高性能高效高温无氧烘箱固化半导体晶圆

选购气氛炉考虑哪些方面的特点操作

       1、耐火材料：采用还原性气体，为了不影响砌体的使用寿命，以及不破环正常炉内气氛，要求炉膛砌体采用抗渗碳耐火材料。

      2、自动化程度：密封性要求高，出料操作过程复杂，要求一台炉子多用，大批量生产时，多组成大型联合热处理**或者两用以上的机组，因而要求有较高的机械化，自动化程度。

      3、密封性：为了控制炉内的气氛，维持炉内的压力，炉内工作空间始终要与外界空气隔绝，故要求炉壳，砌体，炉门及所有外界连接零件如风扇，哪些方面的特点操作热电偶，辐射管，推拉料机等采用密封装置。

      4、防爆装置：还原气体和空气混合达到一定混合比，购买设备应考虑在一定温度下易引起，故对炉子的前，后室，淬火室以及缓冷室等均设有防爆装置，炉子供气和排气的控制系统也要有防爆措施。 俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓C1-007厌氧高温气氛炉。高性能高效高温无氧烘箱固化半导体晶圆

DNN660C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

      ①使用温度范围：室温+50～600℃

      ②温度调节精度：±1.0℃（at600℃）

      ③温度分布精度：±8.0℃（at600℃） 

      ④MAX温度到达时间：约110分钟

      ⑤氧浓度：20ppm 以下

      ⑥氧浓度到达时间：≤ 25分（250L/min 氮气）

3、构成：

       ①内装：不锈钢板

       ②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

       ③断热材：硅酸铝棉

       ④加热方式：不锈钢加热管

       ⑤加热功率：主加热器14.2KW

       ⑥N2预热：1KW

       ⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

       ①温度控制方式：PID控制

       ②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

       ③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

       ④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

       ⑤附加功能：操作员等级认证

       ⑥加热器回路控制：SSR驱动

       ⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 黑龙江高温无氧烘箱工作温度俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN630C厌氧高温气氛炉。

DNN460C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

外形尺寸（宽×深×高mm）：1240×1010×1750

内容积：91L

棚板层数/层间距：12层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 20A

重量：约800kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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C1-008 洁净厌氧高温气氛炉（YAMATO）

用途：光刻工艺后段，光刻胶固化。

●MAX工作温度360℃和600℃、洁净度100级、氧浓度20ppm以下。

●程序运转功能，有自动/手动两种操作模式。

●快速升温、降温，降温时可采用空冷、空冷加水冷两种方式。

●配置了自动门锁、数字式压力表、数字式流量计等。

●全不锈钢材质。

●在安全方面，配置了自动过升防止、过升防止器、氮气压力异常、氮气流量异常、过电流漏电保护断路器等安全装置。

室温+30～360℃ 规格参数：

温度范围：室温+30～360℃

温度分布精度：±4.0℃（at 360℃）

温度上升时间：60min（室温→360℃）

温度下降时间：90min（360℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

室温室温+50～500℃ 规格参数：

温度范围：室温+50～500℃

温度分布精度：±8.0℃（a500℃）

温度上升时间：90min（室温→500℃）

温度下降时间：120min（500℃→50℃）

氧浓度：20ppm以下

氧浓度下降时间：约45分钟

洁净度：100级

装备：氮气导入装置、水冷装置、差压计等

内尺寸：W600×D600×H600mm

电源：3相 AC380V

加热管的材质正常情况下用碳钢或者不锈钢304材质，若烘烤产品带有弱酸碱性液体，可以采用不锈钢316材质。

气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似

       气氛炉的炉结构与一般热处理炉的炉结构基本相似，其设计和计算方法相似。 但是，由于要将受控气氛引入炉内，除了相应的附加装置如气氛发生装置，管道系统和滴灌系统外，还应满足炉子结构的某些特殊要求。

       1.密封性好。 炉壳主要由连续焊缝组成，活动可拆卸件由石棉绳和水玻璃制成，密封用螺钉压紧：炉体密封部分采用密封填料，压紧法兰，油封密封。 和水冷套; 材料端的前端和后腔配有两个炉门，它们交替地打开和关闭，以防止空气直接进入炉子; 在门和炉门上按压砂封槽和滚轮，倾斜块，螺栓，炉门倾斜3°。  7°重力压缩密封，或使用防火帘密封等; 定期检查管道系统是否泄漏。

       2.大气均匀流动。 合理选择进风口和排气口的位置，充电时留有间隙，并考虑气流。 用于化学热处理的可控气氛炉通常配备有风扇以迫使大气流动。

       3.合适的加热元件。为了防止炉内气氛作用于加热元件和炭黑沉积引起的短路现象，可控气氛炉的加热元件通常采用板状抗渗碳电热元件（低压和大电流电源）或辐射管加热元件，隔离气氛。

       4.设置前后腔室，淬火槽用炉体密封。 在前室和后室进料和排出后，泵送真空并重新填充保护气体，减少了大气消耗。

       5.配有安全防爆装置。 

YAMATO光刻胶烤箱可以实现处理温度500℃，洁净度100级，氧浓度低于20ppm.辽宁高温无氧烘箱洁净厌氧高温气氛炉

YAMATO洁净厌氧高温气氛炉应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。高性能高效高温无氧烘箱固化半导体晶圆

工业烤箱要怎么样充分发挥功能？

       工业烤箱的主要作用就是烘干工业物料，想要充分发挥功能，主要源于三个方面：

       1、科学的工作原理：

       一个先进的设计理念，是工业烤箱充分发挥的前提。工业烤箱采用热风循环送风方式，热风循环系统分为水平式和垂直式。均经精确计算，风源是由送风马达运转带动风轮经由电热器，将热风送至风道后进入烘箱工作室，且将使用后的空气吸入风道成为风源再度循环加热运用，如此可有交提高温度均匀性。

       2、正确的操作：

       如工业烤箱在使用时尾气排放口必须外接排气管，要主要使用环境的温度等。

       3、要注意使用后的维护

       比如要打扫表面及内腔灰尘，保持机器干净、卫生；要定期检查电流表电流跟正常时是否一样，如有异样，通知维修工检修。检查风机运转是否正常等。

高性能高效高温无氧烘箱固化半导体晶圆