干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
浚和(上海)仪器有限公司主营日本KASHIYAMA干式真空泵。无锡樫山干式真空泵销售电话

|
型 号 项 目 |
SDE1203TX |
|
|
注1)Max排气速度 |
20000 L/min |
|
|
注1)极限压力 |
0.5 Pa |
|
|
加速时间 加速時間 |
35s |
|
|
减速时间 減速時間 |
Free Run |
|
|
Max进气口压力 |
大 气 压 注2)在3~30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内 |
|
|
Max排气背压(计示压力) |
3kPa以下 |
|
|
电机输出功率 |
3.2kW |
|
|
进气口(法兰) |
ISO100 |
|
|
排气口(法兰) |
NW25 |
|
|
润滑油量 |
1.2L(含氟油) |
|
|
|
||
|
电 源 |
电 压 |
3相、200~220V 50/60 Hz 注3) 允许电压变动值 ±10% |
|
容 量 |
11 kVA |
|
|
运行电流 |
50A |
|
|
漏电流 |
约30 mA |
|
|
冷却水 |
Max供压 (计示压力) |
0.5MPa |
|
Max小压力
|
0.3MPa |
|
|
流 量 |
4~8 L/min |
|
|
供水温度 |
10~25 ℃ |
|
|
放出热量 |
约 1800kJ/h |
|
|
注4) 氮 气 |
向干泵供给压 (规压) |
0.1~0.7MPa |
|
流 量 |
0~80SLM 苏州NEODRY 36E干式真空泵授权代理干式真空泵的优势您了解多少呢? |
|

日本KASHIYAMA SDE30M09X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDE30M09X |
|
MAX排气速度(L/min) |
45000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
2.8KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
500×960×1020 |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE30M09X主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
日本KASHIYAMA SDL12E50/60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDL12E50/60 |
|
MAX排气速度(L/min) |
25000 |
|
达到压力(Pa) |
0.8 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
外型尺寸WHL [mm] |
520×1050×1020 |
|
重量(kg) |
645 |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDL12E50/60主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵系列有Neodry系列、MU系列、SDE系列等。

日本KASHIYAMA SDE20N12TX干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDE20N12TX |
|
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
3.3KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
450×1000×1000 |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE20N12TX主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 想要买干式真空泵?您要先了解干式真空泵的特点。北京干式真空泵正规代理
樫山工业Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。无锡樫山干式真空泵销售电话
日本KASHIYAMA SDE200干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDE200 |
|
MAX排气速度(L/min) |
3300 |
|
达到压力(Pa) |
1.3 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
2.7KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
370×501×690 |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE200主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 无锡樫山干式真空泵销售电话
日本KASHIYAMASDE20M09X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:SDE20M09XMAX排气速度(L/min):30000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V,380-480V消费电力(KW):2.6KW外型尺寸WHL[mm]:460×960×900二、配置清单:序号描述数量备注1SDE20M09X主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦...