国瑞热控金属加热盘突破海外技术壁垒,实现复杂结构产品量产能力!采用不锈钢精密加工一体化成型,通过五轴联动机床制造螺纹斜孔等复杂结构,加热面粗糙度Ra小于0.1μm!内置螺旋状不锈钢加热元件,经真空焊接工艺与基体紧密结合,热效率达90%,升温速率25℃/分钟,工作温度范围室温至500℃!设备具备1000小时无故障运行能力,通过国内主流客户认证,可直接替换进口同类产品,在匀气盘集成等场景中表现优异,助力半导体设备精密零部件国产化!灵活功率配置可选,满足不同温度需求,应用范围广泛多样。长宁区涂胶显影加热盘厂家

面向先进封装Chiplet技术需求,国瑞热控**加热盘以高精度温控支撑芯片互联工艺!采用铝合金与陶瓷复合基材,加热面平面度误差小于0.02mm,确保多芯片堆叠时受热均匀!内部采用微米级加热丝布线,实现1mm×1mm精细温控分区,温度调节范围覆盖室温至300℃,控温精度±0.3℃,适配混合键合、倒装焊等工艺环节!配备压力与温度协同控制系统,在键合过程中同步调节温度与压力参数,减少界面缺陷!与长电科技、通富微电等企业适配,支持2.5D/3D封装架构,为AI服务器等高算力场景提供高密度集成解决方案!北京刻蚀晶圆加热盘非标定制远程监控功能可选,实时掌握设备状态,智能便捷管理。

国瑞热控推出半导体加热盘**温度监控软件,实现加热过程的数字化管理与精细控制!软件具备实时温度显示功能,可通过图表直观呈现加热盘各区域温度变化曲线,支持多台加热盘同时监控,方便生产线集中管理!内置温度数据存储与导出功能,可自动记录加热过程中的温度参数,存储时间长达1年,便于工艺追溯与质量分析!具备温度异常报警功能,当加热盘温度超出设定范围或出现波动异常时,自动发出声光报警并记录异常信息,提醒操作人员及时处理!软件兼容Windows与Linux操作系统,通过以太网与加热盘控制系统连接,安装调试便捷,适配国瑞全系列半导体加热盘,为半导体生产线的智能化管理提供技术支持!
面向半导体热压键合工艺,国瑞热控**加热盘以温度与压力协同控制提升键合质量!采用陶瓷加热芯与铜合金散热基体复合结构,加热面平面度误差小于0.005mm,确保键合区域压力均匀传递!温度调节范围室温至400℃,升温速率达40℃/秒,可快速达到键合温度并保持稳定(温度波动±0.5℃),适配金-金、铜-铜等不同金属键合工艺!配备压力传感器与位移监测模块,实时反馈键合过程中的压力变化与芯片位移,通过闭环控制实现压力(0.1-10MPa)与温度的精细匹配!与ASM太平洋键合设备适配,使键合界面电阻降低至5mΩ以下,为高可靠性芯片互联提供保障!便于自动化集成,标准接口通讯支持,助力智能制造。

国瑞热控针对离子注入后杂质***工艺,开发**加热盘适配快速热退火需求!采用氮化铝陶瓷基材,热导率达200W/mK,热惯性小,升温速率达60℃/秒,可在几秒内将晶圆加热至1000℃,且降温速率达40℃/秒,减少热预算对晶圆的影响!加热面采用激光打孔工艺制作微小散热孔,配合背面惰性气体冷却,实现晶圆正反面温度均匀(温差小于2℃)!配备红外高温计实时监测晶圆表面温度,测温精度±2℃,通过PID控制确保温度稳定,适配硼、磷等不同杂质的***温度需求(600℃-1100℃)!与应用材料离子注入机适配,使杂质***率提升至95%以上,为半导体器件的电学性能调控提供关键支持!优化散热结构设计,表面温度均匀一致,避免局部过热现象。吉林加热盘厂家
模块化设计,便于维护更换,减少停机提升产能。长宁区涂胶显影加热盘厂家
为解决加热盘长期使用后的温度漂移问题,国瑞热控开发**校准模块,成为半导体生产线的精度保障利器!模块采用铂电阻与热电偶双传感设计,测温精度达±0.05℃,可覆盖室温至800℃全温度范围,适配不同材质加热盘的校准需求!配备便携式数据采集终端,支持实时显示温度分布曲线与偏差分析,数据可通过USB导出形成校准报告!校准过程无需拆卸加热盘,通过磁吸式贴合加热面即可完成检测,单台设备校准时间缩短至30分钟以内!适配国瑞全系列半导体加热盘,同时兼容Kyocera、CoorsTek等国际品牌产品,帮助企业建立完善的温度校准体系,确保工艺参数的一致性与可追溯性!长宁区涂胶显影加热盘厂家
无锡市国瑞热控科技有限公司汇集了大量的优秀人才,集企业奇思,创经济奇迹,一群有梦想有朝气的团队不断在前进的道路上开创新天地,绘画新蓝图,在江苏省等地区的电工电气中始终保持良好的信誉,信奉着“争取每一个客户不容易,失去每一个用户很简单”的理念,市场是企业的方向,质量是企业的生命,在公司有效方针的领导下,全体上下,团结一致,共同进退,**协力把各方面工作做得更好,努力开创工作的新局面,公司的新高度,未来无锡市国瑞热控科技供应和您一起奔向更美好的未来,即使现在有一点小小的成绩,也不足以骄傲,过去的种种都已成为昨日我们只有总结经验,才能继续上路,让我们一起点燃新的希望,放飞新的梦想!
针对半导体晶圆研磨后的应力释放需求,国瑞热控**加热盘以温和温控助力晶圆性能稳定!采用铝合金基体与柔性导热垫层复合结构,导热垫层硬度ShoreA30,可贴合研磨后晶圆表面微小凹凸,确保热量均匀传递!温度调节范围30℃-150℃,控温精度±0.8℃,支持阶梯式升温(每阶段升温5℃-10℃,保温10-30分钟),缓慢释放晶圆内部机械应力!配备氮气保护系统,避免加热过程中晶圆表面氧化,且加热盘表面粗糙度Ra小于0.05μm,无颗粒划伤晶圆风险!与硅产业集团、中环股份等晶圆厂商合作,使研磨后晶圆翘曲度降低20%以上,提升后续光刻、刻蚀工艺的良率!表面硬度强化处理,耐磨耐刮擦,保持长期美观实用。中国台湾...