工业烤箱基本参数
  • 产地
  • 安徽合肥
  • 品牌
  • 合肥真萍电子科技有限公司
  • 型号
  • 齐全
  • 是否定制
工业烤箱企业商机

石墨盘烤盘炉

一.产品介绍

真空烤盘炉是与MOCVD设备配套使用的炉体,炉内抽真空,被处理工件放置在炉膛内,采用清洗气体加热反应方式进行干式清洗(清洗气体:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂层石墨盘或石英盘)上的氮化镓和氮化铝等,可达到有效清洁处理,提高制品质量的目的。

二、设计特点

1、后门设计热风电机

2、降温时风机开启,同时两端降温封头开启,炉膛内产生如图所示的气体流向

3、通过气体介质将隔热层内与水冷壁之间进行热交换,达到快速降温的目的

三、技术指标

1、使用温度:1450℃;比较高温度:1500℃;

2、绝热材料:石墨纤维毯、石墨纸;

4、加热元件:石墨加热棒;

5、冷却方式:气冷 + 循环风冷降温;

6、控温稳定度:±2℃,具有PID参数自整定功能;

7、炉膛温度均匀度:±5℃(恒温1500℃);

8、气氛: 可向炉膛内通入干燥、洁净、无油的高纯度氮气,纯度≥99.999%;

9、极限真空: 10-3torr级;

10、抽气速率:空载下,30min达到10-2torr

11、升温功率:170kW;

12、升温速率:15℃/min(空载);

13、降温速率:1450℃至80℃,240分钟

14、腔体尺寸:1000*1000*1000mm(宽*深*高) 合肥真萍科技告诉您工业烤箱的外观设计有哪些要求。不锈钢工业烤箱手柄

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    恒温恒湿试验箱的控制系统可说是整个设备的心脏,掌管着制冷、制热、控湿、循环、控制等大权。

  在制冷方面,压缩机是采用德国进口的压缩机。制冷系统由高温部分和低温部分组成,每一部分是一个相对**的制冷系统。高温部分中制冷剂的蒸发吸收来自低温部分的制冷剂的热量而汽化;低温部分制冷剂的蒸发则从被冷却的对象(试验机内的空气)吸热以获取冷量。高温部分和低温部分之间是用一个蒸发冷凝器联系起来,它既是高温部分的冷凝器,也是低温部分的冷凝器。

  加热系统采用完全**的镍铬合金电加热式,电阻率大、电阻温度系数小,在高温下变形小且不易脆化,自身加热温度可达1000~1500℃,使用寿命长。

  加湿是恒温恒湿试验箱不同于高低温试验箱的相当主要一部分,恒温恒湿试验箱采用外置隔离式,全不锈钢锅炉式浅表面蒸发式加湿器。祛湿方式采用机械制冷祛湿,将空气冷却到**温度以下,使大于饱和含湿量的水汽凝结析出,这样就降低了湿度。

  送风循环系统:空气循环系统由耐温低噪音空调型电机,多叶式离心风轮构成。它提供了试验机内空气的循环。 芜湖工业烤箱温度不均匀工业烤箱有哪些种类?合肥真萍科技告诉您。

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真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。

氮气监控系统:

1.1、2.3” LED 大屏幕数字显示湿度/温度。

1.2 、温湿度显示值0.1%-99.9%RH,温度显示值0.1℃-60.0℃。

1.3 、温湿度收集采准确传感器,长距离传输无误差。

1.4 、湿度控制:

2.4.1利用湿度设定值来控制氮气流入,到达湿度设定值即停止进气,节省氮气耗用。

2.4.2湿度在1%-60%RH 可调整。

1.5、温湿度记录功能:

2.5.1内建内存,可储存温度/湿度,收集时间1~240 分钟可自行设定。

2.5.2可利用RS232连接阜下载至计算机中读取。

2.5.3 品管记录格式设计,有助于内部记录追踪并可支持数据库档案格式。

1.6、湿度警报系统:

1.6.1可设定启动警报的湿度值及条件,内配蜂鸣器(90分贝)及闪烁警示功能。

1.6.2可另外选配积层式警示灯。

1.7、温湿度偏移校正功能:内建校正功能,确保显示准确度。

连续炉即是连续作业炉,是指连续地或间歇地装料,工件在炉内不断移动,完成加热、保温,有时包括冷却在内全过程的热处理炉。连续作业炉可借助某些机械机构连续地或间歇地进行装料和出料,连续顺序地通过按零件处理工艺要求的不同温度区完成加热过程。使用连续作业炉可提高产品质量,提高劳动生产率和改善劳动条件。

1、 采用智能型温度控制模块,PID自动演算,LED显示,配合SSR大功率可控硅输出,能控制温度之精细度;

2、 分段控制(当到达设定温度时可任意关掉其中几段发热管,降低加热功率,其达到省电效果)

3、 内箱采用1.5mm厚SUS304#不锈钢(清洁无尘,防生锈、耐腐蚀),外箱采用1.5mm厚Q235冷轧钢板(强度、塑性和焊接综合性能相当好);

4、整机控制系统采用触摸屏加PLC程序控制,设备加热、运风、传动、自动门开关均采用智能控制,防止失误动作;


1、双边配有链条传动,解决传送过程中跑偏的现象;

2、烘箱分段式加热,**电箱控制,方便操作,结构主要由输送机系统与烘干炉两大部分组成,多段**;

3、PID温度控制,炉内温度均匀;

4、输送速度变频调速,调节自如,运行平稳,产能高;

5、每段**箱体设置废气排放接口,可外接到车间外面,避免车间废气污染。 工业烤箱哪家好,推荐合肥真萍科技。

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电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。

过滤系统:

2.1 EBM 电子式EC 马达控制无尘室**FFU。

2.2 镜面不锈钢结构体。

2.3 特殊导流风道设计,风压平均,可有效提供风量,降低噪音。

2.4 电路板控制模块,提供安 全保护装置,运转异常指示灯及控制干接点输出。

2.5 无段式风量调速器可任意调整风量大小。

2.6 滤网ULPA,0.12μm,99.9995%以上的过滤效果。

2.7 电力规格:单相220V 50Hz 0.95A,输出功率150W。

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真萍科技电脑式洁净节能氮气柜主要应用于解决晶圆片的潮湿、氧化及被其它气体(ex 阿摩利亚气体)破坏,解决探针卡潮湿及氧化问题解决光罩的受潮问题---黄光部封装的金线,解决液晶的受潮问题,解决线路板受潮问题。下面为大家简单介绍一下真萍科技电脑式洁净节能氮气柜。

洁净节能氮气柜的过滤系统:

2.1 EBM 电子式EC 马达控制无尘室**FFU。

2.2 镜面不锈钢结构体。

2.3 特殊导流风道设计,风压平均,可有效提供风量,降低噪音。

2.4 电路板控制模块,提供安 全保护装置,运转异常指示灯及控制干接点输出。

2.5 无段式风量调速器可任意调整风量大小。

2.6 滤网ULPA,0.12μm,99.9995%以上的过滤效果。

2.7 电力格:单相220V 50Hz 0.95A,输出功率150W。

洁净节能氮气柜的柜体规格、配备:

1.左右双开门,3mm钢化玻璃,1mm厚不锈钢板,气密式隐藏锁把手。

2.柜体密封高吸附力磁性胶条与柜体密闭,脚垫采高承载车轮及调整高低脚垫。

3. 附高载重不锈钢隔板,柜体加装高载重煞车轮。

4.上掀式气密盖,方便 FFU保养及维修。

5.回风循环设计,单向氮气循环不产生紊流。

6.背面气密开门式设计,方便洁净清理与保养。 不锈钢工业烤箱手柄

合肥真萍电子科技有限公司创立于2010-04-14,总部位于安徽省合肥市,是一家电子产品,电子设备及配件,半导体设备及配件,半导体耗材,办公设备研发及销售。真萍科技(真萍微电子装备)是专业从事烘烤制程设备,半导体黄光区**设备,环境与可靠性试验设备,电镀清洗设备,防潮防氧化专业设备等产品的生产和销售供应厂商,是以一批多年从事环境试验设备、防潮防氧化设备,半导体黄光区**设备,电镀清洗设备等行业的专业工程技术人员,具有设计、制造、销售及售后服务能力的综合性企业。的公司。真萍电子深耕行业多年,始终以客户的需求为向导,为客户提供***的[ "洁净箱", "干燥箱", "高温无氧烤箱", "隧道炉" ]。依托效率源扎实的技术积累、完善的产品体系、深厚的行业基础,目前拥有员工数11~50人,年营业额达到500-700万元。真萍电子始终关注仪器仪表市场,以敏锐的市场洞察力以准确定位,实现与客户的成长共赢。

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