上海高温无氧烘箱C1-007

三分钟掌握气氛炉的注意事项

       1、除了做实验外，不要停留在高温炉管区。

       2、实验工作完毕时，若无人继续使用，请关特殊气体，保留N2运动，炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如灯光、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。

       3、处理氢氟酸时，请戴手套，如不小心碰到氢氟酸时，请立刻冲水，用葡萄酸钙加2%水，揉擦伤处15’。

       4、石英玻璃制品请小心使用，以免破裂，引起严重割伤。

       5、避免吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。

       6、**钾不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之**钾气体。

       7、一旦发现有妨碍安全之事物时，请立即通知有关人员。

       8、操作气氛炉的时候，请节约纯水用量。

       9、破晶片、滤纸、棉花棒等，请匆掉入清洗槽的底部排水孔，以免因排水不良造成地板渍水。

       10、长短推杆之前端，在还没使用到时，请朝上以免污染。

       11、晶片进出炉口时，请匆碰触炉管口，以免污染炉管。 YAMATO洁净厌氧高温气氛炉应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。上海高温无氧烘箱C1-007

气氛炉和马弗炉的区别  

       都是箱式炉的一种，从外观上看也比较相似，其实，两种热处理设备虽然外观比较相似，但是适用领域和结构并不相同，下面我们详细说明：  

       1、结构不同：

       马弗炉的结构是由炉膛、外壳、炉门、电控系统组成，一般为侧开式，主要用于陶瓷/金属烧结、高温下实验等。  

       而气氛炉有所不同，气氛炉在马弗炉的基础上，增加了气体通道和真空系统，可在真空状态下进行物料处理，或冲入保护气体进行烧结\淬火等工艺处理。  

       2、适用领域不同：  

       马弗炉主要应用于冶金、玻璃、陶瓷、磁性材料、耐火材料、晶体、电子元器件、窑炉制造等领域。  

       气氛炉的特点是在某一既定温度下，向炉内通入一定成分的人工制备气氛，以达到某种热处理的目的，如气体渗碳，碳氮共渗及光亮淬火，退火，正火等。 辽宁高温无氧烘箱正规代***氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似，其设计和计算方法相似。

DNN430C/630C/460C/660C 厌氧高温气氛炉（YAMATO）

       氧浓度20ppm、MAX工作温度600℃的气氛炉，适用于无氧环境下的高温热处理。

特点：

       ● MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度低于20ppm，主要应用于电子元件退火、LTCC去除、玻璃基板退火、陶瓷脱脂等。

       ● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量低。

       ● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

       ● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

       ● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

       ● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

       ● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电漏电保护开关等安装装置。

烘箱安装要求及检查调整

1、安置地点要求：

①地面须水平

②通风须良好，落尘量较少

③不要放置在潮湿地方

④不要暴露在易燃或腐蚀性气体下（特殊烤箱除外）

⑤尽可能使可燃物远离

⑥环境温度匆过高

2、安置间隔要求：

①理想操作环境机身各方距墙60公分以上

②理想操作环境机身与机身间隔60公分以上

3、电源安装要求：

①请依电器铭板上所订之电源规格接电

②电压变动率必须在额定值±5%内

③为避免电击意外发生，机台本身必须接地（依电工法规第三种接地法实施对地电阻100Ω以下）

④不可将有漏电断路器烤箱与无此装置烤箱共用接线线路

4、水平调整：

①机台定位后，须调整水平

5、电源接线：

机台定位完成后，可由机台后方电源电缆线，并依接线端子板上之标示规格完成电源接线之工作

6、送风马达调整 无氧烘箱会对内箱进行满焊，同时做密封处理，这样充入的惰性气体就不会泄露，同时保证了内部的无氧环境。

烘箱加热管的选择

       这边介绍主要用于烘箱的风道式加热器，可以采用碳钢材质、也可以采用不锈钢304材质或者316材质。可以根据客户烘烤的产品选择加热管的材质，正常情况下一般用碳钢材质或者不锈钢304材质，若客户烘烤产品带有弱酸碱性液体的，可以采用不锈钢316材质。若液体中有强酸的，就应该采用不锈钢316、聚四氟乙烯。

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俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN660C厌氧高温气氛炉。河北高温无氧烘箱高气密性

高温无氧烘箱通过加热使物料中的湿分（水分或其他可挥发性液体成分）汽化逸出，获得规定湿含量的固体物料。上海高温无氧烘箱C1-007

C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围：室温+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温室温+50～500℃ 规格参数：

温度范围：室温+50～500℃

温度分布精度：±8.0℃（a500℃）

温度上升时间：90min（室温→500℃）

温度下降时间：120min（500℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

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