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因此，可避免因过压造成仪器损坏。当真空泵抽空边无过压存在时，电磁阀才可从真空泵中开启。如果这只电磁阀和其他电磁阀一起被预选，它们也不能被打开。减低压缩机和真空压缩机中的SF6气体过压已在“气体恢复”功能描述中被描述。通过通风阀释放空气和氮气。真空泵只被排放到大气。l压缩机：压缩机为干式压缩机并进行无油运行，这样可产生不同的输出及不同的终压。压缩机管道的气密性应完好。但压缩机的维护会比较容易实施。超压工作可被减压器和触点表控制。l真空压缩机：干式运行的真空压缩机由稳压器、电磁阀和单向阀来进行运行时的保护。当气体回收时真空压缩机处于自动开关的状态。l干燥过滤器，粒子过滤器：SF6气体由设备中的粒子过滤器净化并通过干燥过滤器进行干燥。每次的气体处理过程SF6气体都要通过这些过滤器。储存容器的维护-：SF6以气态形存储，在相应的高压条件下也可以液态形式储存。如何区分压力罐中的存储状态：25bar(360psi)时为气态，50bar(725psi)时为液态(注意!压力容器不可用于SF6气体的运输)。运输时应储存在运输瓶中。对于液态存储的SF6可从重量指示器上观察。

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