高性能高效高温无氧烘箱真空高温

DTN430C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～360℃

②温度调节精度：±0.5℃（at360℃）

③温度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX温度到达时间：约80分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 20分（250L/min 氮气）

⑦洁净度：温度恒定时100级

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器6.75KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

⑧HEPA过滤器：集尘效率：0.3um粒子99.97%以上

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓C1-007厌氧高温气氛炉。高性能高效高温无氧烘箱真空高温

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

■特点：

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

■安全性：

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。

高性能高效高温无氧烘箱真空高温气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似，其设计和计算方法相似。

无氧烘箱与普通工业烘箱的比较

      无氧烘箱应用于航空、航天、石油、化工、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

一、无氧烘箱与普通工业烘箱在结构上的区别

      无氧烘箱会对内箱进行满焊，同时做密封处理，这样充入的惰性气体就不会泄露，同时保证了内部的无氧环境。而普通烘箱内箱虽然也是满焊，但是没有做密封处理。

二、无氧烘箱与普通工业烘箱在控制系统上的区别

      无氧烘箱需要增加氮气控制系统，同时需要有延时加热功能，就是说在加热之前进行延时充氮，以此来保证加热时箱内已经形成无氧环境，避免高温氧化。当然，一些其他的控制技术包括双流量充氮省能源控制等方式也被许多用户采纳，即双流量+延时加热，大流量氮气充入，延时加热，当箱内充满氮气后，自动切换为小流量以此节省氮气。 而普通烘箱则没有这些功能。

气氛炉产生故障的注意及应急方法

      编制使用维护操作规程，建立运行记录和修理档案，统计运行累积工作时间，加强日常维护，掌握设备技术状态变化趋势，及早发现故障损坏苗头，避免属于事故抢修性质的热修，并根据电炉子负荷和工作状况，提前有针对性地准备修理用料，编制修理工艺。如合金元件的使用寿命长短与工作温度、炉内介质、元件质量及操作情况等许多因素有关，其波动寿命6000～10000h。

  气氛炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置时泄漏故障易发生。我厂采取每月一次测压升率(在常温下，关闭所有真空阀，停止真空系统运转，1Omin后读一个数，1h后再读一个数，两数之差是压升率的数值)，掌握设备泄漏变化趋势，如真空设备连续停机一个礼拜，要空运转一次。

  在气氛炉系统检漏时，除用泥糊堵外，也可用医用针管吸乙醚射至漏点处，观察真空表读数有无变化。也可制作留有插真空硅管孔的盲板，分段封堵真空管路，进行检漏。扩散泵有积炭可用化学酸洗的方法清洗。

俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN630C厌氧高温气氛炉。

C1-007厌氧高温气氛炉（YAMATO）

●用途：电子元器件高温处理工艺。

●用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异

●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围室温：+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温+50～600℃ 规格参数：

温度范围室温：室温+50～600℃

温度分布精度：±8.0℃（at 600℃）

温度上升时间：90min（室温→600℃）

温度下降时间：120min（600℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

固化聚酰亚胺（PI）选择YAMATO光刻胶烤箱。雅玛拓高温无氧烘箱温控系统

俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DTN430C洁净厌氧高温气氛炉。高性能高效高温无氧烘箱真空高温

国统局数据显示，2019年上半年仪器仪表大行业规模以上企业4927个，营收规模4002亿元，营收同比增长7.57%；收入总额为361亿元，同比增长2.87%，比主营收入低4.70个百分点；随着互联网的逐步发展，为真空泵，喷雾干燥机，培养箱，等离子清洗机等产品的传播提供了一个飞速的平台。让仪器仪表行业从传统的销售模式到以互联网电子商务为主的营销方式的转变，促进了仪器仪表行业与互联网的结合，推动产业创新发展。在国民经济运行中，仪器仪表、电气设备、环保设备、机械设备及配件、化工产品及原料（除危险化学品、监控化学品、民用物品、易制毒化学品）的销售，从事货物及技术的进出口业务，从事电子科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让，机械设备的维修。 【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】等设备是提高劳动生产率的倍增器，对国民经济有着巨大的作用和影响力。美国商业部地区技术和标准研究院（NIST）提出的报告称：美国90年代仪器仪表工业产值只占工业总产值的4%，但它对国民经济（GNP）的影响面却达到66%。“互联网＋”、大数据、020、万物互联网、P2P、分享经济等热门词汇的出现，各个行业制定相应的措施来顺应时代的经济发展，以争取更大的发展市场。而互联网的出现也为仪器仪表行业参与国际竞争提供了机会，有利于销售企业实现技术创新升级。高性能高效高温无氧烘箱真空高温

浚和（上海）仪器有限公司是一家供应国内外先进仪器和设备的专业供应商和服务商，致力于为客户提供专业的定制化解决方案。多年来，持续为医药、化工、高校、科研单位、检测院等多个行业提供先进的产品和专业的服务。

浚和在不断引进国内外先进仪器设备的同时，结合行业和市场需求，加强和客户之间的沟通，并与国际上多家**仪器设备制造商保持着长期稳定的合作关系，不定期地与合作商进行技术交流，努力加强自身技术力量。公司配备了数名有着多年行业经验的技术人员，依靠雄厚的技术实力、科学合理的配置方案、专业的安装调试和周到的售后服务，得到了广大用户的支持与信赖。

公司主要经营产品包括：等离子清洗机、真空泵、喷雾干燥器、数字PCR、高压灭菌锅、培养箱、切片机、水分测定仪、激光粒度仪、光谱仪、温湿度记录仪等，目前主要合作品牌有：日本雅马拓YAMATO、日本KASHIYAMA、日本HORIBA、广州永诺 、日本KEM等。同时，公司还提供专业的技术服务，如设备的维护、验证等。

浚和仪器将始终以行业特点为立足点，以客户需求为导向，不断地提高自身专业技术能力，不停地完善客户服务质量，在发展中保持创新的精神，力求与客户共同进步，为行业的发展作出不懈的努力。