企业商机
加热盘基本参数
  • 品牌
  • 无锡国瑞热控
  • 型号
  • 非标定制
  • 类型
  • 元素半导体材料,化合物半导体材料
  • 材质
  • 6061-T6,陶瓷,金属等
  • 产品名称
  • 晶圆加热盘
  • 产地
  • 江苏无锡
  • 厂家
  • 无锡国瑞热控
加热盘企业商机

面向先进封装 Chiplet 技术需求,国瑞热控**加热盘以高精度温控支撑芯片互联工艺。采用铝合金与陶瓷复合基材,加热面平面度误差小于 0.02mm,确保多芯片堆叠时受热均匀。内部采用微米级加热丝布线,实现 1mm×1mm 精细温控分区,温度调节范围覆盖室温至 300℃,控温精度 ±0.3℃,适配混合键合、倒装焊等工艺环节。配备压力与温度协同控制系统,在键合过程中同步调节温度与压力参数,减少界面缺陷。与长电科技、通富微电等企业适配,支持 2.5D/3D 封装架构,为 AI 服务器等高算力场景提供高密度集成解决方案。升温迅速表面温差小,过热保护安全耐用,为设备护航。重庆陶瓷加热盘厂家

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针对半导体晶圆研磨后的应力释放需求,国瑞热控**加热盘以温和温控助力晶圆性能稳定。采用铝合金基体与柔性导热垫层复合结构,导热垫层硬度 Shore A 30,可贴合研磨后晶圆表面微小凹凸,确保热量均匀传递。温度调节范围 30℃-150℃,控温精度 ±0.8℃,支持阶梯式升温(每阶段升温 5℃-10℃,保温 10-30 分钟),缓慢释放晶圆内部机械应力。配备氮气保护系统,避免加热过程中晶圆表面氧化,且加热盘表面粗糙度 Ra 小于 0.05μm,无颗粒划伤晶圆风险。与硅产业集团、中环股份等晶圆厂商合作,使研磨后晶圆翘曲度降低 20% 以上,提升后续光刻、刻蚀工艺的良率。四川涂胶显影加热盘定制多重安全保护设计,漏电过载超温防护,构建安全工作环境。

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国瑞热控 8 英寸半导体加热盘聚焦成熟制程需求,以高性价比与稳定性能成为中低端芯片制造的推荐。采用铝合金基体经阳极氧化处理,表面平整度误差小于 0.03mm,加热面温度均匀性控制在 ±2℃以内,满足 65nm 至 90nm 制程的温度要求。内部采用螺旋状镍铬加热丝,热效率达 85% 以上,升温速率 15℃/ 分钟,工作温度上限 450℃,适配 CVD、PVD 等常规工艺。设备配备标准真空吸附接口与温控信号端口,可直接替换 ULVAC、Evatec 等国际品牌同规格产品,安装无需调整现有生产线布局。通过 1000 小时高温老化测试,故障率低于 0.1%,为功率器件、传感器等成熟制程芯片制造提供稳定支持。

国瑞热控封装测试**加热盘聚焦半导体后道工艺需求,采用轻量化铝合金材质,通过精密加工确保加热面平整度误差小于 0.05mm,适配不同尺寸封装器件的测试需求。加热元件采用片状分布设计,热响应速度快,可在 5 分钟内将测试温度稳定在 - 40℃至 150℃之间,满足高低温循环测试、老化测试等场景要求。表面采用防粘涂层处理,减少测试过程中污染物附着,且易于清洁维护。配备可编程温控系统,支持自定义测试温度曲线,可存储 100 组以上测试参数,方便不同型号器件的测试切换。与长电科技、通富微电等封装测试企业合作,适配其自动化测试生产线,为半导体器件可靠性验证提供精细温度环境,助力提升产品良率。多种规格灵活定制,国瑞加热盘满足您的特殊应用需求。

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针对半导体退火工艺中对温度稳定性的高要求,国瑞热控退火**加热盘采用红外加热与电阻加热协同技术,实现均匀且快速的温度传递。加热盘主体选用低热惯性的氮化硅陶瓷材质,热导率达 30W/mK,可在 30 秒内将晶圆温度提升至 900℃,且降温过程平稳可控,避免因温度骤变导致的晶圆晶格损伤。表面喷涂耐高温抗氧化涂层,在长期高温退火环境下无物质挥发,符合半导体洁净生产标准。配备多组温度监测点,实时反馈晶圆不同区域温度数据,通过 PID 闭环控制系统动态调整加热功率,确保温度波动小于 ±1℃。适配离子注入后的退火、金属硅化物形成等工艺环节,与应用材料、东京电子等主流退火设备兼容,为半导体器件性能优化提供关键温控保障。无锡国瑞热控科技,专注加热盘研发制造,是您值得信赖的合作伙伴。崇明区晶圆加热盘非标定制

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国瑞热控半导体封装加热盘,聚焦芯片封装环节的加热需求,为键合、塑封等工艺提供稳定热源。采用铝合金与云母复合结构,兼具轻质特性与优良绝缘性能,加热面功率密度可根据封装规格调整,比较高达 2W/CM²。通过优化加热元件排布,使封装区域温度均匀性达 95% 以上,确保焊料均匀熔融与键合强度稳定。设备配备快速响应温控系统,从室温升至 250℃*需 8 分钟,且温度波动小于 ±2℃,适配不同封装材料的固化需求。表面采用防氧化处理,使用寿命超 30000 小时,搭配模块化设计,可根据封装生产线布局灵活组合,为半导体封装的高效量产提供支持。重庆陶瓷加热盘厂家

无锡市国瑞热控科技有限公司是一家有着先进的发展理念,先进的管理经验,在发展过程中不断完善自己,要求自己,不断创新,时刻准备着迎接更多挑战的活力公司,在江苏省等地区的电工电气中汇聚了大量的人脉以及**,在业界也收获了很多良好的评价,这些都源自于自身的努力和大家共同进步的结果,这些评价对我们而言是比较好的前进动力,也促使我们在以后的道路上保持奋发图强、一往无前的进取创新精神,努力把公司发展战略推向一个新高度,在全体员工共同努力之下,全力拼搏将共同无锡市国瑞热控科技供应和您一起携手走向更好的未来,创造更有价值的产品,我们将以更好的状态,更认真的态度,更饱满的精力去创造,去拼搏,去努力,让我们一起更好更快的成长!

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