企业商机
干式真空泵基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • KASHIYAMA
  • 型号
  • Neodry 36E
  • 是否定制
干式真空泵企业商机

日本KASHIYAMA NEODRY 60E 技术参数以及配置清单

一、 NEODRY 60E技术参数:

式样

NEODRY 60E

ZUI大排气速度(L/min

1000

达到压力(Pa

1

电源电压

3AC200-220V OR 单相AC200-220V

消费电力(KW

0.35KW

外型尺寸WHL [mm]

315×275×570

吸气口

KF40

噪声

60DB

排气口

KF25

质量【kg

56kg

二、NEODRY60E 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

NEODRY 60E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选

1

标配

2

电源线

1

标配

3

产品合格证

1

标配

4

气振阀(选配)

未包含

5

消音器(选配)

未包含

6

入口过滤器(选配,非原厂件)

未包含

4 半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.无锡MU100X干式真空泵价格


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Kashiyama防腐蚀干式真空泵SDE1203技术参数

型 号

项 目

SDE1203TX

注1)Max排气速度

20000 L/min

注1)极限

0.5 Pa

加速时间 加速時間

35s

减速时间 減速時間

Free Run

Max气口

大 气 压

注2)在330kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内

Max排气背压(计示压力)

3kPa以下

出功率

3.2kW

气口(法

ISO100

排气口(法

NW25

滑油量

1.2L(含氟油)

   

3相、200~220V

50/60 Hz

注3) 允许电压变动值 ±10

容  量

11 kVA

运行

50A

30 mA

冷却水

  Max供

(计示压力)

0.5MPa

Max小

0.3MPa

流  量

4~8 L/min

供水温度

10~25

放出热量

1800kJ/h

注4)

氮 气

向干泵供给压

(规压)

0.1~0.7MPa

流  量

0~80SLM 北京樫山干式真空泵维修对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。


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日本KASHIYAMA MU30N18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

MU30N18P/H

MAX排气速度(L/min)

50000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V

消费电力(KW)

1.6KW

外型尺寸WHL [mm]

1000×450×950

质量【kg】

410kg


二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

MU30N18P/H主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX技术参数:

型 号

项 目

SDE603TX

注1)MAX排气速度

10000 L/min

注1)极限

0.5 Pa

加速时间 加速時間

35s

减速时间 減速時間

Free Run

MAX气口

大 气 压

注2)在330kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内

MAX排气背压(计示压力)

3kPa以下

出功率

3.1kW

气口(法

ISO100

排气口(法

NW25

滑油量

1.2L(含氟油)

   

3相、200~220V

50/60 Hz

注3) 允许电压变动值 ±10

容  量

10.5 kVA

运行

50A

30 mA

冷却水

  MAX供

(计示压力)

0.5MPa

**小

0.3MPa

流  量

4~8 L/min

供水温度

10~25

放出热量

1800kJ/h

注4)

氮 气

向干泵供给压

(规压)

0.1~0.7MPa

流  量

0~80SLM 那么干式真空泵的优势都有哪些呢?


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日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch SA-CVDMetal-CVDPE-CVDLP-CVDALD

式样

SDE120TX

ZUI大排气速度(L/min

1500

达到压力(Pa

1.3

电源电压

3 AC200-220V

消费电力(KW

6.5KVA

吸气口

NW50

排气口

NW40

外型尺寸WHL [mm]

280×299×550

质量【kg

151kg

二、 配置清单:

序号

描述

数量

备注

1

SDE120TX主机一台,电压AC三相200V

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)

未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)

未包含

干式真空泵的不同系列会有不同的优势。上海MU180X干式真空泵维修


浚和(上海)仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。无锡MU100X干式真空泵价格

 

NeoDry Series

Roots多段式干泵

涡旋式泵

  

采用多段Roots方式抽气部分无物理接触即使长时间运行也不会发生性能退化

泵内滑动部的真空密封采用接触式的密封垫。因接触式密封会发生磨损。

维护性

基本免维护

需要定期的密封垫O/H(每年)

  (根据具体使用,有需要频繁更换的可能。)

维护成本

洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。

更换部件很少,O / H费用便宜。

抽气部分无物理接触,无因磨损更换部件。

每年需要维护。

密封垫贵

疏忽定期维护导致密封垫磨损加剧影响密封效果。另外回旋涡旋与固定涡旋接触,需要更换主要部件。

水蒸气排气能力

水蒸气排气能力高。

 350g/r/250g/r  

        (NeoDry36C30C、15C

气镇阀对到达压力性能的影响小。

(有气镇阀时:2Pa以下)

泵结构上不适合水蒸气排气。

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