河南高温无氧烘箱固化半导体晶圆

无氧烘箱与普通工业烘箱的比较

       无氧烘箱应用于航空、航天、石油、化工、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

一、无氧烘箱与普通工业烘箱在结构上的区别

       无氧烘箱会对内箱进行满焊，同时做密封处理，这样充入的惰性气体就不会泄露，同时保证了内部的无氧环境。而普通烘箱内箱虽然也是满焊，但是没有做密封处理。

二、无氧烘箱与普通工业烘箱在控制系统上的区别

       无氧烘箱需要增加氮气控制系统，同时需要有延时加热功能，就是说在加热之前进行延时充氮，以此来保证加热时箱内已经形成无氧环境，避免高温氧化。当然，一些其他的控制技术包括双流量充氮省能源控制等方式也被许多用户采纳，即双流量+延时加热，大流量氮气充入，延时加热，当箱内充满氮气后，自动切换为小流量以此节省氮气。 而普通烘箱则没有这些功能。

充氮烘箱的氮气接口使用方法

       充氮烘箱分为：鼓风式和真空式两种

       鼓风式充氮气一般需要箱体满焊确保氮气损耗快，在烘箱上配一个氮气快插接口，用于快速连接氮气管路，如果避免氮气快插接口有漏气问题，氮气入口处有蓝色密胶圈，管子**去后把密胶圈往外拉一下确保密封。

       真空式充氮气一般都用类似煤气阀的手动阀门，向外的一头就是用于连接氮气管子的快插接口，，氮气入口处有蓝色密胶圈，管子**去，使用时打开阀门即可。

----------

工业烤箱节能省电方法

1、工业烤箱采用适当的加热功率，任何系统都有一个热平衡问题，以适当的加热功率获取大的加热效果，

2、总加热功率越低越省电。显然如加热功率太低，加热时间延长，不但省不了电，反而增加生产时间，造成单位时间产晨低，增加其他成本。加热功率越大，加热越快，越省电。显然，加热功率太大，加热太快，局部温差大，损耗更大，也不省电。

3、根据不同的使用条件，工业烤箱采用不同的加热方式，以提高加热效率。

4、采用高效保温材料（比普通石棉提高60%的绝热材料），以减少能量损耗。

5、工业烤箱根据不同的烘烤过程，自动变换烘烤温度，可以节能。

6、适当的加热功率才是省电的。任何系统都有大值和小值问题，我们能根据客户的生产工艺条件设计不同类型的加热控制系统，保证大的电能使用效率才能省电。

烘箱安装要求及检查调整

1、安置地点要求：

①地面须水平

②通风须良好，落尘量较少

③不要放置在潮湿地方

④不要暴露在易燃或腐蚀性气体下（特殊烤箱除外）

⑤尽可能使可燃物远离

⑥环境温度匆过高

2、安置间隔要求：

①理想操作环境机身各方距墙60公分以上

②理想操作环境机身与机身间隔60公分以上

3、电源安装要求：

①请依电器铭板上所订之电源规格接电

②电压变动率必须在额定值±5%内

③为避免电击意外发生，机台本身必须接地（依电工法规第三种接地法实施对地电阻100Ω以下）

④不可将有漏电断路器烤箱与无此装置烤箱共用接线线路

4、水平调整：

①机台定位后，须调整水平

5、电源接线：

机台定位完成后，可由机台后方电源电缆线，并依接线端子板上之标示规格完成电源接线之工作

6、送风马达调整 无氧烘箱会对内箱进行满焊，同时做密封处理，这样充入的惰性气体就不会泄露，同时保证了内部的无氧环境。

无氧化烘箱的技术资料

       无氧化烘箱采用国家重点推广的节能环保加热新技术，通过电源使电热管加热，产生热源，当它被加热物体吸收时可直接转变为热能，从而获得快速干燥效果，达到缩短生产周期，提高产品质量的。它采用薄钢板制作，表面烤漆，工作室采用的结构钢板制作。  

       无氧化烘箱可以分为大型烘箱、高温烘箱、电热烘箱、小型烘箱等，根据条件，工业上产会选择不同的设备来进行生产。

  无氧化烘箱是一种专业用于烘烤的设备。属于烘干设备的一种。采用薄钢板制作，外面是一层油漆，烘箱内仓由结构钢板制作，能够耐高温，且不会变色。外壳与内仓之间使用硅酸铝纤维填充，底部是烘箱加热器。温度控制仪表采用数显智能表，时间控制器与报警装置相连接。使烘箱的操作更简便，快捷与有效。

  无氧化烘箱内部设有可调式分风板，可以控制烘箱内热风的风向，达到物料均匀干燥的效果。蒸汽、热水、电、热风炉都可以成为烘箱的热源的来源，而且它具有噪音小，电脑控温的特点，安装维修方便。适用范围广，可干燥各种物料。

  烘箱的主要用途是：用于医药、食品、轻工、化工、电子等行业，对物料和物品进行干燥处理。 气氛炉一般在春秋季节泄漏故障较多，长期闲置时泄漏故障易发生。广东高温无氧烘箱保养

特别重要的是高温充氮烘箱在使用中不会对内在物品质量伤害。河南高温无氧烘箱固化半导体晶圆

DTN430C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～360℃

②温度调节精度：±0.5℃（at360℃）

③温度分布精度：±5.0℃（at360℃）

④MAX温度到达时间：约80分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 20分（250L/min 氮气）

⑦洁净度：温度恒定时100级

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器6.75KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

⑧HEPA过滤器：集尘效率：0.3um粒子99.97%以上

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 河南高温无氧烘箱固化半导体晶圆