干式真空泵与油泵的性能比较:
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项 目 |
NeoDry Series 干式真空泵 |
油 泵 |
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特 征 |
○ |
・不使用液体密封泵腔,可以得到干净的真空。 |
△ |
・使用油密封得不到干净的真空。 ・排气时会在排气口产生油雾。 ・根据使用情况,密封用油中会混入水蒸 气·溶剂使油质变差影响性能。 ・泵的周围会因油雾污染环境。 |
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维护性 |
○ |
・基本上免维护 |
△ |
・因油劣化产生定期油的更换维护很烦杂。 (根据使用情况,需要频繁更换) |
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维护成本 |
○ |
・洁净排气时维护周期可为3年一次。 长期运行可降低维护成本。 ・更换部件很少,O / H费用便宜。 ・抽气部分无物理接触,无因磨损更 换部件。 |
△ |
・油需定期更换产生费用。 (使用氟油的情况费用较高) ・需要更换叶片及阀门。 (因叶片为接触式) |
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初始投资成本 |
△ |
・与油泵相比相对较高。 |
○ |
・与干泵相比较便宜。 |
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**设备费用 |
○ |
・不需要油雾凝气阀 |
△ |
・需要油雾凝气阀。 ・需要油盘。 干式真空泵的好处您了解多少呢?苏州NEODRY 36E干式真空泵授权代理 |

樫山真空集中了经半导体,液晶行业等所研发的技术,针对一般工业应用
开发了长时间运行也不会发生性能退化的小型空冷干泵NeoDry系列。
Ⅱ,特 征
ⅰ) 采用多段ROOTS方式 (抽气部分为非物理性接触构造),
不会因长时间的运行导致设备性能下降。
ⅱ) 保养周期长,因需更换的零件少,可降低后期保养费用。
iii ) 通过选购气镇阀,使设备具有水汽排气性能。
成都樫山干式真空泵干式真空泵批发就找浚和(上海)仪器有限公司。

日本KASHIYAMA SDE120TX 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
适合于一些比较苛刻的工艺,比如Meteal-Etch、 SA-CVD、Metal-CVD、PE-CVD、LP-CVD、ALD等
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式样 |
SDE120TX |
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ZUI大排气速度(L/min) |
1500 |
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达到压力(Pa) |
1.3 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V |
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消费电力(KW) |
6.5KVA |
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吸气口 |
NW50 |
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排气口 |
NW40 |
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外型尺寸WHL [mm] |
280×299×550 |
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质量【kg】 |
151kg |
二、 配置清单:
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
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1 |
SDE120TX主机一台,电压AC三相200V |
1 |
标配 |
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2 |
电源线 |
1 |
标配 |
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3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
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4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
|
未包含 |
日本KASHIYAMA SDE30M20干式真空泵 技术参数&配置清单
一、 技术参数:
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式样 |
SDE30M20 |
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MAX排气速度(L/min) |
50000 |
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达到压力(Pa) |
0.5 |
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电源电压 |
3相 AC200-220V,380-480V |
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外型尺寸WHL [mm] |
450×950×1000 |
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序号 |
描述 |
数量 |
备注 |
|
1 |
SDE30M20主机一台 |
1 |
标配 |
|
2 |
电源线 |
1 |
标配 |
|
3 |
冷却水管路接头 |
1 |
标配 |
|
4 |
操作手柄 |
1 |
标配 |
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5 |
产品合格证 |
1 |
标配 |
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6 |
消音器(原厂件,选配) |
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未包含 |
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7 |
入口过滤器(选配,非原厂件) |
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未包含 |
设备原产地:日本
日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦,保证设备长期正常工作。2、采用空冷式方式,不需配置冷却水,从而节省空间。3、采用气镇(Gas Ballast)结构,可以排出所吸取的水蒸气。4、若只抽取空气与氮气的情况下,只需三年维护一次,延长了设备的使用寿命,降低真空泵的使用成本。
干式真空泵的好处都有:清洁环保:工作腔内无其他杂质,可获得清洁真空;真空度高:间隙设计和压缩方式良好。

无油干式真空泵有着空前的节能与环保优势,更表未来泵业发展的一种趋势,而众多的干式无油真空泵有着不同真空参数和不同的功能区别,如何根据自身工艺特点选择那种干式无油真空泵的型号,就首先了解各种不同类型干式无油真空泵的选型知识。这样做出的选择才能够尽可能采购到理想的真空泵和降低采购成本,从而获得一个稳定的真空需求。给企业的未来带来很高的经济效益。无油干式真空泵的用户大部分是由原先的油封真空泵、水环真空泵用户转换而来。那为什么越来越多的企业客户要放弃原先的油封真空泵或水环真空泵,而选择干式无油真空泵呢? 浚和(上海)仪器有限公司为日本樫山工业干式真空泵中国区授权代理商。苏州NEODRY 36E干式真空泵授权代理
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日本KASHIYAMASDE20M09X干式真空泵技术参数&配置清单一、技术参数:式样:SDE20M09XMAX排气速度(L/min):30000达到压力(Pa):0.5电源电压:3相AC200-220V,380-480V消费电力(KW):2.6KW外型尺寸WHL[mm]:460×960×900二、配置清单:序号描述数量备注1SDE20M09X主机一台1标配2电源线1标配3冷却水管路接头1标配4操作手柄1标配5产品合格证1标配6消音器(原厂件,选配)未包含7入口过滤器(选配,非原厂件)未包含设备原产地:日本日本KASHIYAMA真空泵特性:1、设备运转时,旋叶与旋叶、旋叶与腔壁之间没有任何摩擦...