普陀区晶圆加热盘

国瑞热控 8 英寸半导体加热盘聚焦成熟制程需求，以高性价比与稳定性能成为中低端芯片制造的推荐。采用铝合金基体经阳极氧化处理，表面平整度误差小于 0.03mm，加热面温度均匀性控制在 ±2℃以内，满足 65nm 至 90nm 制程的温度要求。内部采用螺旋状镍铬加热丝，热效率达 85% 以上，升温速率 15℃/ 分钟，工作温度上限 450℃，适配 CVD、PVD 等常规工艺。设备配备标准真空吸附接口与温控信号端口，可直接替换 ULVAC、Evatec 等国际品牌同规格产品，安装无需调整现有生产线布局。通过 1000 小时高温老化测试，故障率低于 0.1%，为功率器件、传感器等成熟制程芯片制造提供稳定支持。模块化设计，便于维护更换，减少停机提升产能。普陀区晶圆加热盘

国瑞热控快速退火**加热盘以高频响应特性适配 RTP 工艺需求，采用红外辐射与电阻加热复合技术，升温速率突破 50℃/ 秒，可在数秒内将晶圆加热至 1000℃以上。加热盘选用低热惯性的氮化铝陶瓷材质，搭配多组**温控模块，通过 PID 闭环控制实现温度快速调节，降温速率达 30℃/ 秒，有效减少热预算对晶圆性能的影响。表面喷涂抗热震涂层，可承受反复快速升降温循环而无开裂风险，使用寿命超 20000 次循环。设备集成温度实时监测系统，与应用材料 Centura、东京电子 Trias 等主流炉管设备兼容，为先进制程中的离子***、缺陷修复工艺提供可靠支持。中国澳门涂胶显影加热盘定制表面喷涂特殊涂层，防腐防氧化，延长设备使用寿命。

在半导体离子注入工艺中，国瑞热控配套加热盘以稳定温控助力掺杂浓度精细控制。其采用耐高温合金基材，经真空退火处理消除内部应力，可在 400℃高温下长期稳定运行而不变形。加热盘表面喷涂绝缘耐离子轰击涂层，避免电荷积累对注入精度的干扰，同时具备优良的导热性能，能快速将晶圆预热至设定温度并保持恒定。设备配备双路温度监测系统，分别监控加热元件与晶圆表面温度，当出现偏差时自动启动调节机制，温度控制精度达 ±1℃。适配不同型号离子注入机，通过标准化接口实现快速安装，为半导体掺杂工艺的稳定性与重复性提供有力支持。

国瑞热控针对离子注入后杂质***工艺，开发**加热盘适配快速热退火需求。采用氮化铝陶瓷基材，热导率达 200W/mK，热惯性小，升温速率达 60℃/ 秒，可在几秒内将晶圆加热至 1000℃，且降温速率达 40℃/ 秒，减少热预算对晶圆的影响。加热面采用激光打孔工艺制作微小散热孔，配合背面惰性气体冷却，实现晶圆正反面温度均匀（温差小于 2℃）。配备红外高温计实时监测晶圆表面温度，测温精度 ±2℃，通过 PID 控制确保温度稳定，适配硼、磷等不同杂质的***温度需求（600℃-1100℃）。与应用材料离子注入机适配，使杂质***率提升至 95% 以上，为半导体器件的电学性能调控提供关键支持。多种规格灵活定制，国瑞加热盘满足您的特殊应用需求。

为降低半导体加热盘的热量损耗，国瑞热控研发**隔热组件，通过多层复合结构设计实现高效保温。组件内层采用耐高温隔热棉，热导率* 0.03W/(m・K)，可有效阻隔加热盘向设备腔体的热量传递；外层选用金属防护壳，兼具结构强度与抗腐蚀性能，适配半导体洁净车间环境。隔热组件与加热盘精细贴合，安装拆卸便捷，不影响加热盘的正常维护与更换。通过隔热组件应用，可使加热盘热量利用率提升 15% 以上，降低设备整体能耗，同时减少设备腔体温升，延长周边部件使用寿命。适配国瑞全系列半导体加热盘，且可根据客户现有加热盘尺寸定制，为半导体生产线的能耗优化提供实用解决方案。精密温控系统加持，温度波动范围小，为科研实验提供可靠热源保障。浦东新区陶瓷加热盘供应商

独特加热元件绝缘设计，热效率大幅提升，节能环保稳定安全。普陀区晶圆加热盘

借鉴空间站 “双波长激光加热” 原理，国瑞热控开发半导体激光加热盘，适配极端高温材料制备。采用氮化铝陶瓷基体嵌入激光吸收层，表面可承受 3000℃以上局部高温，配合半导体激光与二氧化碳激光协同加热，实现 “表面强攻 + 内部渗透” 的加热效果。加热区域直径可在 10mm-200mm 间调节，温度响应时间小于 1 秒，控温精度 ±1℃，支持脉冲式加热模式。设备配备红外测温与激光功率闭环控制系统，在钨合金、铌合金等耐热材料研发中应用，为航空航天等**领域提供极端环境模拟工具。普陀区晶圆加热盘

无锡市国瑞热控科技有限公司是一家有着先进的发展理念，先进的管理经验，在发展过程中不断完善自己，要求自己，不断创新，时刻准备着迎接更多挑战的活力公司，在江苏省等地区的电工电气中汇聚了大量的人脉以及**，在业界也收获了很多良好的评价，这些都源自于自身的努力和大家共同进步的结果，这些评价对我们而言是比较好的前进动力，也促使我们在以后的道路上保持奋发图强、一往无前的进取创新精神，努力把公司发展战略推向一个新高度，在全体员工共同努力之下，全力拼搏将共同无锡市国瑞热控科技供应和您一起携手走向更好的未来，创造更有价值的产品，我们将以更好的状态，更认真的态度，更饱满的精力去创造，去拼搏，去努力，让我们一起更好更快的成长！