干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:
1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。
浚和(上海)仪器有限公司日本樫山工业干式真空泵处于目前现货促销中。SDL12E50干式真空泵维修点

日本KASHIYAMA SDE303X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE303X |
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MAX排气速度(L/min) |
5000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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消费电力(KW) |
1.5KW |
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外型尺寸WHL [mm] |
400×905×760 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE303X主机一台 |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 上海樫山干式真空泵买干式真空泵找浚和(上海)仪器有限公司。

日本KASHIYAMA SDL12E50/60干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDL12E50/60 |
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MAX排气速度(L/min) |
25000 |
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达到压力(Pa) |
0.8 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
520×1050×1020 |
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重量(kg) |
645 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDL12E50/60主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
但是由于干式真空泵运行时内部存在苛刻的热条件,所以使用上述耐腐蚀材料来处理腐蚀性介质对无油干式真空泵是不适合的。此外使用铁剂金属高镀镍涂层材质,一旦出现细微的裂纹就会导致材料产生迅速的电化学腐蚀。那么是不是只要特殊设计能可靠地控制温度的设备把腐蚀性介质保持在气相状态,没有离子形式存在是不是就不存在腐蚀了?答案是肯定的。该泵应用其自身先进的冷却系统,可以调整泵腔内及转子的温度,使之没有离子形式存在,全都气化,从而避免腐蚀。所以此螺杆干式真空泵转子采用不锈钢,不做任何涂层,降低了成本,增加了安全性能。 浚和(上海)仪器有限公司作为上海一家专业的干式真空泵供应商。

干式真空泵是未来行业发展的趋势,虽然现在用的还不多,除了价格高原因外,还有用户对干式真空泵的了解不到位,看不到带给企业的未来经济效益,但是干式真空泵使工作容积中无油,因此带来了不少益处。有些立式螺杆真空泵通过对内表面温度的控制以满足新的ATEX防爆条例的要求。由于能够维持小的内部温度,从而能控制泵送气体的冷凝和由于腐蚀可能造成的损坏效应;轻松的输送腐蚀性介质,安全的输送易燃易爆气体。适于处理含固体微粒介质并且不需要加过滤器。小的维护要求,该泵无齿轮箱,同时对于泵无需更换和检测润滑系统。具有20,000 小时平均无故障时间;
KASHIYAMA干式真空泵为日本原装进口干式真空泵。苏州干式真空泵中国授权代理商
干式真空泵的优点有很多。SDL12E50干式真空泵维修点
日本KASHIYAMA SDE30M09X干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE30M09X |
|
MAX排气速度(L/min) |
45000 |
|
达到压力(Pa) |
0.5 |
|
电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
|
消费电力(KW) |
2.8KW |
|
外型尺寸WHL [mm] |
500×960×1020 |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE30M09X主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
|
5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
|
6 |
消音器(原厂件,选配) |
|
未包含 |
|
7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 SDL12E50干式真空泵维修点
日本KASHIYAMASDE20M09X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:SDE20M09XMAX排气速度(L/min):30000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V,380-480V消费电力(KW):2.6KW外型尺寸WHL[mm]:460×960×900二、配置清单:序号描述数量备注1SDE20M09X主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦...