干式真空泵与油泵的性能比较:
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项 目 |
NeoDry Series 干式真空泵 |
油 泵 |
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特 征 |
○ |
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。 |
△ |
・使用油密封得不到干净的真空。 ・排气时会在排气口产生油雾。 ・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。 ・泵的周围会因油雾污染环境。 |
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维护性 |
○ |
・基本上免维护 |
△ |
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。 (根据使用情况,需要频繁更换) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。 |
△ |
・油需定期更换产生费用。 (使用氟油的情况费用较高) ・需要更换叶片及阀门。 (因叶片为接触式) |
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初始投资成本 |
△ |
・与油泵相比相对较高。 |
○ |
・与干泵相比较便宜。 |
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**设备费用 |
○ |
・不需要油雾凝气阀 |
△ |
・需要油雾凝气阀。 ・需要油盘。 浚和(上海)仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。深圳NEODRY 60E干式真空泵正规代理 |

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX设备简介(包括对功能的基本介绍):
① SDE603TX 立式螺杆真空干泵,尺寸: W:400×H:905×L:760MM,MAX排气速度10000L/min,立式螺杆设计排气线路短,不容易发生卡死。转子材质为镍合金,防腐蚀能力优越,使用时内部温度高,适用于比较苛刻的工艺制程,例如PECVD\LPCVD\ALD\SACVD\METAL-ETCH等。
2、系统组成:
1) 罗茨泵 (SDE120TX) 1
2) 机械增压泵(KMB603) 1
3) 电源盒 1
4) 操作手柄1
5) 连接件 1
6) 消音器(SR-19) 1
上海NEODRY 60E干式真空泵代理商干式真空泵的优点有很多。

日本KASHIYAMA SDE30M20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE30M20 |
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MAX排气速度(L/min) |
50000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE30M20主机一台 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
产品介绍:KASHIYAMA为客户降低真空泵使用成本付出长期不懈的努力,NeoDry Series小型空冷多级干式罗茨真空泵由此诞生。所抽气体为洁净空气或氮气时,维护周期长达三年。广泛应用于电子半导体、锂电池、医药生物、化学材料等领域。
主要参数:
1. 采用空冷式设计降温
2. 转子与内腔非接触式物理构造设计
3. *Zui大排气速度110L/min
4. 极限真空泵5Pa(气镇阀关闭状态)
5. 选配气镇阀后,可排出水与有机溶液,Zui大水份处理量120g/hour
6. *远程或联动输出端子
7. 电动机功率:0.4kW
8. 噪音小于65dB(A)
9. 吸气口径:NW25 排气口径:NW25
10. 重量 20KG
11. 电源电压 单相AC220V
12. 外尺寸:196W x 360L x 219Hmm
基本配置:
1. 主机 一台
2. 选程起动端子 一个
3. 电源线 1.5m 一根
4. 说明书 一本 干式真空泵的系列有很多种。

日本KASHIYAMA MU30N18P/H干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
MU30N18P/H |
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MAX排气速度(L/min) |
50000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
1.6KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
1000×450×950 |
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质量【kg】 |
410kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
MU30N18P/H主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本 您知道浚和(上海)仪器有限公司的干式真空泵系列都有哪些吗?上海NEODRY 60E干式真空泵代理商
干式真空泵的主要特点是:清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。深圳NEODRY 60E干式真空泵正规代理
干式真空泵是未来行业发展的趋势,虽然现在用的还不多,除了价格高原因外,还有用户对干式真空泵的了解不到位,看不到带给企业的未来经济效益,但是干式真空泵使工作容积中无油,因此带来了不少益处。有些立式螺杆真空泵通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度,从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应;轻松的输送腐蚀性介质,安全的输送易燃易爆气体。适于处理含固体微粒介质并且不需要加过滤器。小的维护要求,该泵无齿轮箱,同时对于泵无需更换和检测润滑系统。具有20,000 小时平均无故障时间;
深圳NEODRY 60E干式真空泵正规代理
日本KASHIYAMASDE20M09X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:SDE20M09XMAX排气速度(L/min):30000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V,380-480V消费电力(KW):2.6KW外型尺寸WHL[mm]:460×960×900二、配置清单:序号描述数量备注1SDE20M09X主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦...