日本KASHIYAMA MU20M18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
MU20M18P/H |
|
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
2.0KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
500×950×1100 |
|
质量【kg】 |
340kg |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU20M18P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 4 半导体、液晶行业用干式真空泵-KASHIYAMA.北京SDL12E50干式真空泵现货

干式真空泵与油泵的性能比较:
|
项 目 |
NeoDry Series 干式真空泵 |
油 泵 |
||
|
特 征 |
○ |
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。 |
△ |
・使用油密封得不到干净的真空。 ・排气时会在排气口产生油雾。 ・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。 ・泵的周围会因油雾污染环境。 |
|
维护性 |
○ |
・基本上免维护 |
△ |
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。 (根据使用情况,需要频繁更换) |
|
维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。 |
△ |
・油需定期更换产生费用。 (使用氟油的情况费用较高) ・需要更换叶片及阀门。 (因叶片为接触式) |
|
初始投资成本 |
△ |
・与油泵相比相对较高。 |
○ |
・与干泵相比较便宜。 |
|
**设备费用 |
○ |
・不需要油雾凝气阀 |
△ |
・需要油雾凝气阀。 ・需要油盘。 NEODRY 36E干式真空泵授权代理浚和(上海)仪器有限公司专业干式真空泵供应商。 |

干式无油真空泵。工作泵腔无油无水,既不会对真空室产生污染,更不会污染抽取介质。且配套少,也可直排大气。虽然短期的购置投入成本超过传统真空泵,但后期的使用维护成本,干式无油真空泵却要远远低出,而且时间越久,后期成本差异就愈加明显。
干式无油螺杆真空泵是一种干式作业、无触摸、等螺距的螺杆型真空泵。两螺杆经过精密动平衡处理,由轴承支撑,设备在泵壳中,螺杆与螺杆之间有一定空隙,泵作业作业平稳,相互无冲,作业腔无介质。因此,干式无油螺杆真空泵能抽除含有许多可凝性气体及粉尘的气体,是环境友好型、节能型真空泵。它比油封式机械真空泵、液环式真空泵、往复式真空泵等型号真空泵适用性更强。
日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
|
式样 |
SDE120TX |
|
ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
|
达到压力(Pa) |
1.3 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
6.5KVA |
|
吸气口 |
NW50 |
|
排气口 |
NW40 |
|
外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
|
质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
浚和(上海)仪器有限公司专业致力于干式真空泵批发。

日本KASHIYAMA MU20N18X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
MU20N18X |
|
MAX排气速度(L/min) |
30000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V |
|
消费电力(KW) |
1.0KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
1000×450×950 |
|
质量【kg】 |
410kg |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
MU20N18X主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本 干式真空泵的各种系列应用领域还是不一样的。成都MU100X干式真空泵维修点
上海干式真空泵批发推荐浚和(上海)仪器有限公司。北京SDL12E50干式真空泵现货
日本KASHIYAMA SDE1203X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
|
式样 |
SDE1203X |
|
MAX排气速度(L/min) |
20000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
2.0KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
400×905×900 |
二、 配置清单:
|
序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE1203X主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 北京SDL12E50干式真空泵现货
日本KASHIYAMASDE20M09X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:SDE20M09XMAX排气速度(L/min):30000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V,380-480V消费电力(KW):2.6KW外型尺寸WHL[mm]:460×960×900二、配置清单:序号描述数量备注1SDE20M09X主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦...