精密工业烤箱非标定制

HMDS真空烤箱主要技术指标：1.机外壳采用冷扎钢板喷塑处理，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。2.箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。3.微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。4.智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用优良材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。6HMDS管路加热功能，使HMDS液体进入箱体的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易。7.低液报警装置，采用红外液体感测器，能及时灵敏给出指令（当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能）8.温度与PLC联动保护功能（当PLC没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报）9.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316不锈钢材料，整体使用无缝焊接（避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害）合肥真萍科技为您提供专业质量服务。精密工业烤箱非标定制

工作原理：空气循环系统采用双电机水平循环送风方式，风循环均匀高效。风源由循环送风电机（采用无触点开关）带动风轮经由电热器，而将热风送出，再经由风道至烘箱内室，再将使用后的空气吸入风道成为风源再度循环，加热使用。确保室内温度均匀性。当因开关门动作引起温度值发生摆动，可介此送风循环系统迅速恢复操作状态温度值。老化试验箱采用国外先进的加热气流方法，解决了原转盘式的温度不均匀先天缺陷，同时提高了试样放置的安全性，有效空间利用率是原转盘式的200%以上，适用于电子元件，橡胶零部件等材料在高温下的老化适应性试验。泉州小型工业烤箱合肥真萍科技告诉您工业烤箱的选择方法。

石墨盘烤盘炉

一.产品介绍

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体，炉内抽真空，被处理工件放置在炉膛内，采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗（清洗气体：N2，H2）。主要用于有效清洗除MOCVD承受器（SiC涂层石墨盘或石英盘）上的氮化镓和氮化铝等，可达到有效清洁处理，提高制品质量的目的。

二、设计特点

1、后门设计热风电机

2、降温时风机开启，同时两端降温封头开启，炉膛内产生如图所示的气体流向

3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换，达到快速降温的目的

三、技术指标

1、使用温度：1450℃；比较高温度：1500℃；

2、绝热材料：石墨纤维毯、石墨纸；

4、加热元件：石墨加热棒；

5、冷却方式：气冷 + 循环风冷降温；

6、控温稳定度：±2℃，具有PID参数自整定功能；

7、炉膛温度均匀度：±5℃（恒温1500℃）；

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%；

9、极限真空: 10-3torr级；

10、抽气速率：空载下，30min达到10-2torr

11、升温功率：170kW；

12、升温速率：15℃/min（空载）；

13、降温速率：1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸：1000*1000*1000mm（宽*深*高）

电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。柜体规格、配备：1.左右双开门，3mm钢化玻璃，1mm厚不锈钢板，气密式隐藏锁把手。2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭，脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。3.附高载重不锈钢隔板，柜体加装高载重煞车轮。4.上掀式气密盖，方便FFU保养及维修。5.回风循环设计，单向氮气循环不产生紊流。6.背面气密开门式设计，方便洁净清理与保养。合肥真萍科技工业烤箱，****。

产品名称：洁净烘箱

产品介绍：本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造，普遍应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。技术指标：1.无尘等级：Class100：（符合FED-STD 209E标准：0.3um≤300个0.5≤100个）2.温度范围：+60℃~ +250℃（极限温度350℃）3.温度均匀性：±2℃（空箱测试）4.温度精确度：±1℃（空箱测试）5.设备型号规格:450*450*450450*600*450600*800*600600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000; 工业烤箱的厂家哪个好？合肥真萍科技告诉您。福建工业烤箱温度不均匀

如有需要各种工业烤箱，欢迎致电合肥真萍科技咨询。精密工业烤箱非标定制

箱体结构：1烘箱总体由箱体部分，电气控制柜部分，电加热部分，风道部分，尘埃物过滤部分，N2 进气排气及风冷部分等组装而成，结构合理，功能实用。2外箱材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆可防止微尘，内胆材料：采用进口SUS304#2mm不锈钢板全周氩焊,并经碱性苏打水清洁有效的防止了机台本身灰尘的产生。3保温材料：采用正厂**玻璃纤维公司出品的100K级高密度保温板填充，防止了热能浪费。4电热部分：采用覆套式电热器（SHEATHED HEATER）无尘无氧化电热发生器。5风道部分:整体结构采用了水平送风的方式由左向右送风后经美国进口H.E.P.A,(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100； 精密工业烤箱非标定制