上海高温无氧烘箱注意事项

DTN430C/630C/450C/650C洁净厌氧高温气氛炉(YAMATO)

洁净度100级、氧浓度低于20ppm的气氛炉，主要应用于固化半导体晶圆等。

特点

● MAX工作温度360℃和500℃、洁净度100级、氧浓度低于20ppm，主要应用于固化半导体晶圆（光刻胶PI、PBO固化）、玻璃基板烘烤、高精度退火处理等。

● 采用耐热高性能高效过滤器，箱内洁净度始终保持在100级，可在洁净的环境下进行高温烘烤。

● 高气密性的压力箱构造，氧浓度到达时间短，N2消耗量极低。

● 通过磁密封保持高气密性，并采用水冷机构保护密封部件免受热量影响。

● 可实现快速升温和降温，升降温速率可调节。

● 标准装备有废液回收装置，对气体进行冷却回收。

● 液晶触摸屏操作，自动/手动两种运行模式。

安全性

● 拥有门检测开关、温度过升防止器、氧浓度异常、氮气压力检测、氮气流量检测、冷却水流量检测、漏水传感器、过电流漏电保护开关等安装装置。 俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DNN430C厌氧高温气氛炉。上海高温无氧烘箱注意事项

DTN430C洁净厌氧高温气氛炉 相关参数及规格(YAMATO)

规格：

①内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

②外形尺寸（宽×深×高mm）：1090×950×1540

③内容积：91L

④棚板层数/层间距：12层/30mm

⑤排气口：40KF法兰

⑥氮气入口：Rc1/2

⑦冷却水入口：Rc3/4

⑧热水出口：Rc3/4，2个

⑨电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 16A

⑩重量：约900kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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高温无氧烘箱特点及用途

1、特点：

       箱壁接缝全部采用氩弧焊焊接，密封性能，能快速去氧或降温，有助于提高产品质量。可满足电子、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等部门作无氧化干燥的要求。

2、用途：

       厌氧烘箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、医药、实验室等生产及科研部门。

厌氧烘箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其它高温试验。

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选购气氛炉考虑哪些方面的特点操作

       1、耐火材料：采用还原性气体，为了不影响砌体的使用寿命，以及不破环正常炉内气氛，要求炉膛砌体采用抗渗碳耐火材料。

      2、自动化程度：密封性要求高，出料操作过程复杂，要求一台炉子多用，大批量生产时，多组成大型联合热处理**或者两用以上的机组，因而要求有较高的机械化，自动化程度。

      3、密封性：为了控制炉内的气氛，维持炉内的压力，炉内工作空间始终要与外界空气隔绝，故要求炉壳，砌体，炉门及所有外界连接零件如风扇，哪些方面的特点操作热电偶，辐射管，推拉料机等采用密封装置。

      4、防爆装置：还原气体和空气混合达到一定混合比，购买设备应考虑在一定温度下易引起，故对炉子的前，后室，淬火室以及缓冷室等均设有防爆装置，炉子供气和排气的控制系统也要有防爆措施。 固化聚酰亚胺（PI）选择YAMATO光刻胶烤箱。

DNN660C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

      ①使用温度范围：室温+50～600℃

      ②温度调节精度：±1.0℃（at600℃）

      ③温度分布精度：±8.0℃（at600℃） 

      ④MAX温度到达时间：约110分钟

      ⑤氧浓度：20ppm 以下

      ⑥氧浓度到达时间：≤ 25分（250L/min 氮气）

3、构成：

       ①内装：不锈钢板

       ②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

       ③断热材：硅酸铝棉

       ④加热方式：不锈钢加热管

       ⑤加热功率：主加热器14.2KW

       ⑥N2预热：1KW

       ⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

       ①温度控制方式：PID控制

       ②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

       ③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

       ④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

       ⑤附加功能：操作员等级认证

       ⑥加热器回路控制：SSR驱动

       ⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓DTN630C洁净厌氧高温气氛炉。辽宁高温无氧烘箱工作温度

在气氛炉系统检漏时，除用泥糊堵外，也可用医用针管吸乙醚射至漏点处，观察真空表读数有无变化。上海高温无氧烘箱注意事项

气氛炉和马弗炉的区别  

       都是箱式炉的一种，从外观上看也比较相似，其实，两种热处理设备虽然外观比较相似，但是适用领域和结构并不相同，下面我们详细说明：  

       1、结构不同：

       马弗炉的结构是由炉膛、外壳、炉门、电控系统组成，一般为侧开式，主要用于陶瓷/金属烧结、高温下实验等。  

       而气氛炉有所不同，气氛炉在马弗炉的基础上，增加了气体通道和真空系统，可在真空状态下进行物料处理，或冲入保护气体进行烧结\淬火等工艺处理。  

       2、适用领域不同：  

       马弗炉主要应用于冶金、玻璃、陶瓷、磁性材料、耐火材料、晶体、电子元器件、窑炉制造等领域。  

       气氛炉的特点是在某一既定温度下，向炉内通入一定成分的人工制备气氛，以达到某种热处理的目的，如气体渗碳，碳氮共渗及光亮淬火，退火，正火等。 上海高温无氧烘箱注意事项

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