企业商机
加热盘基本参数
  • 品牌
  • 无锡国瑞热控
  • 型号
  • 非标定制
  • 类型
  • 元素半导体材料,化合物半导体材料
  • 材质
  • 6061-T6,陶瓷,金属等
  • 产品名称
  • 晶圆加热盘
  • 产地
  • 江苏无锡
  • 厂家
  • 无锡国瑞热控
加热盘企业商机

国瑞热控金属加热盘突破海外技术壁垒,实现复杂结构产品量产能力!采用不锈钢精密加工一体化成型,通过五轴联动机床制造螺纹斜孔等复杂结构,加热面粗糙度Ra小于0.1μm!内置螺旋状不锈钢加热元件,经真空焊接工艺与基体紧密结合,热效率达90%,升温速率25℃/分钟,工作温度范围室温至500℃!设备具备1000小时无故障运行能力,通过国内主流客户认证,可直接替换进口同类产品,在匀气盘集成等场景中表现优异,助力半导体设备精密零部件国产化!专业应用工程师团队,提供工艺优化建议,创造更大价值。静安区加热盘

静安区加热盘,加热盘

国瑞热控半导体测试用加热盘,专为芯片性能测试环节的温度环境模拟设计,可精细复现芯片工作时的温度条件!设备温度调节范围覆盖-40℃至150℃,支持快速升温和降温,速率分别达25℃/分钟和20℃/分钟,能模拟不同工况下的温度变化!加热盘表面采用柔性导热垫层,适配不同厚度的测试芯片,确保热量均匀传递至芯片表面,温度控制精度达±0.5℃!配备可编程温度控制系统,可预设多段温度曲线,满足长时间稳定性测试需求!设备运行时无电磁场干扰,避免对测试数据产生影响,同时具备过温、过流双重保护功能,为半导体芯片的性能验证与质量检测提供专业温度环境!静安区加热盘表面硬度强化处理,耐磨耐刮擦,保持长期美观实用。

静安区加热盘,加热盘

国瑞热控刻蚀工艺加热盘,专为半导体刻蚀环节的精细温控设计,有效解决刻蚀速率不均与图形失真问题!产品采用蓝宝石覆层与铝合金基体复合结构,表面经抛光处理至镜面效果,减少刻蚀副产物粘附,且耐受等离子体轰击无损伤!加热盘与静电卡盘协同适配,通过底部导热纹路优化,使热量快速传导至晶圆背面,温度响应时间缩短至10秒以内!支持温度阶梯式调节功能,可根据刻蚀深度需求设定多段温度曲线,适配硅刻蚀、金属刻蚀等不同工艺场景!设备整体符合半导体洁净车间Class1标准,拆卸维护无需特殊工具,大幅降低生产线停机时间!

国瑞热控深耕半导体加热盘国产化研发,针对进口设备的技术壁垒与供应风险,推出全套替代方案!方案涵盖6英寸至12英寸不同规格加热盘,材质包括铝合金、氮化铝陶瓷等,可直接替换Kyocera、CoorsTek等国际品牌同型号产品,且在温度均匀性、控温精度等关键指标上达到同等水平!通过与国内半导体设备厂商的联合开发,实现加热盘与国产设备的深度适配,解决进口产品安装调试复杂、售后服务滞后等问题!替代方案不仅在采购成本上较进口产品降低30%以上,且交货周期缩短至45天以内,大幅提升供应链稳定性!已为国内多家半导体制造企业提供国产化替代服务,助力半导体产业链自主可控,推动国内半导体装备产业的发展!快速交付承诺,标准产品现货供应,定制产品周期短响应快。

静安区加热盘,加热盘

国瑞热控清洗槽**加热盘以全密封结构设计适配高洁净需求,采用316L不锈钢经电解抛光处理,表面粗糙度Ra小于0.05μm,无颗粒脱落风险!加热元件采用氟塑料密封封装,与清洗液完全隔离,耐受酸碱浓度达90%的腐蚀环境,电气强度达2000V/1min!通过底部波浪形加热面设计,使槽内溶液形成自然对流,温度均匀性达±0.8℃,温度调节范围25℃-120℃!配备防干烧与泄漏检测系统,与盛美上海等清洗设备厂商适配,符合半导体制造Class1洁净标准,为晶圆清洗后的表面质量提供保障!设计生产精益求精,温度一致性优,动态响应能力出色。南京晶圆键合加热盘

客户需求为导向,快速响应询价定制,具有竞争力价格交期。静安区加热盘

针对半导体载板制造中的温控需求,国瑞热控**加热盘以高稳定性适配载板钻孔、电镀等工艺!采用不锈钢基材经硬化处理,表面硬度达HRC50以上,耐受载板加工过程中的机械冲击无变形!加热元件采用蛇形分布设计,加热面温度均匀性达±1℃,温度调节范围40℃-180℃,适配载板预加热、树脂固化等环节!配备真空吸附系统,可牢固固定不同尺寸载板(50mm×50mm至300mm×300mm),避免加工过程中位移导致的精度偏差!与深南电路、兴森快捷等载板厂商合作,支持BT树脂、玻璃纤维等不同材质载板加工,为Chiplet封装、扇出型封装提供高质量载板保障!静安区加热盘

无锡市国瑞热控科技有限公司汇集了大量的优秀人才,集企业奇思,创经济奇迹,一群有梦想有朝气的团队不断在前进的道路上开创新天地,绘画新蓝图,在江苏省等地区的电工电气中始终保持良好的信誉,信奉着“争取每一个客户不容易,失去每一个用户很简单”的理念,市场是企业的方向,质量是企业的生命,在公司有效方针的领导下,全体上下,团结一致,共同进退,**协力把各方面工作做得更好,努力开创工作的新局面,公司的新高度,未来无锡市国瑞热控科技供应和您一起奔向更美好的未来,即使现在有一点小小的成绩,也不足以骄傲,过去的种种都已成为昨日我们只有总结经验,才能继续上路,让我们一起点燃新的希望,放飞新的梦想!

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