樫山真空集中了经半导体,液晶行业等所研发的技术,针对一般工业应用
开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。
Ⅱ,特 征
ⅰ) 采用多段ROOTS方式 (抽气部分为非物理性接触构造),
不会因长时间的运行导致设备性能下降。
ⅱ) 保养周期长,因需更换的零件少,可降低后期保养费用。
iii ) 通过选购气镇阀,使设备具有水汽排气性能。
浚和(上海)仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。KASHIYAMA干式真空泵中国授权代理商

日本KASHIYAMA SDE804060干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDE804060 |
|
MAX排气速度(L/min) |
190000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
外型尺寸WHL [mm] |
1000×1980×1850 |
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE804060主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
广州NEODRY 36E干式真空泵对于不同的需求我们选择不同的干式真空泵系列。

日本KASHIYAMA NEODRY 30E 技术参数以及配置清单
一、 NEODRY 30E技术参数:
|
式样 |
NEODRY 30E |
|
MAX排气速度(L/min) |
500 |
|
达到压力(Pa) |
1 |
|
电源电压 |
单相AC200-220V |
|
外型尺寸WHL [mm] |
210×250×450 |
|
吸气口 |
KF40 |
|
噪声 |
≤60DB |
|
排气口 |
KF25 |
|
质量【kg】 |
25kg |
二、NEODRY30E 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
NEODRY 30E主机一台,电压AC三相200V或者单相200V可选 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
4 |
气振阀(选配) |
|
未包含 |
|
5 |
消音器(选配) |
|
未包含 |
|
6 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):
① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
2、系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
一个好的干式真空泵需要具备哪些特点您了解吗?

日本KASHIYAMA MU600X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
MU600X |
|
MAX排气速度(L/min) |
10000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
0.6KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
230×520×530 |
|
质量【kg】 |
120kg |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU600X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
干式真空泵的无油环保特点成为了干式真空泵的主要卖点。东莞NEODRY 30E干式真空泵正规代理买干式真空泵找浚和(上海)仪器有限公司。KASHIYAMA干式真空泵中国授权代理商
日本KASHIYAMA SDE4060干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDE4060 |
|
MAX排气速度(L/min) |
60000 |
|
达到压力(Pa) |
0.8 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
外型尺寸WHL [mm] |
750×1200×1600 |
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE4060主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
KASHIYAMA干式真空泵中国授权代理商
日本KASHIYAMASDE20M09X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:SDE20M09XMAX排气速度(L/min):30000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V,380-480V消费电力(KW):2.6KW外型尺寸WHL[mm]:460×960×900二、配置清单:序号描述数量备注1SDE20M09X主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦...