湖南高温无氧烘箱使用方法

气氛炉抽真空效果不佳解决办法

一、检查气氛炉自身的密封性 

       检查一下炉壳，砌体，炉门及所有外界连接零件如风扇，热电偶，辐射管，推拉料机等处的密封性是否正常； 

二、检查气氛炉真空泵

       真空泵的好坏决定于其机械结构和油的质量，使用真空泵时必须把它保护好。如果蒸馏挥发性较大的有机溶剂时，有机溶剂会被油吸收结果增加了蒸气压，从而降低了抽空效能，如果是酸性气体，那就会腐蚀油泵，如果是水蒸气就会使油成乳浊液而抽坏真空泵。 气氛炉的特点是在某一既定温度下，向炉内通入一定成分的人工制备气氛，以达到某种热处理的目的。湖南高温无氧烘箱使用方法

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

特点

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。 四川高温无氧烘箱DTN630C俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓C1-007厌氧高温气氛炉。

DTN630C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

规格：

①内尺寸（宽×深×高mm）：660×500×660

②外形尺寸（宽×深×高mm）：1300×1000×1750

③内容积：216L

④棚板层数/层间距：19层/30mm

⑤排气口：40KF法兰

⑥氮气入口：Rc1/2

⑦冷却水入口：Rc3/4

⑧热水出口：Rc3/4，2个

⑨电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 19A

⑩重量：约1100kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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DTN650C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

①使用温度范围：室温+50～500℃

②温度调节精度：±1.0℃（at500℃）

③温度分布精度：±8.0℃（at500℃）

④MAX温度到达时间：约110分钟

⑤氧浓度：20ppm 以下

⑥氧浓度到达时间：≤ 25分（250L/min 氮气）

⑦洁净度：温度恒定时100级

3、构成：

①内装：不锈钢板

②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

③断热材：硅酸铝棉

④加热方式：不锈钢加热管

⑤加热功率：主加热器14.2KW

⑥N2预热：1KW

⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

⑧HEPA过滤器：集尘效率：0.3um粒子99.97%以上

4、控制器：

①温度控制方式：PID控制

②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

⑤附加功能：操作员等级认证

⑥加热器回路控制：SSR驱动

⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 加热管的材质正常情况下用碳钢或者不锈钢304材质，若烘烤产品带有弱酸碱性液体，可以采用不锈钢316材质。

无氧烘箱适用范围

       无氧化烘箱在工作时，工作室内充满了惰性气体CO2或者N2,形成高温、低氧（无氧）或者洁净环境（无氧洁净烤箱），防止材料在烘烤时被氧化。适用于半导体、光电元件、能原材料、通讯产品、机电产品等作无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理；封装测试；光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜；银浆固化、模后固化、电镀退火；基板除潮、晶圆干燥退火等。广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。 高温充氮烘箱在使用中干燥物品速度非常快，这是一般的烘箱所不能比的。河北高温无氧烘箱抽真空效果

浚和（上海）仪器有限公司为日本YAMATO光刻胶烤箱中国区授权代理。湖南高温无氧烘箱使用方法

无氧化烘箱主要是起到保护的作用的

       无氧化烘箱等干燥设备都有保险丝之类的系统，是起到保护作用的，在使用过程中，若是真空烘箱的使用频率过高或者温度过高的话，保险丝起着保护电路的作用就会自己熔断，遇到过这样的问题，您只需将新的更换好就行。不是质量问题，在使用时要设定好温度，不要过高，建议在使用的量程之内，使用温度过高不仅会影响干燥箱的寿命，也会带来其他的麻烦。

       无氧化烘箱在真空泵前级加装了冷凝器，水蒸汽通过冷凝器后，一部分水蒸汽被冷凝成水的液体，剩下少部分水蒸汽被真空泵抽走。随着时间增加，如果抽取的水蒸汽过多，真空泵中的油在约30天左右会被卤化，用户可以根据使用情况按需要更换它。

     无氧化烘箱为整体隧道式结构。层流循环短时间灭菌方式，分为预热区、热风循环烘箱高温灭菌区和冷却区三部分。由机架、过滤器、加热装置、冷却装置、风机、传动装置、不锈钢传送网带及电气控制柜等部件组成。无氧化烘箱为**结构，被安装在离烘箱不远的墙边烘箱的上部有层流箱；中部有预热区、加温区、冷却区连接而成的箱体；无氧化烘箱的下部装有传动装置、排风装置和电气端子柜预热区由送风机、抽湿风机、手动调节风门、中效过滤器和过滤器等组成。 湖南高温无氧烘箱使用方法

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