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高效过滤器在检漏前，应检测上游气溶胶浓度是否达到要求。市场上常见的光度计在进行高效过滤器检漏时，上游气溶胶的质量浓度需要能够达到20 .80 μg/L为了保证下游数据不受环境影响，高效过滤器下游出口应设置临时的围挡或软帘。过滤器下游出风面在可以逐点扫描的情况下，能够测得高效过滤器任何位置包括边框的泄漏率，少量生产设备的高效过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描，此时只能在设备出风口检测过滤器的整体泄漏率。

在下游扫描时，扫描速度应在5~8 m/s。

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单向流洁净室的风速检测要求

单向流洁净室的风速基本稳定，气流的方向基本相同，进风口附近的风速与工作面的风速差别不大，而且整个洁净室内的风速均匀性较好。

(1)测点位置。按照《洁净窒施工及验收规范》(GB50591- 2010) 要求，垂直单向流洁净室的检测截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面，如有阻隔面，该检测截面应拾高至阻隔面之上0.25 m;水平单向流洁净室取距送风面0.5 m的垂直于地面的截面。

(2)测点个数。检测风速时，把检测断面均匀分成若干面积相等的格子，格子数即测点数。测点间距不应大于1m，-般取0.3m, 测点数应不少于20个。

风量仪操作步骤

步骤1打开风量仪电源， 将风量仪倒扣在地板上，在无风地点进行风量仪校零工作，上方如有强烈气流需要进行遮挡。观察风量仪是否在零位。如不在零位则需要进行零位校准。

步骤2按屏幕 上的测量键进人待测房间号码的输入界面。输人完再次按测量键进人检测界面。

步骤3复零校准结束之后， 直接将风量仪的开口完全罩住过滤器或者散流器，并检查是否存在泄漏。风量仪的接触面应为平面，以防止气流旁通和读数不准确。

步骤4查看风量仪的读 数是否超过风量仪的比较大量程。如果超过量程则需要更换更大量程的风量仪。

步骤5稳定10s后即可读取风量仪上的数值，并记录。

空气净化方法

1 、整体净化：可分为层流型和湍流型。层流是指空气由一侧地以同速流向另一侧，使室内产生的尘粒或细菌不会向四周扩散而被平推出室外，而达到好的除菌效果。

⑴高效过滤除菌技术：空气洁净主要靠高效或超高效过滤设备，向特定的环境内输送洁净空气并能保持空气的洁净度。过滤洁净原理：①网截阻留；②筛孔阻留；③静电吸引阻留；④惯性碰撞和布朗运动阻留。因此，过滤洁净技术是一种综合作用的结果。

⑵滤材结构：生物洁净室所用滤材级别多数为高效或超高效滤材，所用滤材有：玻璃棉制滤材、高级纸浆制滤材、石棉纤维滤材、过氯乙烯纤维滤材等。高效滤材对空气中 0.5 μ m 的颗粒的阻留率能达到 90%~99% ，超高效滤材可阻留 0.3 μ m 的颗粒 99.9% 以上。 上海蔚亚环境检测高效、准确。

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样，并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m²设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0. 85m,每25 m²设1个检测点。

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噪声超标问题

噪声超标，可能是风管太小，以致于气流速度过高，气流产生噪声，通常工作面高度气流速度应该控制在0.25m/s左右的。我们还可分析于消声系统问题，如发现未装消声器、劣质消声器、送风系统消声器配置不合理。也可能为FFU单机噪声偏高。或者是环境背景噪声影响，如工艺设备噪声、气体管道阀门泄漏、动力设施噪声源传播等。此外， 我们还可以考虑可能是标准指标不合适：通常控制值单向流<65dB(A)，非单向流<60dB(A)。 河北口罩生产车间环境检测技术好