企业商机
干式真空泵基本参数
  • 产地
  • 日本
  • 品牌
  • KASHIYAMA
  • 型号
  • Neodry 36E
  • 是否定制
干式真空泵企业商机

干式真空泵与油泵的性能比较:

项   目

NeoDry Series

干式真空泵

油  泵

特  征

不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。

使用油密封得不到干净的真空。

排气时会在排气口产生油雾。

根据使用情况,密封用油中会混入水蒸  气·溶剂使油质变差影响性能。

泵的周围会因油雾污染环境。

维护性

基本上免维护

因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。

  (根据使用情况,需要频繁更换)

维护成本

洁净排气时维护周期可为3年一次。    长期运行可降低维护成本。

更换部件很少,O / H费用便宜。

抽气部分无物理接触,无因磨损更  换部件。

油需定期更换产生费用。

  (使用氟油的情况费用较高)

需要更换叶片及阀门。

  (因叶片为接触式)

初始投资成本

与油泵相比相对较高。

与干泵相比较便宜。

**设备费用

不需要油雾凝气阀

需要油雾凝气阀。

需要油盘。

浚和(上海)仪器有限公司为KASHIYAMA干式真空泵中国地区客户提供现货。苏州SDL12E50干式真空泵价格

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日本KASHIYAMA SDE30M09X干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDE30M09X

MAX排气速度(L/min)

45000

达到压力(Pa)

0.5

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

消费电力(KW)

2.8KW

外型尺寸WHL [mm]

500×960×1020



二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

SDE30M09X主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 苏州SDL12E50干式真空泵价格干式真空泵的优势您了解多少呢?

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当您选择油封泵时,您应该首先了解您的真空系统是否对油污染有要求。若设备严格要求无油时,应该选各种无油泵,如:水环泵、低温泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、挡油阱、挡板等,也能达到清洁真空要求。当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足工艺要求。当选择油封真空泵时,要考虑真空泵排出来的油蒸汽(油烟)对环境的影响如何。如果环境不允许有污染,应该选无油真空泵,或者把油蒸汽排到室外。

KASHIYAMA防腐蚀干式真空泵SDE603TX技术参数:

型 号

项 目

SDE603TX

注1)MAX排气速度

10000 L/min

注1)极限

0.5 Pa

加速时间 加速時間

35s

减速时间 減速時間

Free Run

MAX气口

大 气 压

注2)在330kPa的情况下运行时间请保持在30分钟以内

MAX排气背压(计示压力)

3kPa以下

出功率

3.1kW

气口(法

ISO100

排气口(法

NW25

滑油量

1.2L(含氟油)

   

3相、200~220V

50/60 Hz

注3) 允许电压变动值 ±10

容  量

10.5 kVA

运行

50A

30 mA

冷却水

  MAX供

(计示压力)

0.5MPa

**小

0.3MPa

流  量

4~8 L/min

供水温度

10~25

放出热量

1800kJ/h

注4)

氮 气

向干泵供给压

(规压)

0.1~0.7MPa

流  量

0~80SLM 干式真空泵的系列有:多级罗茨干式真空泵、涡旋干式真空泵、螺杆干式真空泵、爪式干式真空泵等。


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干式真空泵的应用范围比较广,主要有以下几个方面:

1)低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;

2)半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;

3)除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;

4)在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;

5)用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染。


干式真空泵的系列有很多种。南京MU100X干式真空泵维修点

浚和(上海)仪器有限公司主营干式真空泵。苏州SDL12E50干式真空泵价格

日本KASHIYAMA SDL36E60干式真空泵 技术参数&配置清单

一、 技术参数:

式样

SDL36E60

MAX排气速度(L/min)

60000

达到压力(Pa)

0.8

电源电压

3相  AC200-220V,380-480V

外型尺寸WHL [mm]

850×1295×1370

重量(kg)

920



二、 配置清单:


序号

描述

数量

备注

1

SDL36E60主机一台

1

标配

2

电源线

1

标配

3

冷却水管路接头

1

标配

4

操作手柄

1

标配

5

产品合格证

1

标配

6

消音器(原厂件,选配)


未包含

7

入口过滤器(选配,非原厂件)


未包含

设备原产地:日本 

日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。 苏州SDL12E50干式真空泵价格

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