常州MU100X干式真空泵维修「浚和仪器供应」

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

Kashiyama防腐蚀干式真空泵SDE1203技术参数

型号项目		SDE1203TX
注１）Max排气速度		20000 L/min
注１）极限压力		0.5 Pa
加速时间加速時間		35s
减速时间減速時間		Free Run
Max进气口压力		大气压注２）在3～30kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内
Max排气背压（计示压力）		3kPa以下
电机输出功率		3.2kW
进气口（法兰）		ISO100
排气口（法兰）		ＮＷ25
润滑油量		1.2L（含氟油）

电源	电压	3相、200~220V 50/60 Hz 注３）允许电压变动值 ±10％
	容量	11 kVA
	运行电流	50A
	漏电流	约30 mA
冷却水	Max供压（计示压力）	0.5MPa
	Max小压力	0.3MPa
	流量	4~8 L/min
	供水温度	10~25 ℃
	放出热量	约 1800kJ/h
注４）氮气	向干泵供给压（规压）	0.1~0.7MPa
	流量	0~80SLM 浚和（上海）仪器有限公司就带您了解一下干式真空泵的特点。常州MU100X干式真空泵维修

日本KASHIYAMA MU100P/H干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU100P/H
MAX排气速度（L/min）	1660
达到压力（Pa）	3.0
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	0.7KW
外型尺寸WHL [mm]	350×360×630
质量【kg】	70kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU100P/H主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本南京NEODRY 36E干式真空泵维修浚和（上海）仪器有限公司专业干式真空泵供应商。

日本KASHIYAMA SDE303X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE303X
MAX排气速度（L/min）	5000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
消费电力（KW）	1.5KW
外型尺寸WHL [mm]	400×905×760

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE303X主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。

日本KASHIYAMA SDE200干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDE200
MAX排气速度（L/min）	3300
达到压力（Pa）	1.3
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
消费电力（KW）	2.7KW
外型尺寸WHL [mm]	370×501×690

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE200主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。干式真空泵的系列有：多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

樫山工业Neodry36E小型风冷干式真空泵成为等离子清洗机制造商的新宠。KASHIYAMA干式真空泵代理商

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当您选择油封泵时，您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、挡油阱、挡板等，也能达到清洁真空要求。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。当选择油封真空泵时，要考虑真空泵排出来的油蒸汽（油烟）对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，应该选无油真空泵，或者把油蒸汽排到室外。常州MU100X干式真空泵维修

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