安徽实验室检测规范性强

在测量工作中会遇到各种标准量，如长度、质量、时间、温度、电流等。在洁净室检测技术中，经常碰到的被测量有风速、风量、温度、压力、湿度、噪声、洁净度等。

检测技术在科学研究和工程运用中有非常重要的地位，任何工作都需要通过检测才能确定工作的质量和数量，因此专门从事检测工作的人员需要熟练掌握检测技术。从事洁净室建造的人员也需要掌握一些 检测技术的基础知识和基本原则。洁净室检测技术的应用范围广，包括建造洁净室原材料的检测、洁净室用仪器设备的检测、洁净室建成后调试的检测、洁净室竣工验收的检测、洁净室运行过程中的检测。检测工作贯穿洁净室筹备、建造、应用的全过程。

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洁净室压差检测要求

静压差的测定要求在洁净区内所有的门全部关闭的情况下进行。测洁净区与室外时，注意刮风和朝向的影响。在洁净室平面应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间。测压管周围要尽量密封。测管口设在室内没有气流影响的任何地方均可，测管口面与气流流线平行。《洁净厂房设计规范》(GB 50073- 2013) 要求气压差的检测门应全部关闭;检测仪器灵敏度应小于1Pa。《电子工业洁净厂房设计规范》(CB 50472- -2008)要求检测静压差的时候应该关闭全部门窗;检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa;应由里向外按顺序检测。

在进行洁净室压差检测之前高效过滤器检漏和风量检测已结束，洁净室或洁净设施正常工作，应该关闭的门窗全部关闭的条件下，先检测送风量、回风量、排风量是否与规定风量相符，调整新风和回风的比例。在此前提下，再用仪器逐一检测封闭的各洁净室之间、洁净室和周围附属环境之间、洁净室走廊之间、周围附属环境与外部环境间的压差。如果洁净设施中包括多个洁净室，则应从里面的房间，通常也是洁净级别比较高的房间与其紧邻的房间之间压差测起，如此继续下去，直至测得**靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。

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工业洁净室的发展

工业洁净室(ICR, Idutra Clem Rom)以空气中的悬浮颗粒物为主要控制对家，主要为精密机械和电子产品等行业提供符合要求的生产环境。

与其他高科技一样， 洁净技术的诞生及起初应用是服务于目的的。第二次世界大战中一些炮、 战车、飞机等使用的仪器合格率低或经常发生故障。研制者认识到，仪器生产与装配环境空气中的悬浮颗粒物是罪魁祸首，于是工业洁净室诞生了。起初的工业洁净室是比较简陋的，随着原子武器研究和生化武器研究的发展，在20世纪40年代初高效空气过滤器研制成功并得到应用，20世纪60年代初又出现了“单向流”洁净室，这些设备与技术的诞生成为洁净技术发展的里程碑，奠定了现代洁净技术的基础。

微电子行业是现代工业洁净室应用的表现。主要产品是大规模集成电路和平板显示器。半个多世纪以来，集成电路得到迅猛发展。

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室，检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时，应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子，其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样，并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度，且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m²设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m，距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度，宜距地面0. 85m,每25 m²设1个检测点。

在洁净室内，从送风口到回风口，气流流经途中的断面几乎没有什么变化。

洁净室换气次数的计算方法

洁净室的换气次数主要根据洁净室的送风量确定。婴计算洁净室的换气次数，需要先确定洁净室的送风量。

根据洁净室的气流组织不同以及洁净室的送回风形式不同，洁净室风量的检测也有很多种方法，目前工程上比较常用的有如下几种。

1.使用电子风量仪进行送风量检测。

2.采用风速仪检测风口截面的风速和出风口面积，计算风口的风量。

3.采用风速仪检测风管截面的风速和风管面积，计算风管的风量。

换气的作用是保证有足够的洁净空气稀释室内污染空气。换气次数计算公式为:

N=L/V

式中N-房间换气次数， 次/h;

L-洁净室的总送风量， m/h;

V-洁净室体积， m³。

洁净室房间体积应按洁净室建筑情况正确计算。例如，长方体的洁净室，内部有地板下部空间和天花吊顶上部空间，则其房间体积计算等于房间的长宽高乘积，其中房间高为净高，即房间原高减去地板高度和吊顶高度。 上海蔚亚科技专门洁净室环境检测。湖南洁净室环境检测规范性强

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噪声超标问题

噪声超标，可能是风管太小，以致于气流速度过高，气流产生噪声，通常工作面高度气流速度应该控制在0.25m/s左右的。我们还可分析于消声系统问题，如发现未装消声器、劣质消声器、送风系统消声器配置不合理。也可能为FFU单机噪声偏高。或者是环境背景噪声影响，如工艺设备噪声、气体管道阀门泄漏、动力设施噪声源传播等。此外， 我们还可以考虑可能是标准指标不合适：通常控制值单向流<65dB(A)，非单向流<60dB(A)。 安徽实验室检测规范性强