山东工业烤箱非标定制

高温钟罩炉设备规格及结构

炉膛结构 ：采用多晶莫来石材料砌筑而成

外形尺寸：W1300×H2200×D1510 (mm)

一、热工系统

1.1额定温度 ：1550℃

1.2限制温度 ：1600℃

1.3加热元件： U 型硅钼棒

1.4加热功率 ：16kW

1.5空炉保温功率 ≤8kW

1.6温区个数 ：1 个

1.7控温点数 ：1 点

1.8热偶 :B 分度

1.9程序**精度 ：±2℃（大于 600℃,升温速率≤3℃/min）

二、气氛系统

2.1炉膛气氛 ：2 路空气，流量计量程为 7～70L/min；每路流量可调节

2.2排气系统： 在炉膛顶部设置一个排气*囱，用于废气排放

三、传动系统

3.1传动方式 ：升降式

3.2传动类型 ：电动推杆传动

3.3容积 ：20L  

四、冷却系统

4.1冷却结构 ：无

4.2产品降温 ：随炉降温

五、安全保护

5.1升、降、停按钮 ：载料台的升、降、停控制

5.2报警指示：超温、断偶、过载、超程、偏差等声光报警

5.3设备安全升温速率 ≤5℃/min

六、温度控制系统

6.1温度测量:采用 B 分度热偶测量

6.2控制方式：高性能移相调压+SCR 晶闸管模块控制

6.3限温处理 ：

6.3.1当测量温度超过设定的安全值时，断加热，并报警

6.3.2当测量温度超过目标温度达到限制偏差值时，报警

6.4控制仪表：采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高 温上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能 工业烤箱去哪找？合肥真萍科技告诉您。山东工业烤箱非标定制

HMDS 预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

  增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。 山东工业烤箱非标定制合肥真萍科技工业烤箱价格更优惠。

真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。

一、氮气监控系统：

1.1、2.3” LED 大屏幕数字显示湿度/温度。

1.2 、温湿度显示值0.1％-99.9％RH，温度显示值0.1℃-60.0℃。

1.3 、温湿度收集采准确传感器，长距离传输无误差。

1.4 、湿度控制：

2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入，到达湿度设定值即停止进气，节省氮气耗用。

2.4.2湿度在1％-60％RH 可调整。

1.5、温湿度记录功能：

2.5.1内建内存，可储存温度/湿度，收集时间1~240 分钟可自行设定。

2.5.2可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。

2.5.3 品管记录格式设计，有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式。

1.6、湿度警报系统：

1.6.1可设定启动警报的湿度值及条件，内配蜂鸣器（90分贝）及闪烁警示功能。

1.6.2可另外选配积层式警示灯。

1.7、温湿度偏移校正功能：内建校正功能，确保显示准确度。

下面为大家简单介绍一下真萍科技的产品之一——洁净烘箱。

本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造，普遍应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。

技术指标：

可靠的测控系统

1温度控制装置：进口温控器，内置PID自动整定，斜率设定功能

2温度控制方式为SSR固态继电器功率调整输出，温度采集探头为特制铠装K型热电偶

3温度监控装置：采用六通道巡回检测 有纸记录仪，可将烤箱内实时环境温度进行检测打印。

完善的控制系统，及安全防护措施

1操作控制系统，采用精密电子仪器仪表结合电力拖动系统控制，更快速，更稳定。

2防护措施：紧急停止，超温保护,断线报警，相序保护，过载保护，短路保护，漏电保护，及电磁门禁保护等 合肥真萍科技为您提供工业烤箱相关专业解答。

电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。

柜体规格、配备：

1.左右双开门，3mm钢化玻璃，1mm厚不锈钢板，气密式隐藏锁把手。

2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭，脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。

3. 附高载重不锈钢隔板，柜体加装高载重煞车轮。

4.上掀式气密盖，方便 FFU保养及维修。

5.回风循环设计，单向氮气循环不产生紊流。

6.背面气密开门式设计，方便洁净清理与保养。

设备适用于各种产品或材料及电气、仪表、元器件、电子、机械、化工在恒温条件下作干燥和恒温适应性试验。山东工业烤箱非标定制

国统局数据显示，2019年上半年仪器仪表大行业规模以上企业4927个，营收规模4002亿元，营收同比增长7.57%；收入总额为361亿元，同比增长2.87%，比主营收入低4.70个百分点；目前，洁净箱，干燥箱，高温无氧烤箱，隧道炉等产品的产量居世界前列，实验分析仪器等中产品的市场占比不断上升，行业技术上总体已达到的中等国际水平，少数产品接近或达到当前较高国际水平。目前我国电子产品，电子设备及配件，半导体设备及配件，半导体耗材，办公设备研发及销售。真萍科技(真萍微电子装备)是专业从事烘烤制程设备，半导体黄光区**设备，环境与可靠性试验设备,电镀清洗设备，防潮防氧化专业设备等产品的生产和销售供应厂商，是以一批多年从事环境试验设备、防潮防氧化设备,半导体黄光区**设备，电镀清洗设备等行业的专业工程技术人员，具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。产品，主要集中在中低档市场，而市场则主要被国外品牌所占据。在某些领域，国产产品甚至是空白，这就需要未来我国仪器仪表向市场进军，扩大产品占比。尽管在我国相关政策的引导和支持下，我国仪器仪表行业得到了飞速发展。但是从销售整体上看，我国的仪器仪表行业还是落后于国际水平的。重点技术缺乏、高精尖产品严重依赖进口、仪器仪表产品同质化严重、生产工艺落后、研发能力弱、精度不高等问题的凸显，为仪器仪表行业的发展带来了严峻的挑战。山东工业烤箱非标定制