温州不锈钢工业烤箱

真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。

一、氮气监控系统：

1.1、2.3” LED 大屏幕数字显示湿度/温度。

1.2 、温湿度显示值0.1％-99.9％RH，温度显示值0.1℃-60.0℃。

1.3 、温湿度收集采准确传感器，长距离传输无误差。

1.4 、湿度控制：

2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入，到达湿度设定值即停止进气，节省氮气耗用。

2.4.2湿度在1％-60％RH 可调整。

1.5、温湿度记录功能：

2.5.1内建内存，可储存温度/湿度，收集时间1~240 分钟可自行设定。

2.5.2可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。

2.5.3 品管记录格式设计，有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式。

1.6、湿度警报系统：

1.6.1可设定启动警报的湿度值及条件，内配蜂鸣器（90分贝）及闪烁警示功能。

1.6.2可另外选配积层式警示灯。

1.7、温湿度偏移校正功能：内建校正功能，确保显示准确度。 广泛应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。温州不锈钢工业烤箱

中温气氛箱式炉主要用于磷酸铁锂正极材料等类似产品的高温烧结、热处理。

一、热工系统

1.额定温度 800℃

2.较高温度 850℃

3.加热元件 陶瓷外丝加热管

4.加热功率 18kw

5.空炉保温功率 约 9kw

6.温区个数 1 个

7.控温点数 2 点

8.热偶 K 分度

9.控温稳定度 ±1℃(恒温平台)

10.炉膛温度均匀度 ±6℃（恒温 800℃,1h）

二、气氛系统

1.炉膛气氛 2 路氮气，流量计量程为 2～20L/min；每路流量可调节

2.排气系统 在炉膛顶部设置一个排气囱，用于废气排放，废气

3.经过水封清洗后进入大气中，减少对环境污染

4.氧含量 配氧含量分析仪分析氧含量：

5.高温状态氧含量≤10ppm+气源氧含量

6.低温状态氧含量≤50ppm+气源氧含量

三、冷却系统

1.冷却结构 无

2.产品降温 随炉降温

3.安全保护

4.报警指示 超温、断偶、停水、停气等声光报警保护

5.设备安全升温速率 ≤5℃/min

四、温度控制系统

1.温度测量 采用 K 分度热偶测量

2.控制仪表 采用进口智能调节仪控制。具有 PID 参数自整定、高温

3.上限报警、热电偶失效指示等多项报警保护功能

4.控制方式 固态继电器过零控制

5.超温处理 ⑴.当测量温度超过设定的安全值时，断加热，并报警。

⑵.当测量温度超过目标温度达到安全偏差值时，报警。 温州不锈钢工业烤箱真萍科技为您提供定制各种尺寸工业烤箱。

HMDS真空烤箱主要技术指标：

1. 机外壳采用冷扎钢板喷塑处理，内胆为不锈钢316L材料制成；加热器均匀分布在内胆外壁四周，内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然。

2. 箱门闭合松紧能调节，整体成型的硅橡胶门封圈，确保箱内高真空度。

3. 微电脑智能控温仪，具有设定，测定温度双数字显示和PID自整定功能，控温精确，可靠。

4. 智能化触摸屏控制系统配套日本三菱PLC模块可供用户根据不同制程条件改变程序，温度，真空度及每一程序时间。

5.HMDS气体密闭式自动吸取添加设计，真空箱密封性能佳，确保HMDS气体无外漏顾虑。整个系统采用质量材料制造，无发尘材料，适用100级光刻间净化环境。

6 HMDS管路加热功能，使HMDS液体进入箱体的前端管路加热，使转为HMDS气态时更易。

7. 低液报警装置，采用红外液体感测器，能及时灵敏给出指令（当HMDS液过低时发出报警及及时切断工作起动功能）

8. 温度与PLC联动保护功能（当PLC没有启动程序时，加温功能启动不了，相反加温功能启动时，PLC程序不按正常走时也及时切断工作功能，发出警报）

9.整个箱体及HMDS气体管路采用SUS316不锈钢材料，整体使用无缝焊接（避免拼接导致HMDS液体腐蚀外泄对人体的伤害）

HMDS 预处理系统的必要性：在半导体生产工艺中，光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节，涂胶质量直接影响到光刻的质量，涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的，而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲 水的，这造成光刻胶和硅片的黏合性较差，尤其是正胶，显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处，容易造成漂条、浮胶等，导致光刻图形转移的失败，同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。

  增黏剂HMDS（六甲基二硅氮烷）可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到硅片表面后，经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水，其疏水基可很好地与光刻胶结合，起着偶联剂的作用。 工业烤箱选购应该注意哪些呢？合肥真萍科技告诉您。

电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏，解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线，解决液晶的受潮问题，解决线路板受潮问题。

柜体规格、配备：

1.左右双开门，3mm钢化玻璃，1mm厚不锈钢板，气密式隐藏锁把手。

2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭，脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。

3. 附高载重不锈钢隔板，柜体加装高载重煞车轮。

4.上掀式气密盖，方便 FFU保养及维修。

5.回风循环设计，单向氮气循环不产生紊流。

6.背面气密开门式设计，方便洁净清理与保养。

工业烤箱生产厂家哪家好？合肥真萍科技告诉您。温州不锈钢工业烤箱

下面为大家简单介绍一下六腔体无尘烤箱

产品介绍：本产品是参照GB/T11158-1989，GB2423，2-1989干燥箱技术条件及中国相关标准研究制造，广泛应用于电子液晶显示，LCD,CMOS,IC，医药实验室等生产及科研部门。

技术指标：

1 无尘等级：Class100：（符合FED-STD 209E标准：0.3um≤300个0.5≤100个）

2温度范围：+60℃~ +250℃（极限温度350℃）

3温度均匀性：±2℃（空箱测试）

4温度精确度：±1℃（空箱测试）

5设备型号规格:450*450*450；450*600*450；600*800*600；600*700*600;700*900*700;

700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;

1000*1300*1000;1000*1400*1000; 温州不锈钢工业烤箱

合肥真萍电子科技有限公司是一家电子产品，电子设备及配件，半导体设备及配件，半导体耗材，办公设备研发及销售。真萍科技(真萍微电子装备)是专业从事烘烤制程设备，半导体黄光区**设备，环境与可靠性试验设备,电镀清洗设备，防潮防氧化专业设备等产品的生产和销售供应厂商，是以一批多年从事环境试验设备、防潮防氧化设备,半导体黄光区**设备，电镀清洗设备等行业的专业工程技术人员，具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。的公司，是一家集研发、设计、生产和销售为一体的专业化公司。真萍电子拥有一支经验丰富、技术创新的专业研发团队，以高度的专注和执着为客户提供洁净箱，干燥箱，高温无氧烤箱，隧道炉。真萍电子致力于把技术上的创新展现成对用户产品上的贴心，为用户带来良好体验。真萍电子始终关注自身，在风云变化的时代，对自身的建设毫不懈怠，高度的专注与执着使真萍电子在行业的从容而自信。