日本KASHIYAMA NEODRY 60E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 60E技术参数:
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式样 |
NEODRY 60E |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1000 |
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达到压力(Pa) |
1 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V OR 单相AC200-220V |
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消费电力(KW) |
0.35KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
315×275×570 |
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吸气口 |
KF40 |
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噪声 |
≤60DB |
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排气口 |
KF25 |
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质量【kg】 |
56kg |
二、NEODRY60E 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
NEODRY 60E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
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5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
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6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
4 半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.无锡MU100X干式真空泵价格

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型 号 项 目 |
SDE1203TX |
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注1)Max排气速度 |
20000 L/min |
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注1)极限压力 |
0.5 Pa |
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加速时间 加速時間 |
35s |
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减速时间 減速時間 |
Free Run |
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Max进气口压力 |
大 气 压 注2)在3~30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内 |
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|
Max排气背压(计示压力) |
3kPa以下 |
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电机输出功率 |
3.2kW |
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进气口(法兰) |
ISO100 |
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排气口(法兰) |
NW25 |
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润滑油量 |
1.2L(含氟油) |
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电 源 |
电 压 |
3相、200~220V 50/60 Hz 注3) 允许电压变动值 ±10% |
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容 量 |
11 kVA |
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运行电流 |
50A |
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漏电流 |
约30 mA |
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冷却水 |
Max供压 (计示压力) |
0.5MPa |
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Max小压力
|
0.3MPa |
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流 量 |
4~8 L/min |
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供水温度 |
10~25 ℃ |
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放出热量 |
约 1800kJ/h |
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|
注4) 氮 气 |
向干泵供给压 (规压) |
0.1~0.7MPa |
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流 量 |
0~80SLM 北京樫山干式真空泵维修对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。 |
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日本KASHIYAMA MU30N18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU30N18P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
50000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
1.6KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
1000×450×950 |
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质量【kg】 |
410kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU30N18P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX技术参数:|
型 号 项 目 |
SDE603TX |
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注1)MAX排气速度 |
10000 L/min |
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|
注1)极限压力 |
0.5 Pa |
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加速时间 加速時間 |
35s |
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|
减速时间 減速時間 |
Free Run |
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MAX进气口压力 |
大 气 压 注2)在3~30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内 |
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MAX排气背压(计示压力) |
3kPa以下 |
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电机输出功率 |
3.1kW |
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进气口(法兰) |
ISO100 |
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|
排气口(法兰) |
NW25 |
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润滑油量 |
1.2L(含氟油) |
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电 源 |
电 压 |
3相、200~220V 50/60 Hz 注3) 允许电压变动值 ±10% |
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容 量 |
10.5 kVA |
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|
运行电流 |
50A |
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|
漏电流 |
约30 mA |
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冷却水 |
MAX供压 (计示压力) |
0.5MPa |
|
**小压差
|
0.3MPa |
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|
流 量 |
4~8 L/min |
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|
供水温度 |
10~25 ℃ |
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|
放出热量 |
约 1800kJ/h |
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|
注4) 氮 气 |
向干泵供给压 (规压) |
0.1~0.7MPa |
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流 量 |
0~80SLM 那么干式真空泵的优势都有哪些呢? |
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日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
干式真空泵的不同系列会有不同的优势。上海MU180X干式真空泵维修
浚和(上海)仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。无锡MU100X干式真空泵价格
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项 目 |
NeoDry Series Roots多段式干泵 |
涡旋式泵 |
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特 征 |
○ |
・采用多段Roots方式抽气部分无物理接触即使长时间运行也不会发生性能退化 |
△ |
・泵内滑动部的真空密封采用接触式的密封垫。因接触式密封会发生磨损。 |
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维护性 |
○ |
・基本免维护 |
△ |
・需要定期的密封垫O/H(每年) (根据具体使用,有需要频繁更换的可能。) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更换部件。 |
△ |
・每年需要维护。 ・密封垫贵 ・疏忽定期维护导致密封垫磨损加剧影响密封效果。另外回旋涡旋与固定涡旋接触,需要更换主要部件。 |
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水蒸气排气能力 |
○ |
・水蒸气排气能力高。 350g/hr/250g/hr (NeoDry36C/30C、15C) ・气镇阀对到达压力性能的影响小。 (有气镇阀时:2Pa以下) |
△ |
・泵结构上不适合水蒸气排气。 25g/day(1g/hr) 无锡MU100X干式真空泵价格 |
日本KASHIYAMAMU20M18P/H干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:MU20M18P/HMAX排气速度(L/min):30000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V消费电力(KW):2.0KW外型尺寸WHL[mm]:500×950×1100质量【kg】:340kg二、配置清单:序号描述数量备注1MU20M18P/H主机一台,电压AC三相200V1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本干式真空泵 ,就选浚和(上海)仪器科技有限公司,让您...