实验室仪器高温无氧烘箱固化半导体晶圆

DNN430C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

外形尺寸（宽×深×高mm）：1090×950×1540

内容积：91L

棚板层数/层间距：12层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 16A

重量：约800kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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在气氛炉系统检漏时，除用泥糊堵外，也可用医用针管吸乙醚射至漏点处，观察真空表读数有无变化。实验室仪器高温无氧烘箱固化半导体晶圆

DNN460C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

规格：

内尺寸（宽×深×高mm）：450×450×450

外形尺寸（宽×深×高mm）：1240×1010×1750

内容积：91L

棚板层数/层间距：12层/30mm

排气口：40KF法兰

氮气入口：Rc1/2

冷却水入口：Rc3/4

热水出口：Rc3/4，2个

电源（50/60Hz）额定电流：3相AC380V 20A

重量：约800kg

选购品：棚板、真空泵、温度记录仪、组合警示灯（待机/ 运行/ 故障）、以太网通信功能

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无氧烘箱与普通工业烘箱的比较

       无氧烘箱应用于航空、航天、石油、化工、船舶、电子、通讯等科研及生产单位，主要作BPO胶/PI胶/BCB胶固化，IC（晶圆、CMOS、Bumping、TSV、MENS、指纹识别）、FPD、高精密电子元件、电子陶瓷材料无尘烘干，电工产品、材料、零备等的高温洁净和无氧环境中干燥和老化试验。

一、无氧烘箱与普通工业烘箱在结构上的区别

       无氧烘箱会对内箱进行满焊，同时做密封处理，这样充入的惰性气体就不会泄露，同时保证了内部的无氧环境。而普通烘箱内箱虽然也是满焊，但是没有做密封处理。

二、无氧烘箱与普通工业烘箱在控制系统上的区别

       无氧烘箱需要增加氮气控制系统，同时需要有延时加热功能，就是说在加热之前进行延时充氮，以此来保证加热时箱内已经形成无氧环境，避免高温氧化。当然，一些其他的控制技术包括双流量充氮省能源控制等方式也被许多用户采纳，即双流量+延时加热，大流量氮气充入，延时加热，当箱内充满氮气后，自动切换为小流量以此节省氮气。 而普通烘箱则没有这些功能。

使用高温炉应该选择储备哪些备件？

1、加热元件和隔热屏

       加热元件和隔热屏蔽作为手头备件是特别重要的，因为它们是高温炉的心脏，具有许多不同的大小和配置，往往又不是一个容易储存的部件。这些部件会随着时间的推移缓慢降解，具体取决于它们所接触到的温度、气体和污染物。检查加热器和屏蔽工作效率的一个简单方法，是将给定温度下热区的用电量与操作手册中列出的功耗进行比较。如果总体KVA使用量增加，或者电压和电流与这些数字严重偏离，则可能表示加热器有一定损耗。温度均匀性测试还可以提供有关加热区状况的重要数据。

2、传感器

  热电偶通常是用于测量温度的主要传感器。虽然它们通常被护套延长寿命，但随着时间的推移，它们容易漂移，需要定期更换，以确保准确的反馈温度。真空和压力传感器也需要定期检查精度和性能。许多用户都有一个校准计划来做到这一点。

3、密封

  密封件相对便宜，建议在进行维护时更换，以确保真空完整性。对于正压运转的炉子，室内气废气阀是另一个应作为备用物品保留的物品。这些阀门可能暴露于许多挥发性物质，它们往往聚集在这个阀门上，通过他们冷却排出炉体。

高温充氮烘箱的优势是什么

       在半导体行业及金属非金属抗氧化行业中使用烘箱种类是非常多，但是只有高温充氮烘箱在市场中影响是很好的，优势如下：

       1、干燥物品速度快。因为高温充氮烘箱在使用中干燥物品速度非常快，这是一般的烘箱所不能比的。

       2、抗氧化性强。相对于普通烘箱，高温充氮烘箱带有氮气或惰性其他保护装置，在高温的烘烤环境下，实现低氧或无氧的工作环境，对一些需要高温、无氧产品来说相对来传统的烘箱就不如高温充氮烘箱效果好。所以也更符合客户的需求。

      3、特别重要的是高温充氮烘箱在使用中不会对内在物品质量伤害。

俊和（上海）仪器有限公司正规代理YAMATO雅马拓C1-007厌氧高温气氛炉。实验室仪器高温无氧烘箱固化半导体晶圆

DNN660C厌氧高温气氛炉 相关参数及规格（YAMATO）

1、方式：氮气置换+ 强制送风循环

2、性能：

      ①使用温度范围：室温+50～600℃

      ②温度调节精度：±1.0℃（at600℃）

      ③温度分布精度：±8.0℃（at600℃） 

      ④MAX温度到达时间：约110分钟

      ⑤氧浓度：20ppm 以下

      ⑥氧浓度到达时间：≤ 25分（250L/min 氮气）

3、构成：

       ①内装：不锈钢板

       ②外装：冷轧钢板，表面耐药品性涂装

       ③断热材：硅酸铝棉

       ④加热方式：不锈钢加热管

       ⑤加热功率：主加热器14.2KW

       ⑥N2预热：1KW

       ⑦冷却机构：不锈钢冷却水换热器

4、控制器：

       ①温度控制方式：PID控制

       ②温度控制器：液晶触摸屏+PLC

       ③运行功能：手动定值运行、自动程序运行

       ④程序模式：程序运行9个，每个程序可设置9步（可扩展）

       ⑤附加功能：操作员等级认证

       ⑥加热器回路控制：SSR驱动

       ⑦传感器：K型热电偶（温度控制及过升防止器）

5、安全装置：门检测开关、过升防止器、氧浓度异常、N2 预热温度过升、水压低检测、N2 压力低检测、冷却水流量检测、N2 流量检测、风机过载检测、过电流漏电保护开关等 实验室仪器高温无氧烘箱固化半导体晶圆

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