度差值的测量方法使用量块光波干涉仪进行量块长度差的测量。量块比较仪使用的待测量块的中心区域的条纹应无明显的倾斜或弯曲，或者在量块中心区域的接触测量的示值变化小于。量块比较仪将2块待测量块分别研合在2块平晶上，放在同1台量块光波干涉仪先后测量其长度。然后将2块待测量块交换再研合在同样的2块平晶上，再放在同1台量块光波干涉仪先后测量其长度。量块比较仪为了减小测量不确定度的影响，也可以使用1块平晶同时研合2块待测量块进行测量，然后2块量块交换位置重新研合测量。取2次量块长度测量结果的差值的平均值作为测量结果。研合量块时应将测量环境的相对湿度控制在40%以上，且全部研合期间湿度变化小于5%。量块比较仪整个研合工作由同一名检定员进行，该检定员研合量块的研合层厚度重复性需验证，实验标准差s<3nm。
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