上海高温无氧烘箱固化半导体晶圆

C1-007厌氧高温气氛炉（YAMATO）

●用途：电子元器件高温处理工艺。

●用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异

●常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围室温：+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温+50～600℃ 规格参数：

温度范围室温：室温+50～600℃

温度分布精度：±8.0℃（at 600℃）

温度上升时间：90min（室温→600℃）

温度下降时间：120min（600℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

运转功能：定值运转、程序运转

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DTN430C洁净厌氧高温气氛炉。上海高温无氧烘箱固化半导体晶圆

烘干设备介绍

一、人性化的箱体结构设计：

1、单开门结构，取放物料方便。

2、高质量不锈钢内胆，使用安全。钢板外体，造型大方、新颖。

3、耐高温风机和合理风道构成热风循环系统，保证室内温度均匀性。

4、体积小，重量轻，利用率高，方便放置实验室、产线的任何位置。

5、玻璃门可视窗，可随时观察箱内产品烘烤情况。

二、控温精确，电气合理安全

1、智能PID温控器控温，控温精确。

2、电气控制元器件均采用国内**品牌。

3、电气线路设计新颖，合理布线，安全可靠。

4、箱体顶部为电气控制柜，方便于集中检查维修。 天津高温无氧烘箱加热管的选择高温无氧烘箱全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘。

工业烤箱要怎么样充分发挥功能？

       工业烤箱的主要作用就是烘干工业物料，想要充分发挥功能，主要源于三个方面：

       1、科学的工作原理：

       一个先进的设计理念，是工业烤箱充分发挥的前提。工业烤箱采用热风循环送风方式，热风循环系统分为水平式和垂直式。均经精确计算，风源是由送风马达运转带动风轮经由电热器，将热风送至风道后进入烘箱工作室，且将使用后的空气吸入风道成为风源再度循环加热运用，如此可有交提高温度均匀性。

       2、正确的操作：

       如工业烤箱在使用时尾气排放口必须外接排气管，要主要使用环境的温度等。

       3、要注意使用后的维护

       比如要打扫表面及内腔灰尘，保持机器干净、卫生；要定期检查电流表电流跟正常时是否一样，如有异样，通知维修工检修。检查风机运转是否正常等。

烘箱安装要求及检查调整

1、安置地点要求：

①地面须水平

②通风须良好，落尘量较少

③不要放置在潮湿地方

④不要暴露在易燃或腐蚀性气体下（特殊烤箱除外）

⑤尽可能使可燃物远离

⑥环境温度匆过高

2、安置间隔要求：

①理想操作环境机身各方距墙60公分以上

②理想操作环境机身与机身间隔60公分以上

3、电源安装要求：

①请依电器铭板上所订之电源规格接电

②电压变动率必须在额定值±5%内

③为避免电击意外发生，机台本身必须接地（依电工法规第三种接地法实施对地电阻100Ω以下）

④不可将有漏电断路器烤箱与无此装置烤箱共用接线线路

4、水平调整：

①机台定位后，须调整水平

5、电源接线：

机台定位完成后，可由机台后方电源电缆线，并依接线端子板上之标示规格完成电源接线之工作

6、送风马达调整 无氧烘箱需增加氮气控制系统，加热之前先延时充氮，以此来保证加热时箱内已经形成无氧环境，避免高温氧化。

烘箱注意事项与保养

1、使用前注意电压是否正确，请使用机台上所标示之电压，避免电过量，而火灾发生。

2、马达运行方向是否正常，若出风口有气体排出则为正常。（只适用于三相电压380V的机型）

3、当显示温度与实际温度(由标准温度计测出）差异甚大时，不可随意调整线路板之零件或内部参数，应通知本公司派工作人员前往处理。

4、使用过程中温度变化时，请匆随意打开机门。

5、恒温时，当显示温度与设定温度有过冲或偏低现象，需进行自动演算，详见操作说明。

6、请匆将机台放置于潮湿之场所或直接用水冲洗，以防漏电。

7、禁止放置酒精、粘结剂等，具有可燃性、挥发性之物品于机台内，防止意外发生。

8、在机台附近使用可燃性物品，应适当远离，防止意外发生。

9、请小心将物品放入机台，温度在60度以上的请务必戴高温手套。

10、每次使用结束后，关闭电源。

11、打扫表面及内腔灰尘，保持机器清洁。

12、检查通风口是否堵塞，并清理积尘。

13、机台内的加热器要定期进行检查，除尘及其它杂残留物。

14、突然停电，要把加热开关关闭，防止来电时自动启动。

15、若长期停用，必须对箱体进行内、外清洁，拨掉电源插头罩上塑料防尘套。

*文章*为个人观点，具体操作请在技术人员指导下进行。

高温充氮烘箱带有氮气或惰性其他保护装置，在高温的烘烤环境下，实现低氧或无氧的工作环境。YAMATO高温无氧烘箱高温充氮

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在使用烘箱时需要知道的五个知识点  

    现在烘箱很多地方都能用到，但有些地方是不可以用的，用时也有很多注意事项的，下面来列举一下，在使用烘箱时常见的五个知识点，希望对您有所帮助。

  1、可燃性和挥发性的化学物品切勿放入箱内。

  2、如在使用过程中出现异常、气味、烟雾等情况，请立即关闭电源，用户切勿盲目修理，应通知本公司修理部，由专业人员查看修理。

  3、烘箱箱壁内胆和设备表面要经常擦试，以保持清洁，增加玻璃的透明度。请勿用酸、碱或其它腐蚀性溶液来擦试外表面。可选用中性洗涤剂来清洁。

  4、烘箱长期不用，应拨掉电源线以防止设备损伤。并应定期(一般一季度)按使用条件运行2-3天，以驱除电器部分的潮气，避免损坏有关器件。

  5、烘箱箱体顶部为电气控制柜，方便于集中检查维修，维修前请与我司售后联系确认。

*文章*为个人观点，不作为技术参考。具体操作请在技术人员指导下进行。 上海高温无氧烘箱固化半导体晶圆