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常州SDL12E50干式真空泵正规代理

项目ＮｅｏＤｒｙ Serie...

干式真空泵基本参数

产地
日本
品牌
KASHIYAMA
型号
Neodry 36E
是否定制
否

干式真空泵企业商机

项目	ＮｅｏＤｒｙ Series Roots多段式干泵		涡旋式泵
特征	○	・采用多段Roots方式抽气部分无物理接触即使长时间运行也不会发生性能退化	△	・泵内滑动部的真空密封采用接触式的密封垫。因接触式密封会发生磨损。
维护性	○	・基本免维护	△	・需要定期的密封垫Ｏ／Ｈ（每年）（根据具体使用，有需要频繁更换的可能。）
维护成本	○	・洁净排气时维护周期可为3年一次。长期运行可降低维护成本。・更换部件很少，O / H费用便宜。・抽气部分无物理接触，无因磨损更换部件。	△	・每年需要维护。・密封垫贵・疏忽定期维护导致密封垫磨损加剧影响密封效果。另外回旋涡旋与固定涡旋接触，需要更换主要部件。
水蒸气排气能力	○	･水蒸气排气能力高。３５０ｇ/ｈr／２５０ｇ/ｈr （NeoDry36C／30Ｃ、15C）・气镇阀对到达压力性能的影响小。（有气镇阀时：２Pa以下）	△	･泵结构上不适合水蒸气排气。２５ｇ／ｄａｙ（１ｇ/ｈｒ）浚和（上海）仪器有限公司提供日本樫山工业7m³/h到2500m³/h的干式真空泵。常州SDL12E50干式真空泵正规代理

为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有螺杆式真空泵、多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、往复式活塞真空泵、涡旋式真空泵以及涡轮式无油真空泵等。干泵极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。此为立式双螺杆干式真空泵，它的吸气和排气原理和大多数是一样的，是利用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备。干式真空泵工作时，相互之间无摩擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘。由于螺杆制成变螺距结构，与等螺距结构相比，极限真空更高，而消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。广州NEODRY 36E干式真空泵报价浚和（上海）仪器有限公司作为上海一家专业的干式真空泵供应商。

干式真空泵的应用范围比较广，主要有以下几个方面：

1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；

2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；

3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入泵油中，而希望微粒排出泵外，则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求；

4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式真空泵；

5）用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染。

日本KASHIYAMA SDL20E60干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	SDL20E60
MAX排气速度（L/min）	40000
达到压力（Pa）	0.8
电源电压	3相 AC200-220V，380-480V
外型尺寸WHL [mm]	850×1295×1370
重量（kg）	800

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDL20E60主机一台	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

日本KASHIYAMA真空泵特性：1、设备运转时，旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦，保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式，不需配置冷却水，从而节省空间。3、采用气镇（Gas Ballast）结构，可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下，只需三年维护一次，延长了设备的使用寿命，降低真空泵的使用成本。干式真空泵的系列有很多种。

日本KASHIYAMA MU1200X干式真空泵技术参数&配置清单

一、技术参数：

式样	MU1200X
MAX排气速度（L/min）	20000
达到压力（Pa）	0.5
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	0.7KW
外型尺寸WHL [mm]	275×580×625
质量【kg】	165kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	MU1200X主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

设备原产地：日本

浚和（上海）仪器有限公司主营日本KASHIYAMA干式真空泵。广州NEODRY 15E干式真空泵中国授权代理商

干式真空泵的好处有很多。常州SDL12E50干式真空泵正规代理

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单

一、技术参数：

适合于一些比较苛刻的工艺，比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等

式样	SDE120TX
ZUI大排气速度（L/min）	1500
达到压力（Pa）	1.3
电源电压	3相 AC200-220V
消费电力（KW）	6.5KVA
吸气口	NW50
排气口	NW40
外型尺寸WHL [mm]	280×299×550
质量【kg】	151kg

二、配置清单：

序号	描述	数量	备注
1	SDE120TX主机一台，电压AC三相200V	1	标配
2	电源线	1	标配
3	冷却水管路接头	1	标配
4	操作手柄	1	标配
5	产品合格证	1	标配
6	消音器（原厂件，选配）		未包含
7	入口过滤器（选配，非原厂件）		未包含

常州SDL12E50干式真空泵正规代理

浚和(上海)仪器有限公司致力于仪器仪表，是一家贸易型的公司。公司业务分为真空泵，喷雾干燥机，培养箱，等离子清洗机等，目前不断进行创新和服务改进，为客户提供良好的产品和服务。公司将不断增强企业重点竞争力，努力学习行业知识，遵守行业规范，植根于仪器仪表行业的发展。浚和立足于全国市场，依托强大的研发实力，融合前沿的技术理念，飞快响应客户的变化需求。

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