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洁净室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响，所以在光学构造产品的生产上，无尘是必然的要求。 专业的洁净室环境检测。浙江实验室检测服务至上

依据美国联邦颁布的标准，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸为0.5m，例如，1级、10级、100级无尘室比较大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗。并且通过FS209E标准划分，每立方英尺里面允许含有较多的0.5微米尘埃粒子的数量就是洁净室的等级，比如每立方英尺允许含有较多1000个0.5微米的例子，那么这个洁净室就是千级，如果是10000个粒子就是万级，总共是从一级，十级，百级，千级，万级到百万级；工业无尘室主要控制无生命微粒对工作对象的污染，其内部一般保持正压，它适用于精密工业、电子工业、航天工业、化学工业、印刷工业等部门。工业无尘车间只要控制参数是温度、湿度、风速、流场、洁净度。实验室检测服务至上洁净室环境沉降菌菌落数测试——上海蔚亚科技。

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样，并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m²设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0. 85m,每25 m²设1个检测点。

 洁净室风量及换气次数检测的意义

洁净室的洁净度主要是靠送人足够量的洁净空气，以置换、稀释室内在生产过程中所散发的颗粒污染物来实现。同时依靠洁净室的风量平衡维持洁净室正(负)压，以避免不同级别的洁净区域之间颗粒污染物的无组织渗透。因此，洁净室或洁净设施的风量检测十分必要。

洁净室利用送人洁净空气稀释室内空气污染物，或利用排风带出室内空气污染物，排风的同时，靠送风补充室内空气，形成换气。风量越大，污染物排除越快。当污染物排出速率高于产生速率时，空气中污染物浓度减少，洁净度提高;当污染物排出速率与产生速率相等时，空气中污染物浓度维持不变，洁净度不变;当污染物排出速率低于产生速率时，空气中污染物浓度增加，洁净度下降。所以，要达到一定的洁净度，就必须保证足够的送风量和排风量。但是，过大的风量会造成高效过滤器送风断面风速过高，过滤效率下降以及能源浪费等现象。

风量检测的目的是判断各个风口的送风量、回风量、排风量等是否满足设计要求。换气次数的检测目的则是判断洁净室是否达到了设计要求的换气次数。风量和换气次数检测的意义是为判断是否满足设计要求提供依据。 蔚亚科技检测设备设备校准满足要求。

洁净室压差检测要求

静压差的测定要求在洁净区内所有的门全部关闭的情况下进行。测洁净区与室外时，注意刮风和朝向的影响。在洁净室平面应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。测压管周围要尽量密封。测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。《洁净厂房设计规范》(GB 50073- 2013) 要求气压差的检测门应全部关闭;检测仪器灵敏度应小于1Pa。《电子工业洁净厂房设计规范》(CB 50472- -2008)要求检测静压差的时候应该关闭全部门窗;检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa;应由里向外按顺序检测。

在进行洁净室压差检测之前高效过滤器检漏和风量检测已结束，洁净室或洁净设施正常工作，应该关闭的门窗全部关闭的条件下，先检测送风量、回风量、排风量是否与规定风量相符，调整新风和回风的比例。在此前提下，再用仪器逐一检测封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如果洁净设施中包括多个洁净室，则应从里面的房间，通常也是洁净级别比较高的房间与其紧邻的房间之间压差测起，如此继续下去，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。

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单向流洁净室的风速检测要求

单向流洁净室的风速基本稳定，气流的方向基本相同，进风口附近的风速与工作面的风速差别不大，而且整个洁净室内的风速均匀性较好。

(1)测点位置。按照《洁净窒施工及验收规范》(GB50591- 2010) 要求，垂直单向流洁净室的检测截面取距地面0.8m的无阻隔面(孔板、格栅除外)的水平截面，如有阻隔面，该检测截面应拾高至阻隔面之上0.25 m;水平单向流洁净室取距送风面0.5 m的垂直于地面的截面。

(2)测点个数。检测风速时，把检测断面均匀分成若干面积相等的格子，格子数即测点数。测点间距不应大于1m，-般取0.3m, 测点数应不少于20个。